半导体设备行业招标跟踪（ 2021年12月）：扩产持续，华虹再启大量招标

H2 采购潮再启，国产占比提升。本土晶圆厂龙头中芯国际（绍兴）、长江存储、华虹宏力（包括华虹半导体、上海华力）2021年共计完成设备招标899台，同比增长54%。上半年采购高峰集中在1月和4月，主要订单分别来自华虹无锡和长江存储。下半年采购高峰出现在7月和9月，分别完成招标91台和110台，由长江存储贡献主要增量。全年来看，国产设备中标量占比达21%，清洗、去胶、涂胶显影、刻蚀、CMP国产化率较高。 2021三大晶圆厂招标结果明细： 1）华虹：267台，国产47台，国产化率18%； 2）长江存储：475台，国产71台，国产化率15%； 3）中芯绍兴：157台，国产70台，国产化率45%。 12月华虹再启大量招标。12月华虹公布了292台晶圆厂设备的新增招标。包括光刻7台，涂胶显影9台，薄膜沉积58台，刻蚀49台，炉管80台，离子注入18台，CMP20台，清洗26台，去胶20台，以及3台后道封装设备和2台辅助设备，采购主体为华虹无锡。本次开标力度空前，超过21年全年招标完成数量，我们对22年初华虹的产能扩张展望乐观。 2021国产设备厂商中标明细： 1）北方华创27台，包括薄膜/刻蚀/炉管； 2）盛美18台，包括湿法清洗/涂胶显影/后道封装； 3）中微16台，均为干法刻蚀； 4）芯源微16台，包括涂胶显影/湿法刻蚀/湿法清洗/湿法去胶； 5）屹唐15台，包括干法去胶/干法刻蚀； 6）拓荆13台，均为薄膜； 7）华海清科10台，均为CMP； 此外，盛吉盛、吉姆西共计中标17台，二手设备占据一定市场份额。 投资建议：2021年下游晶圆厂积极扩产推动了半导体设备招标采购量的增长，而22年仍将是本土晶圆产线加速落地的一年。12月华虹的大幅增长招标量体现晶圆厂的旺盛扩产意愿和22年设备市场的景气度持续。此外，在当前仍旧较低的国产化率基数上，我们看到越来越多的国产设备厂商涌现。我们认为在扩产+国产化两大动力叠加作用下，设备板块有望维持高增，建议关注北方华创、中微公司、万业企业、芯源微。 风险提示：半导体行业下游需求不及预期、晶圆厂扩产进度不及预期、设备研发进展不及预期。 重点公司盈利预测、估值与评级 1 H2 采购潮再启，国产占比提升 根据采招网数据，我们选取本土晶圆厂龙头中芯国际（绍兴）、长江存储、华虹宏力（包括华虹半导体、上海华力）作为代表，统计了前道晶圆制造、量测设备，后道封测设备中标结果。 仪器、化学品供应系统、各种辅助设备等数量较多，未涵盖在内，另做列示。 结果显示，2021年上半年的设备采购高峰主要出现在1月和4月，主要订单分别来自华虹无锡和长江存储FAB1。下半年7月和9月同样出现采购高峰，分别为91台和110台，Q3共计243台，同比增长334%，由长存贡献主要增量。2021年招标完成总数899台，同比增长54%。 图1：主要晶圆厂2020-2021设备招标采购数量（台） 图2：2021年三大晶圆厂设备招标采购数量（台） 从中标结果上看，国产设备占比在2021年以来有可观的同比提高。11月超过40%，尽管受限于样本容量数据波动较大，但21年整体招标采购国产化率达到21%。 图3：2021年三大晶圆厂设备招标采购数量（台） 分设备种类来看，清洗、去胶、涂胶显影、后道封装设备国产比例在2021年有显著提高（国产量测设备主要来自二手翻新厂商吉姆西，实际仍为进口设备），除这几类以外，干法刻蚀、CMP已经实现较高比例的国产替代，在20-21年维持了较高的国产化率。 表1：设备招标采购国产占比（台） 除了晶圆厂设备以外，还有其他辅助设备（化学品供应系统，尾气处理系统等）、仪器、真空泵等招标采购，统计结果中辅助设备、真空泵等已经实现较高份额的国产替代，主要来自北京京仪自动化，而仪器类则主要依赖进口。 表2：2021年辅助设备/仪器等招标采购（台） 22021年三大晶圆厂招标结果明细 2.1华虹（华虹半导体/上海华力） 华虹方面，2021年截止12月31日共计采购设备267台，招标完成集中在1月，主要由华虹无锡贡献。其中，共计47台为国产设备，国产化率18%。值得注意的是，华虹无锡在12月以来公布了大量新增招标，将在后文列示。 表3：2021年华虹设备招标采购（台） 表4：2021年华虹设备招标采购国产化占比（台） 2.2长江存储 长江存储方面，2021年截止12月31日共计完成招标475台，招标完成集中在4、7、9月，与其扩产节奏有关。其中，共计71台为国产设备，国产化率15%。 表5：2021年长江存储设备招标采购（台） 表6：2021年长江存储设备招标采购国产化占比（台） 2.3中芯绍兴 中芯绍兴方面，2021年截止12月31日共计完成招标157台，招标完成集中在2、3月，与其扩产节奏有关。其中，共计70台为国产设备，国产化率45%。 表7：2021年中芯绍兴设备招标采购（台） 表8：2021年中芯绍兴设备招标采购国产化占比（台） 312月华虹再启大量招标 据我们统计，12月华虹公布了292台晶圆厂设备的新增招标。包括光刻7台，涂胶显影9台，薄膜沉积58台，刻蚀49台，炉管80台，离子注入18台，CMP20台，清洗26台，去胶20台，以及3台后道封装设备和2台辅助设备，采购主体为华虹无锡。 继1月的采购高峰以来，2021年华虹共完成设备采购263台，而12月公布新增招标数量超过本年全年招标采购量，足见22年初的扩产力度极为可观。据我们测算，此批设备对应大约12寸2-3万片月产能。 表9：2021年12月华虹新增招标（台）设备种类 42021年国产设备厂商中标明细 从中标结果来看，国产设备厂商中标数前几名为北方华创、盛美、中微、芯源微、屹唐、拓荆。此外，盛吉盛、吉姆西代表的二手设备厂商亦占有一定的市场份额。分品类来看： 1）北方华创在薄膜、刻蚀、炉管三大品类均有可观的中标量，为国内唯一。芯源微在涂胶显影、湿法设备（清洗、去胶、刻蚀）两大品类均有一定中标量。 2）盛美、屹唐各自在主力产品之外的拓品类上有少量出货，盛美拓展了其涂胶显影设备，于中芯绍兴中标1台。 3）中微、拓荆、华海清科凭借各自单一品类的专精实现较高中标量。 表10：国内设备厂商设备中标量（台） 5投资建议 2021年下游晶圆厂积极扩产推动了半导体设备招标采购量的增长，而22年仍将是本土晶圆产线加速落地的一年。12月华虹的可观招标量体现晶圆厂的旺盛扩产意愿和22年设备市场的景气度持续。此外，在当前仍旧较低的国产化率基数上，我们看到越来越多的国产设备厂商涌现。 我们认为在扩产+国产化两大动力叠加作用下，设备板块有望维持高增，建议关注北方华创、中微公司、万业企业、芯源微。 表11：半导体设备重点关注个股 6风险提示 1）半导体行业下游需求不及预期。21年下游受益汽车电子等应用兴起，需求旺盛增长，若后期增速放缓，将影响设备需求。 2）晶圆厂扩产进度不及预期。晶圆厂扩产的顺利进行涉及到设备采购、工艺整合等多方面因素，若扩产进度不及预期将影响上游设备需求。 3）设备研发进展不及预期。国产设备仍在起步阶段， 28nm 节点诸多设备处于验证环节，如果研发进度不及预期将影响相关上市公司业绩表现。