本土刻蚀设备中流砥柱，多线布局助力国产替代

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中微公司是一家本土刻蚀设备企业，产品覆盖海外一线大厂及国内头部厂商。公司2022年全年预计实现营收47.4亿元，同比增长52.5%，实现归母净利润区间为11.70亿元，同比增长15.66%；实现扣非归母净利润9.19亿元，同比增长183.44%。刻蚀机业务高速发展，CCP市占率不断提升，ICP设备快速放量。公司MOCVD在Mini-LED中的蓝绿光生产线取得绝对领先地位，针对Micro-LED的新品设备也在积极研发，布局于金属钨填充的LPCVD设备、锗硅外延生长的Epi设备和原子层沉积的ALD设备研发顺利，部分已经进入样机制造和调试阶段，预计将于23年陆续推出，有望成为公司新的业务成长点。投资布局量测设备，有望成为国产替代新军主力。公司2022年对睿励仪器追加1.08亿元现金投资，持股比例从20.4%变更为29.4%，持续投资布局工艺检测设备领域，有望成为国产量测设备主力，同时与制造设备形成良性协同作用。我们预计2022-2024年公司归母净利润为12.19、15.53、19.17亿元，同比增长15.66%、27.52%、23.37%，EPS为1.41、1.79、2.22元，对应PE为91、72、57倍，上调至“买入”评级。