业绩保持高速增长，前道设备取得实质进展

公司2021年营业收入8.3亿元，同比增长152%；归母净利润7735万元，同比增长58%。其中，公司2021Q4营业收入2.8亿元，创历史新高，环比提升43%；归母净利润2426万元，环比提升35%。公司2021年末，合同负债3.5亿，环比提升23%。公司存货达到9.3亿，比去年底增加1.9亿，存货中发出商品约3.0亿。 持续实现产品迭代与技术进展。2021年，公司研发投入0.9亿元，持续推进产品技术完善，在核心零部件、单元技术、整机产品研发取得实质进展。 公司前道track在 28nm 及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代。此外，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代。 前道设备覆盖逻辑、存储及功率等客户，各产品线逐步打开替代空间。公司前道offline设备已实现批量销售，I-line设备已通过部分客户验证并进入量产销售阶段，KrF设备已经通过客户ATP验收，国产替代空间有望大幅打开。 公司前道Spin Scrubber产品竞争力不断增强，2021年获得得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单。 新产能释放，产能瓶颈大幅打开。在飞云厂区基础上，公司2021年底新开出彩云路厂区，大幅提高厂区空间，2022年产值上限大幅提高。公司定增加速上海临港厂区和彩云路二期投建，为后续增长打下产能基础，并进一步深入布局KrF和ArFi技术，提升公司竞争力。 半导体前道设备弹性标的，业绩高速增长。涂胶显影在手订单饱满，新产能投入大幅提高产能弹性。前道设备i-line、krf先后验证通过，迭代顺利；前道物理清洗持续放量。长期看，国产替代加速放量，公司是前道涂胶显影赛道稀缺标的，格局好、成长性强。预计公司2022~2024年归母净利润分别为1.45、1.87、2.72亿元，维持“买入”评级。 风险提示：下游需求不及预期、新市场开拓不及预期 财务指标 财务报表和主要财务比率 资产负债表（百万元） 现金流量表（百万元）