国产半导体零部件领军者，海内外双轮驱动长期成长

富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，涵盖集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积、光刻、涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等多个核心环节设备。凭借对零部件制造工艺数十年的探索积淀，并依托于国家重点项目自主研发，公司产品性能已与国际厂商不相上下，逐步进入全球半导体设备龙头厂商供应链体系，下游客户包括东京电子、HITACHI High-Tech、ASMI、北方华创、中科信装备、拓荆科技等国内外知名半导体设备供应商。 2022年全球半导体零部件市场规模或超500亿美金，海外厂商主导，总体分散局部集中。 根据富创精密招股书及国内外半导体设备厂商公开披露信息，设备成本构成中通常原材料占比90%以上为原材料，考虑国际半导体设备公司毛利率通常在40%-45%左右，则全部精密零部件市场约为全球半导体设备市场规模的50%-55%。根据SEMI，2021年全球半导体设备市场规模达到1025亿美金，预计2022年进一步提升14.7%至1175亿美金。若按零部件占设备市场规模的50%测算，则2022年全球半导体零部件市场规模或超过500亿美金。半导体零部件制造工序繁琐，技术难度大，行业内多数企业通常专注于细分零部件系统，2010年至今全球前十大关键子系统供应商的份额始终维持在50%左右的水平。 中国大陆半导体零部件市场空间广阔。根据SEMI，2019-2021年中国大陆半导体设备销售额占全球的平均比重为25.9%，若以此作为大陆零部件市场占全球的比重进行测算，则2022年中国大陆零部件市场规模为152亿美金。根据芯谋研究，2020年中国大陆晶圆厂8英寸和12英寸前道设备零部件采购金额超过10亿美金。我们认为国内设备厂商正处于持续研发突破，产品初步起量阶段，随着国产设备厂商的放量，未来国内零部件需求预计将快速增长，机遇广阔。 多维度打造研发体系，募投扩产支撑高速增长。富创精密围绕精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接三大核心技术持续研发，不断提升产品性能。公司 7nm 零部件量产实现高端产品自主可控，同时加快研制应用于5纳米及更先进工艺制程的半导体设备精密零部件。为扩大半导体设备精密零部件制造产能，公司于2020年开始新建位于沈阳市浑南区飞云路的新厂房并于2021年末建设完成。此外公司规划启动南通和北京两地扩产项目，进一步提升半导体零部件产能，其中南通厂房为本次上市募投项目。公司也在持续采购配套机器设备，确保产能如期投产。未来公司将形成沈阳、北京、南通三大生产基地，有效实现国内和海外客户产能全覆盖。 盈利预测及投资建议：富创精密2011年起陆续进入客户A、东京电子等全球半导体设备龙头厂商供应链体系，近年来公司持续扩展国内市场，当前全球零部件行业高景气，叠加国产化需求，公司的半导体零部件业务有望实现高速增长。相对零部件，模组产品和气体管路是公司拓展的新产品品类，公司模组产品已经从提供简单模组提升到组装复杂腔体模组和刻蚀阀体模组，ASP呈增长趋势；公司多种气体管路产品通过客户A、北方华创等核心客户认证后，持续量产供货，销量及收入高速增长，随着公司工艺不断精进，市场份额有望持续提升。我们预计公司将在2022年至2024年实现收入14.2/21.9/32.5亿元，归母净利润2.26/3.61/5.34亿元，对应当前估值97.9/61.3/41.4x，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示：市场竞争加剧、新产品研发不及预期、国际贸易摩擦加剧 财务指标 财务报表和主要财务比率 资产负债表（百万元） 现金流量表（百万元） 一、国内半导体零部件领军企业，业绩迎高速增长 1.1深耕半导体精密零部件多年，产品丰富技术领先 富创精密于2008年6月成立，是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，涵盖集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积、光刻、涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等多个核心环节设备。凭借对零部件制造工艺数十年的探索积淀，并依托于国家重点项目自主研发，公司产品性能已与国际厂商不相上下，逐步进入全球半导体设备龙头厂商供应链体系，下游客户包括东京电子、HITACHIHigh-Tech、ASMI、北方华创、中科信装备、拓荆科技等国内外知名半导体设备供应商。 图表1：富创精密发展历程 产品矩阵完整，性能满足国际知名客户要求。公司产品主要包括工艺零部件、结构零部件、模组产品及气体管路四大类，产品性能满足或者优于海外巨头客户要求。同时公司对应具备上述零部件从焊接到检测的多种工艺。 1)工艺零部件包括过渡腔、传输腔、反应腔及内衬等，应用场景为晶圆真空反应的核心环节，对密封性、洁净度和耐腐蚀性要求极高，主要应用在刻蚀设备和薄膜沉积设备。公司过渡腔和传输腔的密封性、反应腔真空度、内衬和匀气盘洁净度均优于主流国际客户指标和中国台湾地区京鼎精密等对标厂商，且多个产品已应用于 7nm 制程半导体设备。 图表2：工艺零部件产品 2)结构零部件对平面度和平行度要求较高，例如铸钢平台和冷却板，分别应用在抛光设备和涂胶显影设备等，公司托盘轴的平面度和平行度优于国内主流客户要求，流量计底座和冷却版的密封性优于主流国际客户指标。 图表3：富创精密结构零部件分类 3)模组设备和气体管路产品，主要主要应用于刻蚀设备和薄膜沉积设备等，这两类产品延伸了公司供应的零部件范围，满足了客户在标准化方面“一站式服务”的需求。基于产品种类的广度，公司目前年均向用户交付首件种类超过3,000种，首件实现量产种类超过2,000种。未来随着客户模组产品需求的不断增加，我们预计公司也将相应推出更多性能更高的模组产品。 图表4：富创精密模组及气体管路产品 1.2股权结构清晰，技术团队稳定 公司实控人行业经验丰富，曾任职并投资多家精密制造领域公司。公司股权结构简单，实控人为郑广文，目前合计控制公司34.03%的股份表决权。郑广文担任董事长、总经理，对公司生产经营、重大决策具有实际控制权。郑广文拥有丰富的任职以及投资精密制造相关公司的经历，2003年投资入股业务覆盖高端精密制造领域的沈阳先进，并于2008年6月通过沈阳先进投资设立富创有限；2006年5月郑广文担任芯源微董事至今；2009年11月郑广文担任富创有限以及富创精密董事长、总经理至今。 图表5：富创精密股权结构 公司多名核心技术人员拥有十多项专利授权，具有多年自主技术开发经验及承担国家专项任务经验。公司董事倪世文先生兼任副总经理、公司技术及产品研发负责人，拥有超过23年的半导体设备精密零部件制造开发及生产管理经验，在“02重大专项”任务中负责产品研发以及生产制造，主导引进柔性生产线制造模式，并作为主要负责人成功开发了半导体核心精密零部件内侧加工和大型传输平台的开发等。公司另有精密机械制造方面技术专家褚依辉作为发明人获得专利17项、表面处理方向技术专家安朋娜作为发明人获得专利9项等。 图表6：富创精密核心技术人员简介 公司股权激励制度完善，利于人才队伍与核心骨干团队的稳定，并提高员工参与科研积极性。公司在2018年1月设立三家员工持股平台宁波芯富、宁波芯芯、宁波良芯，并在2019年、2020年和2021年分别确认股份支付费用319.75万元、280.01万元和507.33万元。公司每年股权激励人数均在40-45人，多次股权激励计划充分调动员工积极性并且增强了员工粘性。同时公司也抓住机遇以“02重大专项”项目为契机，进一步培养了本土科研队伍。 1.3营收利润加速增长，国内业务收入占比不断攀升 营收维持高速增长，利润换挡加速向上。公司近三年营收维持高速增长，2021年公司实现营收8.43亿元，同比增长75.21%，2022H1公司实现营业收入5.98亿元，同比增长73.16%。同时公司近几年扣非归母净利润表现亮眼，2020年公司实现扣非归母净利润0.32亿元，2021年公司扣非归母净利润0.75亿元。2022H1，公司扣非归母净利润维持高速增长趋势，实现扣非归母净利润0.74亿元，已逼近2021年全年水平，同比增速达236.94%。公司营收和净利润高速增长原因如下： 行业景气度持续旺盛，公司产品供不应求，随着产能持续提升，公司业绩进一步释放； 公司产能紧张，聚焦高附加值产品订单，综合毛利率同比提升。同时随着经营规模扩大，规模效应凸显，期间费用同比增幅远低于收入，导致净利润同比增幅高于收入； 公司非经常性损益对净利润贡献比例同比大幅下降，公司扣非后归母净利润增幅进一步放大。 图表7：富创精密营收情况 图表8：富创精密归母净利润情况 结构部件和工艺部件作为营收基本盘，模组和气体管路产品逐步发力。结构零部件因其工艺简单放量较快，而工艺零部件系公司技术附加值最高的产品，这两项产品业务在2018-2020年占据公司营收的70%以上。同时公司积极拓展业务布局，发展模组和气体管路产品，2021年模块加气体管路产品合计营收2.99亿元，较2020年同比增长89.24%。 未来随着公司匹配客户模组需求以及气体管路产品放量，公司模组以及模组和气体管路有望贡献更多营收占比。 图表9：富创精密营收结构（亿元） 图表10：富创精密各业务产品销量（个） 助力设备国产化大势，国内业务收入占比不断攀升。对公司营收按地区进行拆分，可以看出，早年公司设备零部件主要出货海外设备厂商，近几年随着全球半导体设备市场规模不断扩张以及设备国产化浪潮的不断推进，公司海外营收以及国内营收均保持高速增长。2021年，大陆地区营收占比39.32%，较2020年提升17%。对海外业务拆分，亚洲地区营收稳中有升，北美地区是海外业务营收增长的重要动力，主要系公司A客户营收占比较高所致。我们预计随着国内半导体设备厂商国产化的不断深入以及公司逐步发力国内市场，未来公司营收有望实现海内外双线高速增长。 图表11：公司营收按地区划分（亿元） 图表12：公司海外营收占比（亿元） 利润率水平维持稳定，助力设备国产化乘风破浪。受行业景气度上升、产能利用率上升、生产效率提升共同驱动，公司毛利率保持上升。2022H1公司毛利率33.57%，较2021年提升1.53%。公司毛利率小幅波动的主要影响因素一是外销产品毛利率受人民币汇率影响而波动，二是公司为保障国内半导体设备公司发展，内销产品毛利率相对较低。公司过去凭借过硬的产品力打入国际半导体设备厂商并建立了十分牢固的长期合作关系，考虑到大陆销售占比近年来不断增加，我们预计未来公司毛利率或将维持稳定，以长期支持国内半导体设备厂商的突破与发展。 图表13：富创精密综合毛利率情况 图表14：富创精密分业务毛利率情况 费用管控出色，整体费用率呈下降趋势。公司各项费用率均保持低位水平，2022H1公司三费合计占比9.87%，较2021年降低1.04%。公司期间管理费用有所增长，系公司规模不断扩大，管理人员随之增长、外部专家咨询费增长、以及公司已投产的新增设备计提折旧所致，但管理费用率仍受益于营收规模快速增长而维持较低水平。 图表15：公司费用率水平（%） 二、设备零部件海外厂商主导，国内空间广阔 2.1半导体零部件——半导体设备之基石 半导体精密零部件是半导体设备行业的基石。半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等方面达到半导体设备及技术要求的零部件。上游原材料包括铝合金材料和部分非金属原材料，下游应用则涵盖了光刻、刻蚀、清洗、薄膜沉积等半导体设备。鉴于半导体设备厂商往往为轻资产模式运营，其绝大部分关键核心技术需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作为载体来实现，因此精密零部件对半导体设备的性能至关重要。 图表16：半导体设备零部件产业链 半导体设备零部件参数高标准，工艺复杂。由于应用于可靠性要求非常高的半导体设备中，零