深度报告：立足核心赛道，前道设备迎来全面突破

芯源微（688037.SH）是一家专注于光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备的公司，立足于晶圆制造光刻环节的黄金赛道。2020年以来，公司业绩迎来爆发式增长，21年Q1-Q3公司实现营收5.47亿元，同比高增158.20%，主要得益于涂胶显影后道设备旺盛需求、前道设备开始贡献业绩以及单片湿法设备的超预期表现。截止Q3公司在手订单13.31亿元，较20年末新增5.63亿元，其中前道新签订单同比增长221%，后道新签订单同比增长217%。为应对下游需求的增长，公司持续加大扩产力度，宣布定增预案，将募集资金不超过10亿元，进行上海临港和沈阳二期两处项目扩产。供需两侧的同步扩张将奠定公司长期高增基础。