半导体零部件专家交流纪要–20221117

模组分类：设备前端模块（EFEM，EquipmentFrontEndModule）、传送腔体（TM，transfermodule）、反应腔体（PM，processmodule）、清洗模组（precleanmodule）、冷却模组（coolingmodule），其他附属设备气柜、电柜等。 具体到零部件：金属：纯铝（chamber类）、铝合金、不锈钢（骨架类）。非金属：陶瓷、石英、石墨。 气体管路、气柜：气体管路用的最多的是世伟洛克的，其他有SMC、VAT的；气柜有些是厂家自制，有些是外包（包给VAT、UCT等）。设备里面用的比较精密的东西基本都要用MKS、VAT、horiba、富士金这四家。 仪表类用的多的是SMC、基恩士两家品牌。流量计MKS买不到，会用英菲康替代。 射频电源：主要是MKS厂家的。 阀门：国内主要用VAT（主流）、SMC；应材核心是自制的。泵：常用的品牌是普旭、爱德华（最多）。 国产化：除了常用的金属加工件，其他气体、气柜、仪表、电源、阀门、泵这些基本都用国外大品牌，无论是国内还是国外都不会用没有认证的东西。 难易程度：非金属类石英件、陶瓷件的加工难度最大，交期最长，8-10个月，以国外为主，国内有大和热磁；其次是精密些的，交期也非常长；下来是气柜组装、金属加工。 模组：EFEM国内用的比较多的是日本的RORZE；TM部分是仿制国外厂商（应材、LAM），再研制一部分。气柜是根据自己的工艺去设计，也会委外定制的。 金属机加工：金属机加工国内有一定规模的厂商都能做，这块不是瓶颈。富创、富士迈、托伦斯、靖江、晶盛机电等等都是半导体设备机加工为主。有瓶颈的部分有国内的厂商出现吗？ 没有。 富创、富士迈、北方华创、晶盛机电等都是用的世伟洛克、SMC等他们几家的东西做原物料，来进行加工和二次组装。零部件国产化率：不到20%。 除了机加工件外，其他部分基本都是国际大牌垄断。 只有一款北方华创自制的七星的流量计，会用在自己的设备上，其他厂商没人敢用。 富创、富士迈、托伦斯、靖江这几家公司加工方式都差不多，从技术上来讲，除了工程师能力之外，主要依赖于设备加工的精度。据我了解，富士迈加工部分是最好的，富创、托伦斯、靖江都是从富士迈挖的工程师。 富士迈的设备都是要给应材代工的，大部分是出口。 富士迈目前销售额大概二十多亿人民币（大陆部分），京鼎精密是其母公司，在台湾。大和热磁：石英件加工是最好的，国产化的订单基本都是他在做。 富创、富士迈、托伦斯、靖江等国内零部件厂商的区别：加工工艺和精度。 TM、PM等带密封性质和管路的部分是最关键的工艺。 这几家工艺会参差不齐，能加工的尺寸也不同，还有除了富士迈之外，其他的加工精度不一定能达到要求，需要积累，目前跟富士迈还是差一个等级。 富士迈能力最强，有自己的机加工厂、钣金厂、表面处理厂，都做了一二十年；富创、靖江他们这几年才重视起来，挖富士迈的人过去，还有一段路要走。 富创在走富士迈的路，除了表面处理，他有自己的钣金厂、机加工厂；靖江好像没有钣金厂，有机加工和表面处理；托伦斯跟靖江差不多。客户：托伦斯、靖江除了国内半导体领域，还有泛半导体比如光伏的部分比较多一些；富创是以半导体为主体，海外代工了应材的东西。超科林和新莱应材：超科林做管路比较多。 新莱不是很清楚。机加工的难度在哪？ 精度加工和大尺寸加工，主要受限于加工设备和工程师技术能力。要代工应材，国产设备很难做，良品率非常低。 富创代工应材的部分，良率在二三十，很多要返工（表面粗糙度、精度达不到要求），一等品出到美国，二等品会自己组装给国内。富士迈良品率在90%。 托伦斯、靖江有一大部分是泛半导体领域的，要求没那么高，因此良率不会太低。表面处理难度？ 表面处理主要是阳极处理。 主要看镀膜的膜厚、表面硬度、表面色差，涉及到化学药品的配比，电流控制，时间长短，包括原材料，这些都比较关键。 富创表面处理不是很好，同一个chamber不同的区域有色差，有时候我们来不及送到富创返工，有些小件会送到靖江进行表面处理（今年4、5月份的事情），他们处理的比富创要好一些。 组装？ 组装不是很难，是这几个里面技术难度最低的，按照行业标准作业，执行力做好，基本上没有太大问题。其他国内做不了的难点在哪？ 流量计等有些军工管制芯片，和一些稀缺资源受限，特别是精度控制的流量计，国内是没法做的（坏掉了要把坏的寄回美国，重新申请再用，不能自己报废）。 行业产能与需求石英件、陶瓷件的加工、隔膜阀、流量计等等都是稀缺零部件，排到10-12个月以上。国内没有哪家能做。 像我们流量计这些都是买一台，备两台的量，花了很多钱备货。阀门国产化进度？ 半导体领域还没人敢用国产的阀门，我们用的都是以VAT为主。富创良率？ 京鼎良率高，但毛利反而低于富创？ 良率低是两年前，这两年提到多少我不知道（消息源：富创两三年之前从富士迈挖了一批人去，包括总监类的，我们都比较熟）。毛利低是因为他是从富士迈到台湾京鼎再到美国；而且富创的人工成本和设备成本比富士迈低。 有传言台积电因为中美关系的问题，可能不会再采购国产设备材料，这会影响富创等零部件厂商在应材、LAM的份额吗？应材、LAM有去支持非大陆厂商扩产的动作吗？ 应材投资了几千万美金，在京鼎的台湾竹南厂建了新的组装厂和机加工厂就是为了应对政治因素，防止富士迈没办法给应材做。目前上海富士迈业务都还是比较火热的，每年二三十的增长。 富士迈作为台企，有在海外客户抢大陆厂商的份额吗？有的。 富创做富士迈的份额非常小，就做了一丁点，一个module，占业务比重很小，组装的部分也很少，就那几个人，所以对富创来说这块影响不大。晶盛机电：主要以单晶炉为主，后面扩到蓝宝石，外延设备。 他的路线是收购一些效益不好的机加工厂，大鱼吃小鱼来扩张。听说晶盛机电这几年能做到十几个亿的收入体量，有这么大么？有。 他们单晶炉占国内市场八九十，还有海外出口，这块是最赚钱的项目。目前投资的外延设备订单也很客观，一年100多台。 下面成立的求是半导体也会用自己的设备。 第三代半导体的外延设备国产化的情况北方华创和先导集团旗下的天芯微两家在做外延设备，是竞争对手，对标应材的外延设备。路线不一样，虽然北方华创先做出来设备（没有在场内验证），但技术上天芯微领先。 难点：零部件买过来都能做。 关键在于温度控制、工艺气体配比和控制。工艺腔体还有一个核心的东西是石英件。 反应腔体跑工艺的温度在1100-1960度之间，因此石英加工精度、光的折射率，应力的释放，热胀冷缩的空间设计，都会影响跑工艺时的状态，很可能炸腔。 我大概了解的情况是这样的，大家每天都在调温度，工艺参数，进气量等。像富士迈这样的行业待遇？ 一线普通作业员，年薪综合收入10-12w左右；技术员12-15w左右；工程师要比技术员多20%，产品工程师比制造工程师高10%左右，工程师平均薪资1.5-2w。 组装的毛利率？ 平均在21%左右，纯利13-14%。 排序：机加工方面，靖江先锋好一些，下来是富创、托伦斯、晶盛机电。 您刚说富创只给应材做一个module，未来不太会做到应材其他的module？对。 他做这个东西主要有两个目的，一是价格比富士迈有优势；二是想借助应材平台，提升加工组装等实力。 但他们还是会受制于设备和工程师能力，这个解决不了就很难达到应材的要求，去做一个比较令应材满意的供应商。虽然有从东北招本科生研究生，但他们没有经过系统的训练，有很长的路要走。