国内ALD设备领军企业，受益N型TOPCon电池扩产

请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告|2023年02月28日无评级1微导纳米（688147.SH）国内ALD设备领军企业，受益N型TOPCon电池扩产公司研究·公司快评电力设备·光伏设备投资评级：无评级证券分析师：王蔚祺010-88005313wangweiqi2@guosen.com.cn执证编码：S0980520080003证券分析师：李恒源021-60875174lihengyuan@guosen.com.cn执证编码：S0980520080009证券分析师：王昕宇021-60375422wangxinyu6@guosen.com.cn执证编码：S0980522090002证券分析师：陈抒扬0755-81982965chenshuyang@guosen.com.cn执证编码：S0980523010001事项：近日，公司公告与通威股份下属子公司签订重大销售合同，拟向通威太阳能（彭山）有限公司销售全自动ALD钝化设备及PE-Poly设备，含税总金额达到4.52亿元，是公司2021年度营业收入的105%。合同约定，相关设备在2023年7月30日前将全部设备交至通威彭山。国信电新观点：1）公司是国内ALD技术设备龙头企业，依托自身在ALD技术方面的领先性，不断开拓下游市场，目前已实现在光伏电池领域的规模化推广，并开始进入半导体领域。在几种镀膜技术中，ALD在超薄薄膜制备、复杂结构表面镀膜、以及批量镀膜均匀性等方面具备明显优势，而各个前沿领域对镀膜技术的精密性、复杂性、均匀性要求都会有不同程度的提高，ALD技术的优势有望进一步凸显。2）光伏领域：经过2022年部分先驱组件商的探索尝试，N型TOPCon技术的经济性已得到充分验证，2023年将是全行业TOPCon加速扩产的一年。目前N型TOPCon正面氧化铝钝化膜基本全部采用ALD技术，微导纳米在该环节竞争优势明显。同时，公司积极拓宽产品线，向TOPCon其他工艺环节延伸，开发PECVD、PEALD以及扩散退火设备，提高对单GWTOPCon产线覆盖的价值量，充分受益TOPCon扩产大潮。对于其他新型电池技术，公司有XBC和钙钛矿的在手订单，异质结设备暂无订单和产品销售。3）半导体领域，此前行业内使用的ALD设备基本上来自于海外，国内仅少数企业有少量的销售，国产替代的空间巨大。公司作为ALD设备龙头，2021年已经有1台设备确认收入，未来半导体ALD设备的在手订单和产品销售有望持续提升，为公司ALD技术开拓更多的下游应用市场。综上，综上，我们预计公司2022-2024年实现营业收入6.8/14.2/18.8亿元，同比增长58%/109%/32%；实现归母净利润0.60/1.57/2.52亿元，同比增长29%/164%/60%，当前股价对应PE分别为255/97/60倍。评论：公司概况公司成立于2015年12月，是一家面向全球的高端设备制造商。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域；主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、硅基微显示和3D封装等半导体及泛半导体ALD设备和技术，以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池的薄膜设备和量产解决方案。公司于2022年12月23日在科创板挂牌上市。 请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告2图1：微导纳米发展历程资料来源：公司招股书，国信证券经济研究所整理公司为家族控股的民营企业，股权结构集中。公司实际控制人为王燕清先生，并与其妻倪亚兰和其子王磊，三人通过万海盈投资、聚海盈管理、德厚盈投资间接控制公司67.34%的股份，同时王磊担任公司董事长、倪亚兰担任公司董事。王燕清先生出生于1966年，毕业于常州无线电工业学校模具设计与制造专业、清华大学经管学院，1986年至1999年期间任职无锡县无线电二厂设备助理工程师，2002年创立先导智能，至今任职先导智能的董事长兼总经理，对机械、设备、电子领域有深刻的理解认知和丰富的行业经验，是江苏省总商会副会长、中国工商业联合会第三次全国代表大会代表。图2：微导纳米股权结构资料来源：公司招股书，国信证券经济研究所整理主营业务及商业模式公司属于晶体硅太阳能光伏设备制造业，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户（光伏电池制造商等）提供光伏薄膜沉积设备、半导体薄膜沉积设备和配套产品及服务。其中光伏设备是公司最主要业务，2019/2020/2021/2022Q1-3的营业收入占比分别为94%/96%/64%/94%。 请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告3表1：公司各板块营业收入（亿元）及毛利率2019202020212022Q1-3营业收入毛利率营业收入毛利率营业收入毛利率营业收入毛利率光伏设备2.0252.4%2.9950.8%2.7534.5%3.61-半导体设备0.00-0.00-0.2552.2%0.10-配套产品及服务0.1471.7%0.1369.1%1.2772.5%0.14-合计2.1654.0%3.1351.9%4.2845.8%3.8537.1%资料来源：公司公告，国信证券经济研究所整理公司设备业务主要采取以销定产、定制化设计、定制化生产的商业模式。销售端采取直销模式，通过直接接洽和投标的方式获取客户订单。生产端和采购端以每个设备订单的需求为基础，进行定制化的产品设计、原料采购和组装生产。专用设备属于技术密集型产业，为满足下游客户对于设备的定制化需求，提供领先于行业技术水准的生产设备，需要强大的研发能力和产业化能力支撑。因此，持续的研发投入和技术创新，是公司保持产品竞争力和获取订单能力的关键。公司主要采取自主研发模式，根据研发阶段和内容将研发人员分为机械设计、电气和软件开发、工艺开发三类，为公司综合竞争力提供持续支持。图3：公司商业模式示意图资料来源：公司招股书，国信证券经济研究所整理 请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告4行业分析：光伏电池技术变革促进扩产需求，新型技术工艺中镀膜设备价值占比提升随着各国家及地区节能减排政策日益趋严，叠加地缘政治引发的能源危机，光伏行业快速发展，我们预计2022-2025年，全球光伏新增装机分别为230/335/438/547GW，同比增速35.3%/45.7%/30.7%/24.9%，对应全球组件需求约为288/419/548/684GW。图4：2020-2025年全球光伏新增装机容量（GW）资料来源：中国光伏行业协会、SolarPowerEurope，国信证券经济研究所整理及预测中国光伏制造产业经过十余年的发展，已经在全球形成了绝对领先的竞争力，硅料、硅片、电池、组件各个环节的产量均在全球占据非常高的比重。以电池片为例，2010年国内电池产量占全球比重约40%，而2021年已经提升至88.4%。光伏电池产能向国内企业集中，与光伏电池设备的国产化是相辅相成的。图5：国内光伏电池片产量占全球比重逐年提升资料来源：中国光伏行业协会，国信证券经济研究所整理当前市场主流产品类型为PERC电池，随着PERC技术日趋发展成熟，其转换效率提升空间越来越小，行业内越来越多的企业投资新型电池产能。以TOPCon、HJT和IBC为代表的N型单晶电池技术转换效率有很大的提升空间，未来将逐步取代PERC电池技术成为市场主流。 请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告5表2：2021-2030年各种电池技术平均转换效率变化趋势分类2021年2022年2023年2025年2027年2030年P型多晶P型BSF多晶黑硅电池19.50%19.50%19.70%---P型PERC多晶黑硅电池21.00%21.10%21.30%21.50%21.70%21.90%P型PERC铸锭单晶电池22.40%22.60%22.80%23.00%23.30%23.60%P型单晶P型PERC单晶电池23.10%23.30%23.50%23.70%23.90%24.10%N型单晶TOPCon单晶电池24.00%24.30%24.60%24.90%25.20%25.60%HJT电池24.20%24.60%25.00%25.30%25.60%26.00%IBC电池24.10%24.50%24.80%25.30%25.70%26.20%资料来源：中国光伏行业协会，国信证券经济研究所整理2023年为N型电池，尤其是TOPCon电池产能高速扩张的年份。我们预期2023年光伏电池行业新增产能为209GW，均为新型高效电池技术。其中TOPCon产能125.5GW（另有由PERC改造的产能20GW），异质结和XBC分别新增产能41.6GW。我们测算光伏电池设备市场空间2023-2025年分别为487/607/630亿元，同比分别为155%/25%/4%。表3：光伏电池设备市场空间测算202020212022E2023E2024E2025E全球新增光伏装机量（GW）130170235340451580假设容配比1.11.21.21.21.251.25全球光伏电池组件需求量（GW）143204282408564725电池片行业产能利用率（产量/年底产能）57%48%55%55%55%55%年底电池片行业产能规模（GW）24942451374210251318新增产能（GW）3917489209258263PERC新增产能中PERC产能占比（%）96%93%5%0%0%0%新增PERC产能（GW）37.0161.94.50.00.00.0当年PERC设备单GW投资额（亿）2.31.91.51.51.51.5PERC设备市场（亿）83.2314.16.70.00.00.0TOPCon新增产能中TOPCon产能占比（%）2%5%70%60%50%40%新增TOPCon产能（GW）0.88.762.5145.5154.2135.2其中：新建TOPCon产能（GW）0.88.762.5125.5129.2105.2由PERC改造的产能（GW）0.00.00.020.025.030.0当年TOPCon设备单GW投资额（亿）2.72.21.81.71.61.5当年老PERC改造成TOPCon单GW投资额（亿）1.11.00.80.70.60.5TOPCon设备市场（亿）2.119.1112.4227.3221.7172.8HJT新增电池中HJT产能占比（%）2%2%10%20%30%40%新增HJT产能（GW）0.83.58.941.877.5105.2当年HJT设备单GW投资额（亿）4.54.03.53.33.13.0HJT设备市场（亿）3.513.931.2138.0240.3315.5XBC新增电池中XBC产能占比（%）--15%20%20%20%新增XBC产能（GW）--13.441.851.752.6当年XBC设备单GW投资额（亿）--32.92.82.7XBC设备市场（亿）--40.2121.3144.7142.0合计电池片设备总市场（亿）89347191487607630yoy291.3%-45.1%155.4%24.7%3.9%资料来源：中国光伏行业协会、各公司公告，国信证券经济研究所整理和预测典型的光伏电池生产设备包括清洗制绒设备、扩散炉、刻蚀设备、镀膜设备、激光开槽设备、丝网印刷机等。其中薄膜沉积设备在PERC技术工艺中主要用于钝化和减反膜的制备，对于新型高效电池来说，目前产业化前景最为明确的TOPCon电池和HJT电池对于薄膜沉积的需求更高。TOPCon电池生产线可以由PERC电池生产线升级改造实现，除原薄膜沉积需求外，还增加了隧穿层和掺杂多晶硅层(POLY)镀膜需求。 请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告6图6：PERC、TOPCon电池工艺流程及对应设备资料来源：公司招股说明书，国信证券经济研究所整理新型电池技术中薄膜沉积工