制程设备持续深入，加速布局电子材料及核心零部件

2023年09月03日 公司研究●证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 公司快报 制程设备持续深入，加速布局电子材料及核心零部件投资要点2023年8月28日，公司发布2023年半年度业绩报告。2023年H1公司营业收入为14.80亿元，同比增长32.13%，归母净利润为1.09亿元，同比增长33.67%；毛利率为34.96%，净利率为5.82%。制程设备业务持续深入，高纯工艺系统集成订单再创新高业务。（1）制程设备业务：公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高工艺机台，至微S300SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。2023H1，单设备在用户量产线上累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口重要里程碑。目前至微是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。公司湿法设备应用于成熟制程产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。（2）高纯工艺系统集成业务:以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务仍保持良好增长，订单再创新高。公司已成为国内最大高纯工艺系统支持设备供应商，有效替代并改变原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，核心客户均为行业一线用户如中芯国际、华虹、华力、华为、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。启东基地二期、海宁基地及日本工厂顺利启用，产能提升助力主营发展后劲。启东设备制造基地二期P1厂房3万平米交付启用，产线顺利建设完成，已经正式投产；海宁模组及精密制造基地8.5万平米交付启用，设备机台顺利移入，已经正式投产；日本子公司办公及厂房约5000平米完成交付和搬入，正式启用，为进一步开拓海外市场发展提供基础。2023H1，公司已经建成34万平米的生产和服务基地，另有10万平米建设中将于年内交付，能有效支持公司在“十年展望-五年规划-三年路径 -年度目标”框架下的中短期和长期战略目标。公司产品线布局和产能建设都已经能够支持年度百亿订单交付，为公司实现3-5年经营战略目标奠定了基础。 加速布局电子材料及核心零部件业务，持续加强制程设备本土供应链建设。电子材料及核心零部件方面：（1）大宗气业务已经稳定地给公司贡献收入，由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂指标完全达标，目前已持续稳定供气达到1.5年，成功打破原先先进制程大宗气由国际供应商垄断情势，实现国内自主大宗气站零突破。（2）合肥晶圆再生和腔体部件再生业务量开始进入稳定爬坡，下半年预期进入盈亏平衡并逐步进入利润贡献期，在用户导入方面已经顺利调整策略并进入有序业务爬升中。（3）TGM/TCM驻厂服务有序开展，部分腔体部件开始验证，皆为长期用户基于信任需求导入，在电子材 机械|其他专用机械Ⅲ 投资评级买入-A(维持)股价(2023-09-01)26.97元交易数据总市值（百万元）10,429.52流通市值（百万元）10,391.14总股本（百万股）386.71流通股本（百万股）385.2812个月价格区间45.30/26.24一年股价表现 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益-7.86-18.1-4.15绝对收益-12.35-19.92-9.92 分析师孙远峰 SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn 分析师王海维 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn 相关报告至纯科技：紧握国产替代历史机遇，加码湿法设备巩固国内行业领先地位-业绩快报_至纯科技2023.4.9 料方面也已开始布局。供应链建设方面：公司于2021年起部署人力物力加强制程设备本土供应链的建设，以确保业务连续性并提升交付周期。2023H1，制程设备本土供应链的建设进一步取得成果，公司通过订单牵引、合作开发等一系列举措培养本土上游供应链的阶段目标一一达成。 投资建议：我们维持盈利预测，预计2023年至2025年营业收入分别为42.71/50.88/58.74亿元，增速分别为40.1%/19.1%/15.5%；归母净利润分别为5.23/6.76/8.79亿元，增速分别为85.1%/29.3%/30.0%；对应PE分别19.9/15.4/11.9。考虑到至纯科技在国内清洗设备领域领先地位，且产品率先突破14nm制程，叠加系统集成业务导入一线集成电路制造企业，维持买入-A建议 风险提示：新建晶圆厂进程不及预期；公司研发进展不及预期；国内外同行业竞争加剧，造成人才流失风险。 财务数据与估值会计年度 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 营业收入(百万元) 2,084 3,050 4,271 5,088 5,874 YoY(%) 49.2 46.3 40.1 19.1 15.5 净利润(百万元) 282 282 523 676 879 YoY(%) 8.1 0.2 85.1 29.3 30.0 毛利率(%) 36.2 35.4 35.4 34.8 35.0 EPS(摊薄/元) 0.73 0.73 1.35 1.75 2.27 ROE(%) 6.6 6.0 10.1 11.6 13.1 P/E(倍) 37.0 36.9 19.9 15.4 11.9 P/B(倍) 2.6 2.3 2.1 1.9 1.6 净利率(%) 13.5 9.3 12.2 13.3 15.0 数据来源：聚源、华金证券研究所 财务报表预测和估值数据汇总 资产负债表(百万元)利润表(百万元) 会计年度2021A2022A2023E2024E2025E会计年度2021A2022A2023E2024E2025E 流动资产 4766 5971 6962 7340 8162 营业收入 2084 3050 4271 5088 5874 现金 1519 1035 1113 993 974 营业成本 1330 1971 2759 3316 3818 应收票据及应收账款 1219 2117 2264 2362 2533 营业税金及附加 10 20 28 31 36 预付账款 483 629 709 975 962 营业费用 74 83 117 130 140 存货 1183 1705 2446 2567 3173 管理费用 199 310 425 482 516 其他流动资产 362 485 431 443 520 研发费用 144 193 269 304 345 非流动资产 3167 3867 4218 4795 5309 财务费用 79 85 97 95 102 长期投资 206 274 324 386 446 资产减值损失 -74 -119 -47 -36 -13 固定资产 975 1588 2045 2359 2653 公允价值变动收益 65 -28 9 34 56 无形资产 400 435 503 584 656 投资净收益 51 21 24 21 23 其他非流动资产 1586 1570 1346 1466 1554 营业利润 371 293 595 779 1015 资产总计 7933 9838 11180 12135 13471 营业外收入 4 0 2 2 2 流动负债 2761 3935 4867 5198 5776 营业外支出 1 1 1 1 1 短期借款 1283 1985 2360 2360 2360 利润总额 375 293 596 780 1017 应付票据及应付账款 538 900 1254 1630 1841 所得税 90 13 73 104 137 其他流动负债 940 1051 1253 1209 1575 税后利润 284 280 523 676 879 非流动负债 881 1194 1004 974 875 少数股东损益 2 -2 0 0 0 长期借款 649 772 762 710 596 归属母公司净利润 282 282 523 676 879 其他非流动负债 232 421 242 264 279 EBITDA 514 554 851 1079 1344 负债合计 3643 5129 5871 6172 6651 少数股东权益 224 249 249 250 250 主要财务比率 股本 319 321 387 387 387 会计年度2021A2022A2023E2024E2025E 资本公积 3014 3101 3101 3101 3101 成长能力 留存收益 747 1030 1533 2178 3006 营业收入(%) 49.2 46.3 40.1 19.1 15.5 归属母公司股东权益 4066 4460 5060 5714 6569 营业利润(%) 25.0 -21.0 102.9 30.9 30.4 负债和股东权益 7933 9838 11180 12135 13471 归属于母公司净利润(%) 8.1 0.2 85.1 29.3 30.0 获利能力 现金流量表(百万元) 毛利率(%) 36.2 35.4 35.4 34.8 35.0 会计年度2021A2022A2023E2024E2025E 净利率(%) 13.5 9.3 12.2 13.3 15.0 经营活动现金流 -191 -808 475 674 800 ROE(%) 6.6 6.0 10.1 11.6 13.1 净利润 284 280 523 676 879 ROIC(%) 5.4 5.4 7.6 8.8 10.2 折旧摊销 64 121 130 163 193 偿债能力 财务费用 79 85 97 95 102 资产负债率(%) 45.9 52.1 52.5 50.9 49.4 投资损失 -51 -21 -24 -21 -23 流动比率 1.7 1.5 1.4 1.4 1.4 营运资金变动 -593 -1430 -269 -202 -291 速动比率 1.0 0.8 0.7 0.7 0.6 其他经营现金流 26 158 19 -38 -59 营运能力 投资活动现金流 -716 -633 -506 -677 -622 总资产周转率 0.3 0.3 0.4 0.4 0.5 筹资活动现金流 906 915 110 -117 -197 应收账款周转率 1.9 1.8 2.0 2.2 2.4 应付账款周转率 2.9 2.7 2.6 2.3 2.2 每股指标（元） 估值比率 每股收益(最新摊薄) 0.73 0.73 1.35 1.75 2.27 P/E 37.0 36.9 19.9 15.4 11.9 每股经营现金流(最新摊薄) -0.49 -2.09 1.23 1.74 2.07 P/B 2.6 2.3 2.1 1.9 1.6 每股净资产(最新摊薄) 10.51 11.53 12.78 14.49 16.72 EV/EBITDA 22.1 23.2 15.2 12.1 9.7 资料来源：聚源、华金证券研究所 公司评级体系 收益评级： 买入—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数15%以上；增持—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数5%至15%； 中性—未来6个月的投资收益率与沪深300指数的变动幅度相差-5%至5%；减持—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数5%至15%； 卖出—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数15%以上；风险评级： A—正常风险，未来6个月投资收益率的波动小于等于沪深300指数波动； B—较高风险，未来6个月投资收益率的波动大于沪深300指数波动；