国内领先的高纯工艺系统供应商，制程设备开启新成长曲线

敬请参阅最后一页特别声明 1 公司业务覆盖高纯工艺系统综合解决方案以及配套工程、厂务托管和后续运营维保等服务。公司下游覆盖泛半导体、生物医药等领域，中芯国际、京东方、扬子江药业等行业龙头均为公司客户。 公司新签订单保持高速增长，高纯工艺系统业务基本盘稳固。我们认为公司的传统业务高纯工艺设备将持续高增长，主要基于：1）下游FAB、IDM客户新建厂房未受影响，公司在手订单饱满，22年公司合同负债为2.70亿（YoY+13%），1Q23合同负债达3.03亿元（YoY+23%）；2）国际贸易制裁加速半导体设备及零部件国产化进程，公司下游客户多元且需求稳定，根据公司公告，22年公司新签订单42亿元（YoY+31%），23年公司预计全年新签订单52~57亿元，同比增长24%~36%。 半导体制程设备品类丰富并向先进制程拓展，切入光伏领域获得批量订单。制程设备为公司带来新增长主要基于：1）根据中国国际招标网数据，22年中国湿法设备市场前四大供应商份额合计达96%，其中盛美上海以25%的份额位列第二，其他三家均为海外厂商；2）22年公司率先突破14nm及以下制程湿法设备并实现4台订单交付，拓展了国内光伏市场需求较大的涂胶显影设备、炉管设备等；3）公司制程设备主要客户中芯国际、华润微22年用于购建固定资产、无形资产以及其他长期资产支付的现金分别同比增长49%和69%。公司22年新增制程设备订单18亿元，同比增长60%，预计23年新增订单20~25亿，同比增长11%~39%。 定向增发彰显公司长期发展信心。23年5月，公司定向增发拟募集资金不超过18亿，用于湿法设备核心零部件产业化项目、湿法设备及高纯工艺设备北方基地项目、启东半导体设备产业化项目。 预测2023~2025年公司将分别实现营收42.0/53.2/64.4亿元，同比+37.7%/26.7%/21.1%，考虑到公司高纯工艺系统业务行业领先，半导体制程设备放量在即，给予公司2024年35xPE，目标价51.1元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。 供应链风险；下游资本开支不及预期的风险；股东质押的风险；限售股解禁的风险。 05001,00 01,5002,00026.0030.0034.0038.0042.002207 06人民币(元)成交金额(百万元)成交金额至纯科技沪深300 公司深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 2 扫码获取更多服务 内容目录 一、国内领先的高纯工艺系统供应商，工艺、设备、材料业务多元发展.................................. 4 1.1 以高纯工艺系统为基础平台化发展的综合解决方案供应商...................................... 4 1.2 公司运营情况良好，期间费用略有上升研发力度进一步加大.................................... 6 二、系统集成业务在手订单饱满，构建公司稳固的基本盘.............................................. 7 2.1 高纯工艺系统下游覆盖面广，终端固定资产投资拉动行业需求增长.............................. 7 2.2 高纯工艺系统国产替代空间广阔，公司掌握核心技术优势明显................................. 11 2.3 绑定下游优质客户，提供全面系统性的高纯介质供应解决方案................................. 13 三、全球半导体设备行业集中度高，中国湿法设备供应商正加速追赶................................... 15 3.1 中国半导体设备市场占比全球第一，国内湿法设备企业份额仍有较大提升空间................... 15 3.2 半导体制程升级迭代，清洗设备需求快速放量............................................... 16 3.3 公司新签订单保持高增长，定向增发扩充产能抢占市场份额................................... 20 四、盈利预测与投资建议......................................................................... 22 4.1 盈利预测............................................................................... 22 4.2 投资建议及估值......................................................................... 23 五、风险提示................................................................................... 24 图表目录 图表1： 公司产品布局及下游应用领域 ............................................................. 4 图表2： 公司主要生产制造基地和研发服务中心布局 ................................................. 5 图表3： 公司历史营收及增速情况 ................................................................. 5 图表4： 公司历史归母净利润及增速情况 ........................................................... 5 图表5： 2022年公司主营业务收入构成............................................................. 6 图表6： 2022年公司主营业务毛利构成............................................................. 6 图表7： 公司销售毛利率和扣非后销售净利率情况 ................................................... 6 图表8： 公司应收账款周转天数 ................................................................... 7 图表9： 公司存货周转天数 ....................................................................... 7 图表10： 公司期间费用率情况 .................................................................... 7 图表11： 公司累计申请专利数 .................................................................... 7 图表12： 高纯工艺系统在厂房中的分布示意图 ...................................................... 8 图表13： 厂房中不同系统设施对洁净度的要求 ...................................................... 8 图表14： 高纯工艺系统在泛半导体行业生产工艺流程中的应用 ........................................ 8 图表15： 2022-2024 年全球半导体行业收入预测 .................................................... 9 图表16： 全球半导体设备销售额及增长率 .......................................................... 9 公司深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 3 扫码获取更多服务 图表17： 全球半导体厂商资本开支情况 ............................................................ 9 图表18： 中国半导体项目投资额及设备市场规模 ................................................... 10 图表19： 中国半导体领域高纯工艺系统市场规模及增速 ............................................. 10 图表20： 高纯工艺系统在生物制药行业生产工艺流程中的应用 ....................................... 10 图表21： 我国城镇居民人均医疗保健消费支出 ..................................................... 11 图表22： 2017-2023年中国制药设备市场规模...................................................... 11 图表23： 工艺介质供应系统行业竞争格局 ......................................................... 11 图表24： 同行业主要公司情况 ................................................................... 11 图表25： 公司系统集成领域的主要产品 ........................................................... 12 图表26： 中国大陆供应商营收规模仍低于中国台湾供应商（单位：亿元） ............................. 12 图表27： 公司与可比公司收入增速情况（单位：%） ................................................ 13 图表28： 公司与可比公司研发费用率情况（单位：%） .............................................. 13 图表29： 公司与可比公司毛利率情况（单位：%） .................................................. 13 图表30： 公司高纯工艺系统在半导体领域部分客户 ................................................. 14 图表31： 公司部分高纯工艺设备下游客户扩产情况 ................................................. 14 图表32： 公司历史合同负债情况 ................................................................. 15 图表33： 公司部分生物制药客户一览 ............................................................. 15 图表34： 2021年全球半导体设备投资额市场占比情况............................................... 16 图表35： 2022年全球半导体设备投资额市场占比情况......................