光刻气产品获得供应商认证函公告点评：光刻气客户认证再下一城，国产电子特气龙头持续发力

华特气体公告，公司四款光刻气产品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）均通过了日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证。这是公司在通过荷兰ASML的产品认证后，实现了自产光刻气产品对于下游半导体光刻用准分子激光设备厂商的全覆盖，显著提高了公司在光刻气领域内的认可度和知名度。此外，公司目前也是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。2021年上半年，公司光刻气销售额较2020年同期同比增长70%以上。公司作为国内特种气体龙头企业，已实现了高纯四氟化碳等20多个产品的国产替代。公司在集成电路领域，对8寸芯片厂商的覆盖率达80%以上，2020年年内也已基本覆盖了内资12寸芯片厂商，同时有多个产品实现了14纳米、7纳米先进工艺的批量供应，部分氟碳类产品已进入目前最为先进的5 nm工艺产线中。