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电子特种气体行业定义电子特种气体主要指在特定领域中应用的气体,对气体的纯度有特殊要求,由高纯气或由高纯气体配制的二元或多元混合气体。电子特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。电子特种气体是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料。