国内领先的泛半导体设备洗净服务提供商

专注泛半导体设备洗净业务，拓展相关领域衍生增值服务。公司前身为上海申和洗净表面处理事业部，主要为半导体设备、显示面板设备提供洗净服务，并拓展至大部分竞争对手无法提供的刻蚀设备零部件的表面阳极氧化加工、陶瓷熔射服务，以及半导体设备维修服务。公司几乎覆盖了国内所有在运营的 6/8/12 英寸的晶圆代工产线。除个别光刻机设备，公司对其他各类半导体生产设备均形成了成熟的清洗工艺。在高世代LCD、OLED 等前沿领域，公司已具备满足客户全方位洗净需求的能力。 营收增速放缓，盈利能力较稳定。公司 2019-22 年前三季度分别实现收入3.2/4.8/5.7/4.63 亿元，19 至 21 年复合增速约 33%，22 年前三季度同比增长 11.3%；实现归母净利润 0.44/0.73/0.88/0.63 亿元，22 年前三季度同比略增 0.7%。最新一期销售毛利率为 36%。公司仍主要提供清洗服务，1H22 占主营收入约 78.5%。其中半导体清洗业务年化增速约 50%，显示面板设备清洗业务收入 2019 年后规模比较稳定。增值服务中，HS翻新服务自 2018 年来快速增长，目前营收规模基本稳定。 清洗技术积累深厚，达到国内较先进水平。国内半导体洗净技术大多停留在 28 纳米以上制程，28 纳米以下洗净技术大多被日韩和欧美国家垄断。 公司目前已量产 14 纳米制程 PVD 部件清洗技术，同时已储备 7 纳米制程设备的洗净技术，处于国内较先进水平。公司针对不同母材（不锈钢、铝、钛、陶瓷、石英、石墨、工程树脂等）零部件拥有成熟的化学配方，可清洗的沉积膜质包括氮化钛、铝、铜、钨、二氧化硅、氮化硅、刻蚀聚合物等。针对不同母材/沉积物的组合，公司均能选取相应化学配方完成有效清洗。 国内精密洗净行业起步较晚，产业升级有望带来服务量价齐升。公司是国内最早从事精密洗净服务的企业之一，也是国内最早实现半导体 PVD 洗净工艺量产服务的企业之一。目前在国内设有 6 个洗净服务基地，竞争对手大多不超过 2 个。因此虽然技术上公司与国际巨头有一定差距，但考虑到与国内企业竞争较多，技术上具有一定优势。国内泛半导体零部件清洗市场约 30 亿元，除下游行业扩产会带来洗净需求增长外，半导体的技术进步对专用设备精密度与稳定性的要求越来越高，相应对洗净技术的要求也不断提升，洗净频次也不断缩短。国内面板企业稼动率回升有望拉动面板洗净服务需求，此外，国内 AMOLED 扩产对洗净服务企业的技术工艺提出更高要求，服务价值量提升的同时，加速推动洗净技术的迭代更新。 可比公司情况：目前国内无泛半导体设备精密洗净细分行业上市公司，因此选取泛半导体产业链洗净设备、高纯工艺设备、半导体专用设备、面板专用设备领域的 A 股上市公司盛美上海、至纯科技、江丰电子和中微公司。 风险提示：产品研发未跟上客户节奏被替代、关键技术人员流失风险、核心技术泄露风险；海外龙头在中国扩建服务中心抢占市场风险、半导体刻蚀洗净业务流失带走部分基础洗净业务风险；大客户偏集中风险、公司有控股股东但无实控人风险。 公司概况 股东结构 公司控股股东上海申和直接、间接控制公司78.806%的表决权。公司的间接控股股东日本FERROTEC（日本磁控）持有上海申和100%股权，其无股东持股超5%，因此公司无实控人。 富乐德：国内领先的泛半导体领域设备精密洗净服务提供商 公司成立于2001年，由上海申和洗净表面处理事业部逐步演变而来，2002年导入中芯国际产品清洗，2005年导入台积电（上海）产品清洗。专注于为半导体、显示面板生产厂商提供一站式设备精密洗净服务，目前国内清洗规模第一。可提供半导体设备洗净服务、显示面板设备清洗服务（TFT设备洗净、OLED设备洗净、陶瓷熔射再生和阳极氧化再生服务），及半导体设备维修服务。 图1：公司发展历程 泛半导体产品制造过程中，需要用到蒸镀、薄膜、蚀刻和光刻等工艺过程。这些工艺使生产设备沉积覆着物或被刻蚀，需阶段性对设备进行精密洗净或再生处理，确保产品良率。公司采用自主工艺洗净客户机台预防性保养时换下的零部件，为半导体PVD/CVD薄膜沉积、扩散、光刻、刻蚀部门设备提供定期洗净服务。公司的洗净技术与客户制程的进步相辅相成，能够参与到客户的研发及制程的升级换代中，协助客户快速实现生产设备洗净的国产化，降低成本。公司目前几乎覆盖了国内所有在运营的6/8/12英寸的晶圆代工产线。除个别光刻机设备，公司对其他各类半导体生产设备均形成了成熟的清洗工艺。 在高世代LCD、OLED等TFT前沿领域，公司已具备满足客户全方位洗净需求的能力。2005年公司在TFT生产设备清洗领域取得突破。目前可为CF（彩色滤色器）部门的ITO Sputter薄膜沉积设备，Array部门的PVD Sputter薄膜沉积设备、CVD薄膜沉积设备、干刻（Dry Etch）部门的干刻刻蚀设备等提供洗净服务。覆盖了G4.5/G5/G5.5/G6/G8.5/G8.6/G10.5代次的全阶段沉积和刻蚀设备，涉及设备腔体挡板、玻璃运载装置、Mask等约1500款零部件产品的清洗服务。 图2：集成电路制造工艺及公司洗净服务（绿色框内）所涉及环节 在OLED领域，公司主要为蒸镀部门的蒸镀机设备、IMP部门的离子注入设备提供清洗服务，覆盖硅基微显示蒸镀设备及G4.5/G5.5/G6代次的蒸镀及离子注入设备，涉及设备腔体挡板、点源线源坩埚、Openmask等约900款零部件产品。 在清洗业务之外，公司同时提供衍生的增值服务。包括为半导体和显示面板行业的刻蚀设备零部件提供表面阳极氧化加工、陶瓷熔射服务，用于提升机台与零部件的耐腐蚀性，且大部分竞争对手无法提供。以及半导体设备维修服务，为半导体化学机械抛光（CMP）设备研磨头的耗材进行更换维修与清洗。 公司业务： 营收增速放缓，盈利能力较稳定 公司2019-22年前三季度分别实现收入3.2/4.8/5.7/4.63亿元，19至21年复合增速约33%，22年前三季度同比增长11.3%；实现归母净利润0.44/0.73/0.88/0.63亿元，22年前三季度同比略增0.7%。最新一期销售毛利率为36%。 图3：富乐德近期营收利润表现（百万元，左轴）与增速（右轴） 图4：富乐德近期销售毛利率、归母净利率、摊薄ROE水平 公司仍以提供清洗服务为主，1H22占主营收入约78.5%。其中半导体清洗业务年化增速约50%，显示面板设备清洗业务收入2019年后规模比较稳定。增值服务中，HS翻新服务自2018年来快速增长，目前营收规模基本稳定。 图5：富乐德主营业务收入按项目拆分（百万元） 图6：富乐德显示面板设备清洗服务业务细拆（百万元） 服务内容全面，公司与老客户保持长期稳定合作 公司在业务实践与拓展中积累了丰富的行业经验和优质客户资源。公司的检测分析中心，可实现半导体设备零部件微污染检测、半导体制造环境颗粒污染检测、化学污染检测、洁净度评估等。同时在客户端配备专业的驻厂服务人员，及时了解客户需求，提供定制化的专业洗净服务解决方案。公司的客户结构较稳定，前五大客户基本为国内主流半导体/显示面板企业，在此类客户处的收入增长主要来自这些客户在国内的新建产线。在跟进老客户扩产的同时，公司也在努力发展新客户，前五大客户收入占比呈下降趋势。 表1：公司各领域主要客户 表2：公司2019-1H22前五名客户结构 公司清洗技术积累深厚，达到国内较先进水平 公司在泛半导体清洗领域的洗净工艺改进、新服务产品开发等方面形成了一系列科技成果，已获授予专利权154项，其中发明专利共计13项。在化学复配缓蚀技术、显示面板生产设备腔体精密洗净再生技术、半导体设备腔体精密洗净再生技术等领域积累了较为丰富的经验。 国内半导体洗净技术大多停留在28纳米以上制程，28纳米以下洗净技术大多被日韩和欧美国家垄断。公司目前已量产14纳米制程PVD部件清洗技术，同时已储备7纳米制程设备的洗净技术，处于国内较先进水平。 公司针对不同母材（不锈钢、铝、钛、陶瓷、石英、石墨、工程树脂等）零部件拥有成熟的化学配方，可清洗的沉积膜质包括氮化钛、铝、铜、钨、二氧化硅、氮化硅、刻蚀聚合物等。针对不同母材/沉积物的组合，公司均能选取相应化学配方完成有效清洗。 显示面板设备腔体精密洗净再生技术上，公司能将常规产品洗净过程中的损耗控制在30微米内；精密制程部件的清洗损耗控制在1微米以下；污染性离子含量控制在ppm级及以下；颗粒度管控要求满足在0.3微米以下。 行业简析 国内精密洗净服务行业起步较晚，公司为细分领域龙头 QuantumClean、韩国KoMiCo、PentagonTechnologies为精密洗净行业国际领军企业。QuantumClean在全球8个国家设有18个洗净服务基地，每年清洗超过100万件半导体工艺工具腔体零件，在中国暂通过代理或者原厂提供洗净服务。韩国KoMiCo可量产 12nm 制程精密洗净服务，特别在在半导体陶瓷熔射、阳极氧化领域技术领先，在中国以无锡高美可科技为服务实施主体，是无锡海力士的最大洗净供应商。PentagonTechnologies在中国尚未开展设备洗净服务业务。 国内精密洗净服务行业起步较晚，伴随下游产业发展，国内洗净行业经历了行业“从无到有”，以及从国外设备原厂垄断洗净服务到国内洗净服务商的基本替代。 富乐德是国内最早从事精密洗净服务的企业之一，也是国内最早实现半导体PVD洗净工艺量产服务的企业之一。在先进洗净工艺应用的技术水平上，公司虽与国际巨头有一定差距，但鉴于国际巨头在中国的业务布局较少，公司与国内企业竞争较多，因此技术上具有一定优势。 泛半导体精密洗净业务的开展十分依赖截至目前，公司在泛半导体领域布局了天津、大连、内江、铜陵、上海、广州6个洗净服务基地。竞争对手除世禾科技在中国的洗净服务基地超过2个外（包括世巨科技合肥、成都世正、东莞世平共3个，超过芯谋研究报告上显示的2个，系世禾科技在芯谋研究报告出具后新增洗净服务基地），其他洗净服务供应商洗净服务基地均不超过2个，且大多仅一个洗净服务工厂。 图7：国内主要洗净厂商的技术实力和业务竞争优势关键指标 在国内有工厂的国内企业中，世禾科技为中国台湾地区泛半导体洗净领域最大的服务提供商，在深圳及其周边的华南地区优势较明显，技术上已量产 7nm 半导体制程洗净服务，TFT洗净技术在国内也处于前列。科秉电子（母公司为台湾科智）在中国台湾地区洗净领域排名第二，在中国建厂已10年，是目前国内半导体洗净业务主要服务商之一，在中芯国际的占比较高，已量产 7nm 半导体制程。安徽高芯众科目前主要配套合肥京东方提供TFT设备洗净，正积极推进半导体业务。华菱科技为日资企业，蚀刻技术较为领先，是东京电子在中国的主要合作伙伴。 表3：富乐德向主要客户的服务占比、排名情况 泛半导体设备产业升级，洗净服务市场有望量价齐升 根据芯谋研究（ICwise）发布的《国内泛半导体设备零部件洗净服务行业发展研报》，2020年国内泛半导体零部件清洗市场总计26亿元，其中显示面板洗净服务9.8亿元、半导体洗净服务16.2亿元。预计2025年国内泛半导体洗净市场增加到43.4亿元，CAGR为10.8%。其中半导体洗净服务的增量高于显示面板，前者的市场扩大14.3亿元，CAGR达到13.5%。 目前，半导体刻蚀洗净很大部分被外发到韩国等刻蚀洗净能力较强的服务商，主要因为其陶瓷熔射和阳极氧化能力较强，同时还带走部分基础洗净业务。此部分流失市场规模在泛半导体清洗领域占比20%。 拓展维修翻新业务对于洗净厂商是崭新领域，此前一直被国外领先子系统供应商和设备原厂垄断。近年来，设备原厂希望借助洗净服务商的维修翻新能力更多地参与这一业务，摆脱对子系统供应商的依赖。初步估计，国内2020年维修翻新市场规模超过20亿元，预计在五年内维修翻新市场规模将增长到50亿元。目前国内仅世禾、富乐德和高美可等厂商可以通过设备原厂触及到有限的几种零部件维修