电子行业半导体设备月报：设备国产化率提升，静待存储大厂启动扩产招标

Q2半导体设备招标力度有所减弱。我们选择部分晶圆厂以跟踪半导体设备招标和中标情况，样本主要包括华虹半导体、上海华力、燕东微、晶合集成、积塔半导体、长江存储、晋华集成等，数据来源为机电产品招标投标电子交易平台。2022年Q2，我们统计的样本晶圆厂共招标241台设备，披露中标308台设备，较Q1的招标和中标量有所下降。 上半年部分成熟制程产线扩产带动设备国产化率提升。从目前的半导体设备国产化率情况来看，2022年上半年中标设备国产化率为32%，较2021年的21%有较大提升。由于考虑到今年上半年主要招标厂商为积塔半导体、华虹无锡等偏成熟制程的晶圆厂，且国产设备主要应用于成熟制程，所以设备国产化率较去年有明显提升。从细分设备来看，今年上半年中国产化率高于30%的有去胶、清洗、刻蚀、CMP，国产化率在10%~30%的有涂胶显影、薄膜沉积、热处理、量测，国产化率低于10%的有离子注入、光刻设备。 中国大陆半导体设备销售增速好于全球表现。从半导体设备销售额来看，2022年Q1全球半导体设备销售额为246.9亿美元，同比增长5%，而中国大陆半导体设备销售额为75.7亿美元，同比增长27%。由于国内晶圆厂在持续扩产，所以带动中国大陆占全球半导体设备销售的比例从2021年Q1的25%提升到31%。 长江存储二期预计将启动设备招标。根据日经新闻报道，长江存储的第二座工厂最早将于今年底投产，而目前正处于安装设备阶段。根据湖北广电报道，长江存储二期项目于2020年6月开工，规划产能为20万片/月，是一期项目的2倍。根据机电产品招标投标电子交易平台上披露的信息，长江存储二期办公相关设施（会议室多媒体设备）已经开始采购，并预计在2022年10月交付使用。结合以上新闻报道以及招标情况，我们预计长江存储二期将在今年底或明年初进入投产阶段。考虑到半导体设备从订购到交付有一段时间，所以预计长江存储二期将陆续启动设备招标。 投资建议：建议关注设备平台型公司北方华创、中微公司等，以及细分赛道领先公司，包括拓荆科技、华海清科、芯源微、盛美上海等。 风险提示：下游需求不及预期、行业竞争加剧、贸易摩擦风险。 1.半导体设备招标跟踪：成熟制程产线扩产带动设备国产化率提升 Q2半导体设备招标力度有所减弱。我们选择部分晶圆厂以跟踪半导体设备招标和中标情况，样本主要包括华虹半导体、上海华力、燕东微、晶合集成、积塔半导体、长江存储、晋华集成等（详细样本列表见本节末），数据来源为机电产品招标投标电子交易平台。2022年Q2，我们统计的样本晶圆厂共招标241台设备，披露中标308台设备，较Q1的招标和中标量有所下降。 图1：半导体设备招标和中标数量跟踪（单位：台） 上半年部分成熟制程产线扩产带动设备国产化率提升。从目前的半导体设备国产化率情况来看，2022年上半年中标设备国产化率为32%，较2021年的21%有较大提升。由于考虑到今年上半年主要招标厂商为积塔半导体、华虹无锡等偏成熟制程的晶圆厂，且国产设备主要应用于成熟制程，所以设备国产化率较去年有明显提升。从细分设备来看，今年上半年中国产化率高于30%的有去胶、清洗、刻蚀、CMP，国产化率在10%~30%的有涂胶显影、薄膜沉积、热处理、量测，国产化率低于10%的有离子注入、光刻设备。 图2：半导体设备中标厂商的国产化率 图3：不同设备的国产化率 从2022年上半年不同设备的中标厂商份额中可以看到： 国产化率较高设备（大于30%）：去胶中标厂商以稷以科技、屹唐半导体为主，占据了大部分份额。清洗设备中盛美仍占据国产第一份额，创微微电子在积塔半导体中标大量槽式清洗机，其他的国产设备厂商还有至纯、芯源微、中电四十五所、北方华创。刻蚀设备国产设备目前仍以中微半导体、北方华创为主。CMP领域中，华海清科具有国产中领先优势。 国产化率偏低设备（10%~30%）：涂胶显影设备竞争厂商较少，上半年只有TEL、芯源微有中标。薄膜沉积设备里面国产份额偏低，其中拓荆科技中标设备以PECVD为主，北方华创以PVD为主。热处理国产设备目前仍以北方华创为主。量测设备中竞争格局较为分散，其中中科飞测在国产厂商中表现领先。 国产化率较低设备（小于10%）：光刻环节国产设备尚无突破，而在离子注入领域有国产厂商能够占据小份额。 图4：2022上半年各类半导体设备的国产化率情况（括号内为各类设备的国产厂商份额） 样本选择范围： 我们选取了涵盖逻辑、功率、存储等共20座晶圆厂披露的招标和中标数据。 数据时间范围为2020年至今，统计的设备类型包括：薄膜沉积、刻蚀、光刻、涂胶显影、清洗、量测、测试、热处理、离子注入、化学机械研磨、去胶等主要的半导体设备种类。 图5：统计晶圆厂样本范围 2.半导体销售跟踪 从全球半导体销售情况来看，受到去年同期基数抬升的影响，全球及中国半导体销售额增速有所放慢。根据美国半导体产业协会（SIA）数据，2022年4月，全球半导体市场销售额为509.2亿美元，同比增长21%，而中国半导体市场销售额为167.3亿美元，同比增长13%。中国占全球半导体市场规模比例维持在33%。 今年以来以手机、电视为代表的消费电子需求疲软，一定程度上影响相关上游半导体产品的销售，但我们预计以新能源汽车、发电为下游的半导体细分领域仍有较好增长。 图6：全球半导体销售额及同比（单位：十亿美元） 图7：中国半导体销售额及同比（单位：十亿美元） 中国大陆半导体设备销售增速好于全球表现。从半导体设备销售额来看，2022年Q1全球半导体设备销售额为246.9亿美元，同比增长5%，而中国大陆半导体设备销售额为75.7亿美元，同比增长27%。由于国内晶圆厂在持续扩产，所以带动中国大陆占全球半导体设备销售的比例从2021年Q1的25%提升到31%。 图8：全球半导体设备销售额及同比（单位：十亿美元） 图9：中国大陆半导体设备销售额及同比（单位：十亿美元） 3.晶圆厂动态跟踪：存储大厂预计将启动设备招标 长江存储二期预计将启动设备招标。根据日经新闻报道，长江存储的第二座工厂最早将于今年底投产，而目前正处于安装设备阶段。根据湖北广电报道，长江存储二期项目于2020年6月开工，规划产能为20万片/月，是一期项目的2倍。根据机电产品招标投标电子交易平台上披露的信息，长江存储二期办公相关设施（会议室多媒体设备）已经开始采购，并预计在2022年10月交付使用。结合以上新闻报道以及招标情况，我们预计长江存储二期将在今年底或明年初进入投产阶段。考虑到半导体设备从订购到交付有一段时间，所以预计长江存储二期将陆续启动设备招标。 合肥长鑫二期大宗气站启动建设。根据机电产品招标投标电子交易平台上披露的信息，合肥长鑫二期的大宗气站土建施工项目计划于今年5月开工建设，预计将于今年10月底完工。大宗气站的建设预示着二期项目已经开始启动建设。合肥长鑫存储总共规划分三期建设共36万片月产能的DRAM存储晶圆厂。目前长鑫二期的建设也将给后续半导体设备招标量带来拉动作用。 表1：长江存储和合肥长鑫近期的招标项目发布时间招标人 华虹无锡注册资本增加，预计将有助于其进一步扩充12英寸产能。6月29日，华虹半导体公告，董事会已有条件同意华虹无锡的注册资本将由18亿美元增加至约25.37亿美元。华虹半导体、华虹宏力、无锡实体及大基金II各自分别以现金方式出资约1.78亿美元、2.3亿美元、1.6亿美元及2.32亿美元。注资完成后，华虹无锡将继续为华虹半导体的非全资子公司，由华虹半导体持有约22.2%及由华虹宏力持有约28.8%；大基金、大基金II将合计持有约29%。我们预计华虹无锡此次增资将有助于其继续扩大12英寸晶圆产能。 4.风险提示 下游需求不及预期、行业竞争加剧、贸易摩擦风险。