电子行业研究：半导体零部件乘风起，国产化率快速提升

投资建议 行业策略：半导体设备零部件在产业链中举足轻重，数量庞大、种类繁多，市场碎片化特征明显。在自主可控加速背景下，随着下游国产设备厂商崛起，国内半导体零部件优质厂商有望复制国产半导体设备公司在过去两年的加速渗透路径，迎来份额和业绩的加速期。 推荐组合：推荐关注各细分领域优质厂商，富创精密（金属工艺件、金属结构件、气体管路等）、江丰电子（腔体、喷淋头等各种金属件居多，布局非金属件）、新莱应材（半导体管阀核心零部件供应商）、正帆科技（工艺介质供应系统，GasBox）、华亚智能（金属结构件）等。 行业观点 零部件是半导体设备基石，全球市场规模接近500亿美元，中国大陆市场超过900亿元人民币。半导体设备厂商绝大部分关键核心技术需要以精密零部件作为载体来实现。一般来说，零部件采购额占据半导体设备生产成本的90%，叠加晶圆厂的耗材更换需求，我们测算2021年全球半导体零部件市场规模接近500亿美元，国内市场超过900亿元。 半导体零部件种类繁多，市场呈现碎片化特征。半导体零部件可以划分为机械类、电器类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类等。半导体设备本身结构复杂，精密零部件制造工序繁琐，品类管理难度大，不同零部件之间存在着一定的差异性和技术壁垒，因此行业内多数企业只专注于特定细分赛道零部件产品，整体行业相对分散。 针对不同类型的零部件，技术难点各不相同，国产化率差异大。机械类零部件应用最广，市场份额最大，主要产品技术已实现突破和国产替代。机电一体类和气液传输/真空系统零部件国内部分产品已实现技术突破，但产品稳定性和一致性与国外有差距。技术难度相对比较高的为电气类、仪器仪表类、光学类零部件，国内企业的电气类核心模块（射频电源等）主要应用于光伏、LED等泛半导体设备，高端产品尚未国产化；仪器仪表类对测量精度要求高，国内自研产品少量用于国内设备厂商，国产化率低，高端产品尚未国产化；光学类零部件对光学性能要求极高，由于光刻设备国际市场高度垄断，高端产品一家独大，国内光刻设备尚在发展，相应配套光学零部件国产化率低。 机械类零部件率先突破，国产化快速推进：国内厂商在某些细分品类零部件率先突破，例如机械类零部件，国内如富创精密、江丰电子、华亚智能，在国内龙头半导体设备商中份额持续提升；气液/真空系统中用到的阀门、流量控制类零部件如新莱应材、万业企业（compartsystem）在国内外客户中均有应用。在射频电源领域，英杰电气以及北方华创子公司北广科技实现突破，产品主要应用在泛半导体领域设备商。在真空泵上，汉钟精机在光伏领域已经占据主要份额，半导体客户也开始出货。 风险提示 行业景气度下滑；客户认证进度不及预期、份额提升进展缓慢；中美贸易及科技摩擦风险。 内容目录 一、设备零部件市场碎片化，全球空间接近500亿美元..................................4 1、半导体设备结构复杂，零部件种类繁多..................................................4 2、半导体设备零部件全球市场空间接近500亿美元....................................6 二、零部件国产化持续提升............................................................................8 1、零部件行业市场集中度低，美日欧公司为主...........................................8 2、国内设备厂商的零部件国产化率进入加速提升阶段...............................10 三、国产设备厂商快速突破..........................................................................11 1、富创精密：专注精密制造，深耕半导体设备零部件...............................11 2、江丰电子：半导体靶材龙头，关键零部件加速放量...............................13 3、新莱应材：半导体管阀核心零部件供应商.............................................14 4、正帆科技：设备+材料+系统布局，切入Gas Box供应.........................16 5、华亚智能：定制化精密加工，金属结构件订单饱满...............................18 6、万业企业（compart system）：气体输送系统精密零部件龙头...............20 四、投资建议与风险提示..............................................................................21 1、投资建议..............................................................................................21 2、风险提示..............................................................................................21 图表目录 图表1：半导体设备零部件产业链...................................................................4 图表2：半导体子系统及相应零部件产品........................................................4 图表3：光刻机子系统及零部件......................................................................5 图表4：设备零部件主要分为机械类、电气类、气液真空类等，呈现碎片化特点...................................................................................................................5 图表5：半导体设备市场预计2022年增长15%..............................................6 图表6：半导体设备零部件交期......................................................................7 图表7：半导体设备成本及原材料占比............................................................7 图表8：拓荆科技采购零部件分类，机械类+机电一体类占比39%..................8 图表9：华海清科采购零部件分类，机械标准件+机械加工件占比67%...........8 图表10：晶圆厂采购零部件种类....................................................................8 图表11：2020年全球半导体零部件领军供应商前十........................................9 图表12：半导体设备零部件中国产化率超过10%的有Quartz成品、Shower head、Edge ring等少数几类..........................................................................9 图表13：中微公司设备零部件国产化进展....................................................10 图表14：半导体设备零部件国产化情况及技术难点......................................10 图表15：富创精密主要产品示意图...............................................................12 图表16：富创精密营收3年复合增长82%...................................................12 图表17：富创精密2022H1归母净利润实现130%增长................................12 图表18：富创精密收入以工艺和结构零部件为主.........................................12 图表19：富创精密在大陆销售占比快速提升.................................................12 图表20：富创精密下游客户包括海内外设备龙头..........................................13 图表21：江丰电子零部件产品主要为结构件等金属零部件，战略布局非金属13 图表22：江丰电子2022H1营收增长50%...................................................14 图表23：江丰电子2022H1归母净利润增长156%.......................................14 图表24：江丰电子零部件营收快速增长........................................................14 图表25：新莱应材主营业务及下游应用........................................................15 图表26：新莱应材半导体设备相关管路和阀体.............................................15 图表27：新莱应材2022H1营收增长37%...................................................16 图表28：新莱应材归母净利润快速增长........................................................16 图表29：新莱应材半导体零部件收入保持20%以上增长..............................16 图表30：正帆科技主营产品.........................................................................17 图表31：正帆科技2022H1营收增长20%...................................................17 图表32：正帆科技2022H1归母净利润小幅下滑..........................................17 图表33：正帆科技下游半导体相关客户情况.................................................18 图表34：华亚智能下游直接客户包括超科林、ICHOR等，间接供应AMAT等 图表35：华亚智能产品及终端应用...............................................................19 图表36：华亚智能20