电子：出口管制政策收紧带来广阔替代空间，国产设备性能突破彰显卓越替代潜能

证出口管制政策收紧带来广阔替代空间， 研 券国产设备性能突破彰显卓越替代潜能 究增持（维持）主要观点 报 告事件描述 行业:电子5月23日，日本经济产业省公布外汇法法令修正案，将先进芯片制造设 日期: 2023年05月30日 备追加列入出口管理的管制对象。该计划涉及清洗、成膜、热处理、曝光、蚀刻、检查等23个种类的设备，除10-14nm先进制程设备外还 分析师:王珠琳 Tel: E-mail: SAC编号:S0870523050001 联系人:马永正 Tel:021-53686147 E-mail:mayongzheng@shzq.comSAC编号:S0870121100023 联系人:潘恒 Tel:021-53686248 E-mail:panheng@shzq.comSAC编号:S0870122070021 事最近一年行业指数与沪深300比较 点 件 电子沪深300 % % 05/2208/2210/2201/2303/2305/23 19% 评15% 11% 7 3 -1% -5% -9% -13% 包括≤45nm的成熟制程用光刻设备，并将于7月23日正式实行。 分析与判断 美、荷、日相继升级先进半导体制造设备出口管制政策，中国先进制程扩产或受限，但成熟制程或受影响较小。2022年10月美国出台新出口管制政策，禁止用于生产16/14nm以下制程逻辑芯片、128层或以上NAND、18nm以下制程的DRAM的设备、零部件、软件技术等出口。2023年3月，荷兰将光刻机出口管制范围由极紫外扩大至最先进的浸没式深紫外；ASML解读，NXT:1980Di设备（分辨率≤38nm）仍允许出口，成熟制程或不会受到影响。日本新修正的限制政策则更为严格：10-14nm先进制程设备及≤45nm的成熟制程用光刻设备均受限制。 我国半导体设备长期需求不减，且核心设备依赖日本进口，本次修正案有望带来广阔替代空间。从需求角度来看，集微咨询统计，22-25年中国大陆或将新增25座12英寸晶圆厂。同时，20-22年中国大陆半导体设备销售额均居全球第一，年复合增长率约23%。我们认为，长期来看我国半导体产业仍处于高速发展期，晶圆厂数目持续增多，国家战略聚焦，半导体制造设备需求有望维持在高位。从设备进口角度来看，我国半导体设备国产化率虽有较大提升，但仍处于低位。SEMI指出，2022年国内晶圆厂半导体设备国产率为35%，同比+14pct。同时，据集微网数据可知，中国大陆对日本半导体制造设备有较强依赖，2022年中国大陆从日本进口半导体设备的金额约107.4亿美元，占中国大陆半导体设备进口总额比例超30%。 国产设备多数已具有成熟制程替代能力，部分已在先进制程技术上有 所突破。北方华创12英寸ICP刻蚀机在客户端实现28nm国产化替 代，在14/7nm先进存储器等工艺应用中也发挥着重要作用；公司 相关报告： 《LED、DDIC引领行业复苏，持续关注 MR核心零部件供应商》 ——2023年05月22日 《IR46电表替代进程有望加速，头部芯片厂商或将充分受益》 ——2023年05月19日 《显示驱动芯片景气度回归，国产替代促大陆产业链长远发展》 ——2023年05月19日 14nm薄膜沉积设备也已在客户端通过多道制程工艺验证，并实现量产应用。拓荆科技已覆盖PECVD/SACVD/ALD/HDPCVD，可适配28/14nm逻辑芯片等产线。中微公司双反应台刻蚀机在5nm及更先进产线上均实现多次批量销售。盛美上海清洗技术可应用于45nm及以下节点晶圆清洗工艺。万业企业离子注入机可覆盖含28nm的主流成熟制程；同时公司着力研制≤14nm制程的FinFET集成电路离子注入机。 投资建议 维持电子行业“增持”评级，先进半导体制造设备出口管制政策加速收紧，本次管制涉及到的半导体设备的国产厂商有望优先受益，推荐离子注入机龙头万业企业，建议关注其他前道设备厂商：拓荆科技 （薄膜沉积）、中微公司（刻蚀&薄膜沉积）、北方华创（刻蚀&薄膜沉积&清洗&氧化）、盛美上海（清洗）、华峰测控（测试）。 风险提示 晶圆厂扩产不及预期，研发进展不及预期，贸易争端影响供应链。 事件点评 分析师声明 作者具有中国证券业协会授予的证券投资咨询资格或相当的专业胜任能力，以勤勉尽责的职业态度，独立、客观地出具本报告，并保证报告采用的信息均来自合规渠道，力求清晰、准确地反映作者的研究观点，结论不受任何第三方的授意或影响。此外，作者薪酬的任何部分不与本报告中的具体推荐意见或观点直接或间接相关。 公司业务资格说明 本公司具备证券投资咨询业务资格。 投资评级体系与评级定义 股票投资评级：分析师给出下列评级中的其中一项代表其根据公司基本面及（或）估值预期以报告日起6个月内公司股价相对于同期市场基准指数表现的看法。 买入股价表现将强于基准指数20%以上增持股价表现将强于基准指数5-20%中性股价表现将介于基准指数±5%之间减持股价表现将弱于基准指数5%以上 无评级由于我们无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事 件，或者其他原因，致使我们无法给出明确的投资评级 行业投资评级：分析师给出下列评级中的其中一项代表其根据行业历史基本面及（或）估值对所研究行业以报告日起12个月内的基本面和行业指数相对于同期市场基准指数表现的看法。 增持行业基本面看好，相对表现优于同期基准指数中性行业基本面稳定，相对表现与同期基准指数持平减持行业基本面看淡，相对表现弱于同期基准指数 相关证券市场基准指数说明：A股市场以沪深300指数为基准；港股市场以恒生指数为基准；美股市场以标普500 或纳斯达克综合指数为基准。投资评级说明： 不同证券研究机构采用不同的评级术语及评级标准，投资者应区分不同机构在相同评级名称下的定义差异。本评级体系采用的是相对评级体系。投资者买卖证券的决定取决于个人的实际情况。投资者应阅读整篇报告，以获取比较完整的观点与信息，投资者不应以分析师的投资评级取代个人的分析与判断。 免责声明 。本公司不会因接收人收到本报告而视其为客户。 本报告版权归本公司所有，本公司对本报告保留一切权利。未经书面授权，任何机构和个人均不得对本报告进行任何形式的发布、复制、引用或转载。如经过本公司同意引用、刊发的，须注明出处为上海证券有限责任公司研究所，且不得对本报告进行有悖原意的引用、删节和修改。 在法律许可的情况下，本公司或其关联机构可能会持有报告中涉及的公司所发行的证券或期权并进行交易，也可能为这些公司提供或争取提供多种金融服务。 本报告的信息来源于已公开的资料，本公司对该等信息的准确性、完整性或可靠性不作任何保证。本报告所载的资料、意见和推测仅反映本公司于发布本报告当日的判断，本报告所指的证券或投资标的的价格、价值或投资收入可升可跌。过往表现不应作为日后的表现依据。在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见或推测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息保持在最新状态。同时，本公司对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。 本报告中的内容和意见仅供参考，并不构成客户私人咨询建议。在任何情况下，本公司、本公司员工或关联机构不承诺投资者一定获利，不与投资者分享投资收益，也不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负责，投资者据此做出的任何投资决策与本公司、本公司员工或关联机构无关。 市场有风险，投资需谨慎。投资者不应将本报告作为投资决策的唯一参考因素，也不应当认为本报告可以取代自己的判断。