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半导体设备零部件国产化加速,开启千亿新蓝海。中国大陆市场超千亿人民币。零部件是半导体设备行业的支撑,市场规模近600亿美元。总体上看,国产化率较低的部件,通常为较复杂的电子和机械产品,开发技术难度大,对精度及材料要求高,如射频电源、泵、压力计、陶瓷件等;或者市场规模较小,市场碎片化特征明显的部件,如压力计、气体流量计、O-ring等,根据芯谋研究数据,这些部件在中国市场规模不超过2000-3000万美元,且不同产品工作原理有很大差别,因此国内厂商研发和生产的兴趣不足。建议关注正帆科技、新莱应材、汉钟精机、菲利华等。