首次覆盖报告：中国半导体清洗设备龙头步入高速成长期

至纯科技是中国半导体清洗设备的龙头企业，主营业务包括半导体湿法清洗设备、高纯工艺系统、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。2021年前三季度，公司实现营业收入12.83亿元，同比增长68.71%；实现归母净利润1.88亿元，同比增长127.96%。中国半导体清洗设备市占率极低，国产替代空间巨大。半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期，2021年上半年，公司湿法设备业务新增订单达4.3亿元，其中单片设备2亿元。湿法清洗设备业务20年收入为2.2亿元，预计21-22年收入为7.68亿元和13.90亿元。半导体高纯工艺系统将保持平稳增长。公司是国内高纯工艺系统的龙头，目前湿法设备进展顺利，有望成为国内高端湿法设备的领先者。我们预测至纯科技2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55亿元，当前市值对应的PE分别为51x、46x、32x，首次覆盖给予“买入”评级。