国产CMP龙头，横向拓展打造平台型公司

华海清科：国产CMP龙头，横向拓展打造平台型公司 公司盈利预测及估值指标 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 386 805 1,682 2,663 3,659 增长率yoy% 83% 109% 109% 58% 37% 净利润（百万元） 98 198 515 702 998 增长率yoy% 163% 103% 160% 36% 42% 每股收益（元） 0.92 1.86 4.83 6.58 9.36 每股现金流量 1.49 3.65 3.77 6.43 9.44 净资产收益率 16% 25% 39% 35% 34% P/E 364.8 179.9 69.3 50.8 35.7 PEG 58.6 44.1 27.3 17.9 12.0 P/B 386 805 1,682 2,663 3,659 华海清科(688120.SH)/电子证券研究报告/公司深度报告2023年4月3日 评级：买入（首次覆盖） 市场价格：334.40元 分析师：�芳 执业证书编号：S0740521120002Email：wangfang02@zts.com.cn分析师：杨旭 执业证书编号：S0740521120001 Email：yangxu01@zts.com.cn 分析师：游凡 执业证书编号：S0740522120002 Email：youfan@zts.com.cn 基本状况 总股本(百万股)107 流通股本(百万股)25 市价(元)334.40 市值(百万元)35,669 流通市值(百万元)8,391 股价与行业-市场走势对比 60% 华海清科沪深300 40% 20% 0% -20% 2022-07 2022-07 2022-08 2022-09 2022-09 2022-10 2022-11 2022-11 2022-12 2023-01 2023-01 2023-02 2023-03 -40% 相关报告 备注：每股指标按照最新股本数全面摊薄，股价截至4月3日 报告摘要 国产CMP龙头，主业迎周期复苏+高端放量。华海清科是国产CMP龙头，其客户覆盖中芯国际、华虹集团、长江存储、睿力集成等一二线主要Fab厂。公司CMP业务驱动力主要来自：1）12寸：国内晶圆扩产以12寸为主，公司12寸CMP凭借领先的产品力加速放量、带动市占率快速提升——2017年公司国内市占率仅1%，至2021年增至16%，2022年可测算得国内市占率高达38%。2）8寸&6寸化合物：全球8寸仍在扩产，其中中国大陆是全球范围内8寸晶圆扩产较快的地区，公司8寸CMP市 场空间持续扩容。同时，随着以碳化硅为代表的第三代半导体晶圆需求爆发，公司6寸化合物CMP设备迎来新需求。3）CMP配套业务：主要指耗材&晶圆再生业务，该业务有望随公司CMP机台存量规模的扩大而实现更快增长。此项业务毛利率高，有望 带来更大利润贡献。 多品类布局逐步放量，平台型企业空间显著打开。公司于2022年起逐步布局减薄抛光机、湿法清洗设备、量测设备等。1）减薄：公司减薄设备主要用于封装环节，近年来随着以Chiplet为代表的3DIC兴起，前道晶圆环节也增加了减薄需求。公司针对3D IC的减薄抛光产品截至2023年1月已发至客户验证，预计2023年实现批量出货； 公司针对封装领域的减薄设备在2023年1月处于验证阶段。2）湿法：2024年全球市 场规模有望达32亿美金，空间大。公司深度布局，湿法设备已应用于公司的晶圆再生产，公司正向外积极开拓湿法设备的客户。3）量测：量测设备国产化率低、技术壁垒高，海外厂商如KLA等占据垄断地位，国产替代空间大。公司量测设备已有少量机台 发往客户端验证。上述三大设备对应中国大陆市场2021年空间合计49亿美元，较同年中国大陆CMP市场7亿美元，增加近6倍——公司可服务市场空间显著打开。 股权激励绑定核心骨干，看好公司长期成长。公司3月20日发布股权激励计划草案： 拟向激励对象授予160万股限制性股票，约占公告时公司股本总额的1.50%。其中首 次授予128万股，股本占比约为1.20%，授予价145.63元/股。考核要求2023-25年收入分别不低于20.93/25.76/32.20亿元，对应2023-25年YoY为24%/23%/25%。首次授予的激励对象人数为261人，约占公司员工总数的24.55%，包括：10名董事、高管、核心技术人员，251名核心管理、技术骨干。公司股权激励有望激发核心骨干积极性，利好公司长期成长。 投资建议：我们合理预测公司2022-24年净利润分别为5.15/7.02/9.98亿元，对应PE 为69/51/36倍。华海清科可比公司为赛道规模与公司相近、且均为各领域龙头的设备 标的，包括芯源微、精测电子、拓荆科技、中微公司，可比公司2022-24年平均PE估值分别为94/68/47倍。华海清科处于平台型战略发展初期、发展势头迅猛，且其选择的减薄、量测、供液等赛道国产化率低、未来成长弹性大，其2022-24年估值低于可比公司平均估值水平，估值性价比凸显。首次覆盖给予“买入”评级。 风险提示：公司新品研发不及预期的风险，公司新品类面临存量玩家激烈竞争的风险， 研报使用信息更新不及时产生的风险。 内容目录 1.国产CMP设备龙头，设备+服务铸就高成长.-3- 1.1国产CMP设备龙头，产品矩阵完善.....................................................-3- 1.2设备+服务铸就高成长，盈利能力持续提升...........................................-5- 2.CMP：国产份额提升，多产品多领域持续拓宽............................................-6- 2.1大陆CMP市场持续扩容，国产替代仍存较大空间...............................-6- 2.2CMP设备龙头，8/6寸设备有望快速放量............................................-9- 2.3耗材&晶圆再生成利润新增长点...........................................................-13- 3.多品类布局逐步放量，显著打开成长空间..................................................-14- 3.1减薄机：国产替代&Chiplet带来国产化大空间....................................-14- 3.2湿法设备：空间广，公司产品已用于晶圆再生....................................-15- 3.3量测设备：国产空间大，公司产品验证中...........................................-17- 4．盈利预测......................................................................................................-19- 5．风险提示......................................................................................................-20- 1.国产CMP设备龙头，设备+服务铸就高成长 1.1国产CMP设备龙头，产品矩阵完善 图表1：公司发展历程 华海清科是中国大陆CMP龙头，横向拓展打造平台型企业。自2013年4月成立以来，公司一直深耕半导体装备赛道，是大陆少数提供12英寸CMP商业机型的制造商，打破和海外厂商的垄断，并利用在12寸设备上的技术积累积极布局8寸、6寸化合物CMP设备。截止2021年12月31日，公司拥有国内外授权专利209项，其中发明专利114项，积累了深厚的技术储备。根据SEMI数据，2022年中国大陆CMP市场规模为5.1亿美金，假设2022年公司CMP设备营收占比为80%（2021年这一占比为86%，耗材&晶圆再生业务通常增速更快，使得2022年CMP占比有所下降），对应CMP营收 在2.0亿美金，市占率为38%。近年来，公司横向布局新设备品类，代表产品如减薄抛光一体机、湿法设备和量测设备等，打造平台型企业。 华海清科股份有 限公司成立 （1）Universal-300进入 中芯国际 （2）二代机型Universal-300Plus研制成功，集成多种终点检测技术 （3）获批承担国家02重大专项 （1）Universal-300Plus进入中芯国际，同年完成验收 （2）8英寸CMP设备Universal-200研制成功，同年进入客户端并完成验收 （3）为CMP客户提供耗材销售、安装测试等服务 8英寸CMP设备Universal-200Plus研制成功 Versatile-GP300发往客户 端，拓展3DIC减薄市场 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 国内首台12英寸CMP设备Universal-300研制成功，打破国际巨头数十年的垄断 Universal-300通过中芯国际验收 三代机型Universal-300DUal研制成功， 成功进入长江存储并通过验收 （1）Universal-200Plus进入客户端并完成验收 （2）Universal-300X研制 成功并进入客户端 （3）Universal-300T研制 成功 （4）12英寸减薄设备 Versatile-GP300研制成功 TSVCMP设备进入先进封装国际头部企业 来源：公司官网、公司招股书、公司公告，中泰证券研究所整理 CMP设备及相关业务，是公司的核心业务。 CMP设备：CMP是使晶圆达到纳米级全局平整的技术，能够有效维持 集成电路的性能和可靠性，CMP设备是对硅片/晶圆自动化实施CMP工艺的超精密设备。华海清科的CMP设备拥有超过十项以上的关键核心技术，包含先进抛光系统、终点检测系统、超洁净清洗系统和精确传送系统等功能模块，有效解决了集成电路制造纳米尺度“抛得光”、晶圆全局“抛得平”、纳米厚度“停得准”、纳米颗粒“洗得净”等关键难题。公司CMP设备分300系列、200系列两大类，分别针对12寸、8寸产线。 配套材料及技术服务：主要分关键耗材和晶圆再生业务。关键耗材业务， 其需求来自CMP工艺过程中使用的用抛光液、抛光垫等通用耗材，也有抛光头、保持环、气膜、清洗刷、钻石碟等关键耗材。晶圆再生是将 图表2：公司产品矩阵 晶圆控挡片回收加工使其再次达到使用标准的产业，本质上是一项对废弃晶圆再利用的服务。 12 英寸减薄抛光一体机 200 系列12英寸CMP 设备 300 系列12英寸CMP 设备 Universal-300Universal-300PlusUniversal-300DualUniversal-300XUniversal-300T Universal-200Universal-200PlusVersatile-GP300 来源：公司官网、公司招股书、公司公告，中泰证券研究所整理 公司股权结构均衡，合理激励利好团队积极性。截至2022年第三季度末，清控创业投资公司持有公司28.19%的股份，为公司第一大股东。公司第二大股东为清津厚德（天津）科技合伙企业，持股比例为7.68%，第三大股东为公司董事长、首席科学家路新春，占比为5.95%。公司董事长路新春自2013年起任清华大学机械工程系教授、首席研究员，拥有二十余年CMP技术的研究经验，是国内CMP技术发展和产业化的重要推动者，曾获得国家自然科学二等