华懋科技纪要-调研纪要

华懋科技交流纪要【Q&A】Q：A胶的进度和认证？ A：博康A胶在客户评估有五款产品，包含55nm，40nm节点产品，2月份送样28nm产品，涵盖了dry和浸入式两大类。部分客户采购，部分评估验证，预计今年上半年完成整个验证。 28nm以下（14nm和7nm）包含ntd和ptd材料，在按部就班研发中，ntd预计Q2给客户送样评估。A胶材料会进一步涵盖7nm以上所有节点。 博康除了A胶，还有K线和I线，以及封装电子束，去年到现在不管在逻辑厂还是存储厂的评估材料比较多，去年到今年Q1有部分都在量产，上半年到客户端会逐步放量采购。 Q：k胶的进展？ A：K胶布局上有20多款产品，分两大类包含正胶和负胶，负胶多用在器件领域类似玻璃金属工艺，半导体IC端负胶；正胶多用在存储逻辑厂，12 寸到8寸，覆盖1800A到12微米，跟国外领先厂一致，可达高端产品替代。 7nm到14nm所用的离子注入层材料性能可以完全pk，在多家客户导入量产，包含9060554028节点的离子注入层，用在KF工艺。 今年除了高分辨率，在中厚胶会持续加大研发，主要针对CIS领域产品，国外只有一两家在做，技术难度大，国内只有公司产品在客户验证，会进一步加大推进。 Q：光刻胶产能和未来规划？ A：徐州工厂一期2500加仑/月左右，一期车间改造在4月份或扩大到7000加仑/月，一期还剩55亩地，今年年底到24Q1完工还会增加12000加仑/月产能。 一期之外浙江东阳工厂，22年9月动工建设，规模较大。上海武汉北京三地跟政府对接，配套fab厂服务。 这个产能是可以切换的，不过不会频繁切换，洗釜即可。 Q：反应釜？ A：目前使用到的是国产反应釜，会做一些特殊工艺达到更高要求；在新厂会尽可能采用更多国产反应釜，也会买一些进口反应釜；国产反应釜性能还可以（做了特殊处理，自己的涂层工艺）。 Q：A胶的过程？ A：A胶最早投入研发在18年左右，在19年底已经开始做出来A胶，分辨率不高，部分国内客户没有I-line，用A胶代替；切入到90nm到55nm后，2020年配方大体定型，在40nm阶段送样在2021年下半年，是国内第一只做孔洞胶在客户端评估有良率的，研发中每一个节点的突破都是分辨率的进一步提升，涵盖了很多公司开发的积累经验，已经有四五年研发时间。 Q；K胶研发的帮助？A：工艺调整细节有借鉴意义。 但大的突破靠自己研发，A胶有浸没式不一样。 Q：k胶的国产？ A：k胶起步更早，13年决定做光刻胶，14年开始做，15-16年底花了一年时间真正有样品出来到客户验证通过，最开始主要是低端K胶（8寸及以下）。 18-19年推到8寸上使用的分辨率，在180-200左右分辨率，基本可以满足所有8寸客户的使用，包含滤波器，功率器件额定。 19年开始布局更高端的产品，在2021年中开始真正完全到客户端验证，目前在高分辨率在KF在国内领先很多，最小分辨率可以做到110nm。Q：光刻胶生产哪个环节最重要，单体难还是配方难？A：看综合的能力，博康的特点是从原材料做到光刻胶，单体、树脂、光酸每个环节都有自己的know-how，问题点和难点都不一样。 公司最开始做医药中间体，发现单体可以用到光刻胶，单体从10年左右慢慢到14年内一直做单体，发现国内没有这块市场，没有做树脂更别说光刻胶，公司开始布局全产业链，促进进一步开发光刻胶和树脂的团队。 Q：配方是挖人？ A：前期引进国外大厂专家，大学里教授（远程）专家，开始以外面专家进来做技术指导为主，普通材料开发培养了更多国内优秀人才，依然有和外面专家合作。 Q：下游客户为什么愿意？ A：在国外光刻胶供应商是树脂，树脂的供应商是单体，公司卖出的单体是提供给中游，没有涉及直接竞争对手。 单体、光刻胶、树脂、光酸都是自供，国内唯一一家。 从原材料到光刻胶都做的好处还有定制化开发会比较快，因为其中会有很多验证，自己做光酸和树脂可以及时调整，在客户端的一些迭代开发会更快Q：日本跟进美国限制，有什么看法？ A：必然趋势，要靠自己研发，国产化必须做强Q：光刻机禁止了，没有需求有什么影响？A：肯定会有影响，存量不会有影响，光刻机只会禁止一些节点，ASML不行，Nikon和Cannon也许可以，还有国产光刻机。对扩产会有影响，但对材料来说会是利好，会更多选用国产替代。 Q：光刻胶制裁是否和节点绑定？A：比较通用，比如用在28-40都可以。光刻胶受影响较大的是日本。 Q：光刻胶收入结构A：22年A胶和K胶都有比较大增量，23年的量起来会更加大，金额是亿级的Q：Fab厂期望光刻胶的国产化率？A：期望是100%，但是实际要看国内产能和验证Q：客户推进哪里比较快？A：逻辑相对来说产品数量比较多，几家客户加起来有17-18只，接下来还会送比较多，产品布局和评估比较快。 存储19年就在送样评估，料号也不少。几家的差异不太远，因此几家都差不多。 Q：去年底杜邦和TOK传言禁光刻胶，断供情况？公司有没有能顶上的产品？ A：k胶有3款左右，A胶有2款总有，公司A胶的两款可以直接上量，K胶有两款在采购，一款等一下验证。一款A胶对应用量每月在300加仑左右，K胶加起来一支在四五百加仑左右每个月。 Q：日本加入，JSR有没有加入趋势A：JSR目前还没跟进，没有明显感受到。Q：下游验证有没有在提速？A：下游验证在提速，更多的资源在倾斜，包括机台，人力资源。 有些产品面临断供风险，尽早采购，评估在加速。 Q：光刻胶在逻辑和存储的销售比例？ A：五五开的水平，差不多Q：2500加仑的产品价格A：I线国外在四五百美金，公司低一点；K线1000美金公司略低，A胶四五千美金/加仑Q：k胶国内需求有多少款，国内能供应多少？ A：产品会有重合，K胶大类有四五十款。 公司目前27种已经涵盖大部分了，今年希望K胶全部研发立项覆盖年底完成研发。 Q：A胶多少种？ A：A胶主要是12寸厂，20-30款。 最难的就是高分辨率14-7nm节点，PTD、NTD节点，今年Q2送样。 Bark、tark、SOC等也在布局做。 目前客户量产5款，今年立项研发15款左右。明年研发配方阶段全部国产化覆盖。 Q：A胶明年年底全部国产化？A：是研发，配方定型Q：什么时候能够国产化？A胶和K胶的产能可以切换吗？ A：希望今年全部研发立项，A胶和K胶的产能可以切换，通过反应釜，但是不会频繁切换。Q：28nm？ A：28nm用浸入式，一般不用NTD，ntd是做负显影，做孔洞才采用NTD，存储也有NTD材料。三年最起码要到80-90%，研发上全覆盖，产业上难度还比较高。 国内比较大的客户在合作开发，比较大的开发会和Fab厂一起做。 Q：国家扶持？ A：地方政府的科技创新，产品与设备的补贴，国家级有02专项的单体，还会有中间项目，晶圆厂的合作，经济上的补贴，力度会越来越大。Q：客户国产化意愿？A：客户端要求国产化意愿非常高，如果后年研发出来，可以很快验证，但是配方定型之后，能够匹配这块容易卡，工艺环节也不一样。 另外替代的话需要更多的精力做匹配。 Q：国内一个月光刻胶的需求量？ A：种类有190款，举例10万片先进的厂（12寸，更多immersion光刻胶），计算一个月有5000加仑，金额8个亿的采购。Q：研发团队？ A：210人左右，逐渐增加的，国内研发团队人最多的的，包含了A胶K胶，光酸等。规模可能会扩产到300人，还有高端人才的引进，高端专家以及年轻力量，后备力量。Q：美籍高管禁止影响？ A：没有美籍高管，不影响Q：不会做面板相关的？ A：短期没有计划Q：I胶的规划A：收入占比20%多，属于量比较多，价值不高。高分辨率的I胶极限就是350nm。 公司有和客户联合研发替代backup部分K胶分辨率到220nm。 Q：其他材料？A：电子束是做掩膜版很关键的材料。 国产化率最低的有光刻机，光刻胶，mask光罩的电子束公司也在做，能做到7nm会从国内掩膜版客户开始做Q：中远期规划？ A：5-6个工厂，复制徐州工厂，每个20-25亿产值。工厂净利润率25%，不考虑研发。 合计100亿左右产值，包括光刻胶和材料，中间体，显影液，辅料等。目前光刻胶市场总空间50亿，考虑未来大陆扩产光刻胶需求看到100亿。 材料开发会很快，对技术要求不是很高，在做单体的时候已经有很多经验。