半导体量测检测龙头，核心环节国产替代可期

中科飞测（688361） 公司研究/公司深度 半导体量测检测龙头，核心环节国产替代可期 收盘价（元） 68.97 近12个月最高/最低（元） 72/68.35 总股本（百万股） 320 流通股本（百万股） 60 流通股比例（%） 18.73 总市值（亿元） 221 流通市值（亿元） 41 公司价格与沪深300走势比较 分析师：胡杨 执业证书号：S0010521090001 邮箱：huy@hazq.com 相关报告 主要观点： 报告日期：2023-05-26 投资评级：买入（首次） 量测检测设备产品广覆盖，半导体制造质量控制领域先行者。 中科飞测是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，成立以来专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发，公司产品线已涵盖了无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量测和套刻精度量测设备等产品，可覆盖27.2%的量测检测设备市场，同时公司正在研发的纳米图形晶圆缺陷检测和晶圆金属薄膜量测 设备等。目前公司已有+在研的量测检测设备共计可覆盖50%以上的市场，对应了100亿元以上的国内需求，相关研发将进一步提高公司产品线覆盖的广度。 量测检测设备市场广阔，国产化进程方兴未艾。 量测检测设备的市场空间仅次于光刻机，刻蚀机和薄膜沉积设备，同时也是除光刻机外国产化率最低的一环核心设备。2022年全球超过1000亿美元的前道设备市场中，量测检测设备占据了13%-14%的份额。2022年国产化率在5%以内，可替代空间巨大，公司是中国量测检测设备市场中占有份额最大的国内厂商，产品广泛出货于主流逻辑和存储fab厂（中芯国际、长江存储等）、先进封装（长电科技、通富微电等），功率fab（中芯绍兴、士兰集科等）。 量测检测产品矩阵不断完善，研发投入支撑主流产线国产替代。公司已有多台设备在28nm产线通过验收，另有对应1Xnm产线的SPRUCE-900型号设备正在研发中，对应2Xnm以下产线的 DRAGONBLOOD600型号设备正在产线进行验证，并已取得两家客户的订单。在前道量测检测领域，公司业务规模高于其他国内厂商，技术研发均向2Xnm以下节点推进，处于国内领先地位。公司部分产品目前仍在在客户验证阶段，随着研发和产品开发的不断完善，我们预计公司将继续在大陆fab厂中的份额进一步提升，随国产化趋势逐步放量。 投资建议 我们预计公司2023年-2025年收入分别为7.74亿元，11.51亿元以及 16.18亿元，分别对应PS为29倍，19倍以及14倍，2023年-2025年归母净利润分别为0.54亿/1.00亿/2.08亿元。首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示 下游扩产不及预期，国际供应链风险等。 重要财务指标 单位:亿元 主要财务指标2022A2023E2024E2025E营业收入 5.09 7.74 11.51 16.18 收入同比（%） 0.41 0.52 0.49 0.41 归属母公司净利润 0.12 0.54 1.00 2.08 净利润同比（%） -0.78 3.63 0.83 1.09 毛利率（%） 0.49 0.49 0.51 0.52 ROE（%） 0.02 0.02 0.04 0.08 每股收益（元） 0.05 0.17 0.31 0.65 P/E 0.00 405.53 221.57 106.11 P/B 0.00 9.51 9.11 8.39 EV/EBITDA -0.47 -15.32 -6.32 -4.81 资料来源：wind一致预期，华安证券研究所 正文目录 1半导体检测量测设备龙头，业务规模持续提升5 1.1量测检测技术水平国内领先，核心产品出货规模量价齐升5 1.2股东背景雄厚，核心技术团队稳定5 1.3检测设备量价齐升，研发投入持续高增6 2量测检测设备市场广阔，国产化进程方兴未艾8 2.1全球前道设备市场连续增长，中国大陆市场增幅显著8 2.2全球竞争格局“一超多强”，成熟制程需求及重要性提升9 3量测检测产品矩阵不断完善，研发支撑产线国产替代10 4估值分析12 风险提示：14 财务报表与盈利预测15 图表目录 图表1公司产品发展历程5 图表2公司股权结构图6 图表3公司核心技术人员6 图表4公司营收及增速7 图表5公司归母净利润及增速7 图表6公司主要业务营收占比（%）7 图表7公司主要业务毛利率（%）7 图表8公司毛利率及净利率8 图表9公司费用率水平8 图表10全球半导体设备市场规模8 图表112020年全球半导体检测和量测设备市场格局情况9 图表12量测检测设备各地域市场情况9 图表13量测检测设备品类细分市场10 图表14公司检测设备产品矩阵11 图表15公司量测设备产品矩阵11 图表16公司业务拆分情况13 图表17公司估值对比13 1半导体检测量测设备龙头，业务规模持续提升 1.1量测检测技术水平国内领先，核心产品出货规模量价齐升 中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。 在集成电路领域，公司自主研发、生产的检测和量测设备已在国内主要集成电路制造厂商获得验证并取得批量订单，在国内市场上打破了国外厂商的垄断。公司的质量控制设备主要包括检测设备和量测设备两大类，在技术领域方面，公司产品更是有着不输同行业竞品的性能。 图表1公司产品发展历程 资料来源：公司公告，华安证券研究所 1.2股东背景雄厚，核心技术团队稳定 背靠中科院，股东赋能。截至2023年5月24日，公司实际控制人CHENLU （陈鲁）通过苏州翌流明间接持有公司8.15%的股份；哈承姝直接持有公司5.2%股份，通过翌流明间接持有公司3.66%的股份。实控人夫妇合计持股为17.01%。此外，公司大股东还包括深创投、中科院微电子所等国有资本；及国投基金、芯动能等知名一级战略投资机构。 图表2公司股权结构图 资料来源：公司招股说明书，华安证券研究所 苏州翌流明为小纳光（持股7.86%）执行事务合伙人，同时，哈承姝直接持有公司6.93%股份。两位实际控制人合计持有公司30.54%的股份。 图表3公司核心技术人员 姓名任职情况个人背景 陈鲁董事长 黄有为首席科学家 杨乐首席科学家 毕业于中国科学技术大学少年班，物理学专业学士学位；美 国布朗大学物理学专业，博士研究生学位。2003年11月至 2005年10月，任RudolphTechnologies（现创新科技）系 统科学家；2005年11月至2010年2月，任科磊半导体资 深科学家；2010年3月至2016年8月，任中科院微电子所 研究员、博士生导师；2014年12月至2017年5月，任公 司董事兼总经理；2017年5月至2022年10月，任公司董事长兼总经理；2022年10月至今，任公司董事长 毕业于北京理工大学光学工程专业，博士研究生学历。2010年9月至2012年7月，任清华大学博士后；2012年9月至 2016年2月，任中科院微电子所助理研究员；2016年2月 至2016年6月，任北京中航智科技有限公司研发工程师； 2016年6月至今，任公司首席科学家 毕业于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学工程专业，博士研究生学历。2012年7月毕业于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学工程专业，博士研究生学历。2012年7月至2020年2月，历任中科院微电子所助理研究员、高级工程师；2015年3月至今，任公司首席科学家。 资料来源：公司招股说明书，华安证券研究所 1.3检测设备量价齐升，研发投入持续高增 营收快速增长，盈利能力有望提升。从营收看，公司2020-2022年营收分别为237.59/360.55/509.24万元，3年CAGR高达46.4%，主要系检测设备单价高于量测设备且销量逐年递增，市场认可度提升产品线迎来放量。从盈利能力看，公司于2020年实现扭亏为盈，但研发持续高投入带来一定利润水平波动。未来，随着规模相应凸显，公司盈利能力有望持续增强。 图表4公司营收及增速图表5公司归母净利润及增速 600 400 200 0 营业总收入（左轴，百万元）增速(右轴，%) 350 280 210 140 70 0 80 40 0 (40) (80) (120) 归母净利润（左轴，百万元）增速(右轴，%) 300 200 100 0 (100) 资料来源：wind，华安证券研究所资料来源：wind，华安证券研究所 检测设备营收占比持续提升，创收能力显著。2019-2022年，公司检测设备营收占比由59.7%增至75.5%。从价格来看，2022年，公司检测设备销售毛利率 （52.63%）显著高于量测设备毛利率（35.84%）。公司于2017年成功研发的无图形晶圆缺陷检测设备销售单价较高。从销量来看，无图形晶圆缺陷检测设备由于检测精密度高及功能优化，出货量快速增长；图形晶圆缺陷检测设备受益于客户认可度提升及升级型号推出迎来放量。 图表6公司主要业务营收占比（%）图表7公司主要业务毛利率（%） 100 其他业务量测设备 检测设备量测设备其他业务 80 80 60 40 20 0 2019202020212022 60 40 20 0 20182019202020212022 资料来源：wind，华安证券研究所资料来源：wind，华安证券研究所 利润率稳步提升，23Q1研发费用率高位回落。2020年，公司实现扭亏为盈；高单价检测设备贡献收入带动毛利率整体逐年增长。2018-2012Q1，公司毛利率由23.67%增至55.26%。公司净利率波动主要系研发投入较大。由于检测、量测设备技术壁垒高，公司重视研发投入。2022年，公司研发人员扩增至324人，纳米级晶圆缺陷检测设备研发投入大幅增加。23年Q1，公司费用率整体控制良好略有回落。 图表8公司毛利率及净利率图表9公司费用率水平 60 -5 -70 -135 -200 毛利率(%)净利率(%) 240 180 120 60 0 销售费用率(%)管理费用率(%)研发费用率(%) 资料来源：wind，华安证券研究所资料来源：wind，华安证券研究所 2量测检测设备市场广阔，国产化进程方兴未艾 2.1全球前道设备市场连续增长，中国大陆市场增幅显著 根据SEMI的报告预测，半导体制造设备全球总销售额预计将在2022年再次突破记录达到1175亿美元，比2021的1025亿美元增长14.7%，全球半导体设备作为一个具有显著的周期性特点的行业，实现罕见的连续四年的快速增长。而自2022年末以来随着上游晶圆厂扩产周期收缓，下游消费需求放缓，我们预计2023年全球设备市场将随着晶圆厂扩产的周期同步波动，增速有放缓趋势。 图表10全球半导体设备市场规模 140 半导体设备市场规模（单位：10亿美元） 8.77 7.837.767.17 100.99 87.5 20212022 前道制造封装设备测试设备 120 8.81 100 7.72 80 6040 6.01 3.8561.2 104.27 200 2020 2023 资料来源：semi，华安证券研究所 不同于全球的周期状况，国产设备商享有晶圆厂扩产+国产化提速的双重增速。从整体来看，中国大陆的半导体设备行业，同全球半导体设备行业一样，享受着本土晶圆厂扩产，地方规划重点扶持的政策福利。从国内市场而言，供应链结构合理化和地缘政治的需求，带来了国内设备市场国产替代的动能。事实上，由于国产化 要求的不断强化，中国大陆设备市场已经与全球设备的周期产生了分化，中国市场的增速水平要更高。 2.2全球竞争格局“一超多强”，成熟制程需求及重要性提升 KLA“一超多强”单寡