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维持“增持”评级,目标价393.4元。公司PECVD业务持续增长,预计22年实现营收16.5~17.2亿元,同比增长117.7%~126.9%;归母净利润3.3~4.0亿元,同比增长381.9%~484.1%;扣非后归母净利润1.6~1.9亿元,扭亏为盈。公司PECVD业务占比超过90%,覆盖所有薄膜材料,性能上业界口碑良好,出货量上国内遥遥领先,新增产线渗透率将持续提升。多边形高产能机台+UV Cure配置,将进一步拔高单机价值量。