靶材行业报告

请阅读正文后的免责声明 [Table_MainInfo] 证券研究报告|有色金属 国内需求高增、国产替代加速，蓄势待发 强于大市（维持） ——有色行业专题系列研究之——靶材 日期：2021年01月22日 [Table_Summary] 行业核心观点： 有色行业涉及的金属品种及代表性的金属材料众多，产业链涵盖资源开发、冶炼和加工各个环节，产品广泛用于工业、新能源、电子、军工各个领域，周期各有差异、结构多点开花,且当前处于新一轮景气上行周期，完全具备乘时乘势基础。系列专题着力能源金属及相关金属材料，本篇聚焦靶材，望有助于诸君！ 投资要点： ⚫ 高纯金属制备，镀膜实现导电或阻挡功能：靶材是制备功能薄膜的原材料，以99.95%以上高纯金属为原料制备，用于面板、半导体、光伏和磁记录媒体等领域，实现导电或阻挡等功能。其中，半导体领域对纯度和技艺要求最高，5N5以上。靶材种类繁多，客户需求非标，定制属性明显。当前趋势是高溅射率、晶粒晶向控制、大尺寸、以及高纯金属。 ⚫ 中期较高增长、当前景气上行，国产替代加速：需求端，我们测算，国内靶材市场到2023年接近300亿元，面板和半导体领域受益于全球消费增长和中国份额提升，市场分别达200/50亿元量级，光伏领域则随着HJT电池降本应用潜在需求可期，3年总需求CAGR达9.7%较快增长；就目前而言，面板和半导体行业景气度周期上行，在线办公+5G+传统汽车消费复苏等因素持续发力，这一趋势预计未来1-2年可维持，目前相关靶材企业开工率接近满产。供给端，全球市场依然由霍尼韦尔等企业寡占，但国内企业已经打通半导体靶材国产替代技术基础，有研新材、江丰电子进入全球主流芯片代工企业；国内四五家面板靶材企业进入京东方，国产替代整体从1到N呈加速态势。 ⚫ 国内公司着力面板和半导体领域，纵横向皆有拓展：江丰电子业务领域涉及半导体和平板显示，投资加码市场最大平板显示领域，对高纯金属原料也有拓展；阿石创靶材以平板显示用为主，亦在投资加码显示靶材；有研新材作为国有企业，专注半导体靶材及高纯金属原料，着力攻克国产替代技术难题；隆华科技靶材业务来自收购，目前用于平板显示领域。 ⚫ 具中长期投资机会，当前蓄势待发：国产替代已具技术基础和商业条件，当前处于加速状态，预计至2023年国内靶材市场规模300亿元，整体保持较高增长。随着下游客户拓展稳定和产品成型后研发支出预计降低，按20%净利率可支持千亿市值空间，而当前江丰电子和有研新材市值均在一百亿元级别，行业具备中长期投资机会。就当前而言，板块股价受终端的半导体行业解禁高潮、中美关系反复盘整摩擦等拖累有所调整，随着平板和半导体领域景气度上行，相关企业业绩成长性有望逐步释放，目前正处蓄力待发状态，我们推荐业务专注、技术和产品获得充分证明、成长预期打开的上市公司。 ⚫ 风险因素：行业市场空间不及预期；国产替代进度不及预期；下游行业属性差异、客户需求非标，公司业务拓展不及预期。 [Table_IndexPic] 有色金属行业相对沪深300指数表 数据来源：WIND,研究所 数据截止日期： 2021年01月21日 [Table_DocReport] 相关研究 研究所20210118_行业周观点_AAA_有色 [Table_AuthorInfo] 分析师: 夏振荣 执业证书编号： S0270520090002 电话： 01056508505 邮箱： xiazr@wlzq.com.cn [Table_AssociateInfo] 研究助理: 阮鹏 电话： 18275035519 邮箱： ruanpeng@wlzq.com.cn -17%-5%8%21%34%47%有色金属沪深300证券研究报告 行业专题报告 行业研究 版权所有ⱓ톐ž其他⡎ݟ霺牥灯牴䁷楮搮捯洮据⤀ 证券研究报告|有色金属 研究所 www.wlzq.cn 第 2 页 共 20 页 目录 1、靶材：高纯金属制备，镀膜实现导电或阻挡功能 ..................................................... 4 2、中期较高增长、当前景气上行，国产替代加速 ......................................................... 8 2.1 中期市场空间接近300亿元，面板和半导体需求“数一数二” ................................. 8 2.2 当前面板和半导体领域景气度周期上行 .................................................................. 12 2.3 高纯金属原料和靶材制备外资寡占，国产替代加速............................................... 13 3、上市公司着力面板和半导体领域，纵横向皆有拓展 ............................................... 16 3.1 江丰电子：业务纵横向延伸，靶材布局面板最大市场 ........................................... 17 3.2 阿石创： PVD镀膜材料领先企业，定增加码面板靶材 ........................................ 18 3.3 有研新材：半导体靶材及高纯金属原料技术领先者............................................... 18 3.4 隆华科技：并购进入靶材，产品布局面板用钼钯和ITO靶 .................................. 19 4、具备中长期投资机会，当前蓄势待发 ....................................................................... 19 5、风险提示 ....................................................................................................................... 19 版权所有ⱓ톐ž其他⡎ݟ霺牥灯牴䁷楮搮捯洮据⤀ 请阅读正文后的免责声明 图表目录 图表1：溅射工艺原理图 ................................................. 4 图表2：相关应用领域所用靶材及性能要求 ................................. 5 图表3：溅射靶材产业链 ................................................. 5 图表4：靶材制造工艺分类 ............................................... 6 图表5：靶材行业支持政策 ............................................... 8 图表6：2019年全球靶材市场消费结构 ..................................... 9 图表7：2019年中国靶材市场消费结构 ..................................... 9 图表8：2019-2023年全球靶材分领域市场（亿元） .......................... 9 图表9：2019-2023年中国靶材分领域市场（亿元） .......................... 9 图表10：2019-2023年全球及国内平板显示用靶材市场规模（亿元） .......... 10 图表11：2021年LCD市场格局预测 ....................................... 10 图表12：2022年全球柔性OLED产能分布预测 .............................. 10 图表13：2019-2023年全球及国内半导体用靶材市场规模（亿元） ............ 11 图表14：异质结电池市场占比预计稳步提高 ............................... 12 图表15：笔记本显示器出货大幅走高（百万台） ........................... 13 图表16：2020年全球PC出货量明显超中枢（百万台） ...................... 13 图表17：未来2年迎来5G建设高潮（万个） .............................. 13 图表18：中国IDC市场高速增长（亿元） ................................. 13 图表19：高纯金属国内外主要生产公司 ................................... 14 图表20：全球靶材呈现垄断格局，美日先发优势明显 ....................... 15 图表21：全球靶材龙头企业及代表性产品 ................................. 15 图表22：国内主要靶材上市公司对比 ..................................... 16 图表23：江丰电子2015年以来营收构成 .................................. 17 图表24：江丰电子2015年以来毛利构成 .................................. 17 版权所有ⱓ톐ž其他⡎ݟ霺牥灯牴䁷楮搮捯洮据⤀ 证券研究报告|有色金属 研究所 www.wlzq.cn 第 4 页 共 20 页 1、靶材：高纯金属制备，镀膜实现导电或阻挡功能 靶材是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料，是制备功能薄膜的原材料，又称“溅射靶材”，纯度为99.95%以上，更换不同靶材可得到不同的膜系，实现导电或阻挡等功能。当前靶材发展趋势是高溅射率、晶粒晶向控制、大尺寸、以及高纯金属。 图表1：溅射工艺原理图 资料来源：江丰电子招股说明书，研究所 分类方面  靶材种类繁多，按材质可分为： ✓ 金属靶材，包括镍钯、钛钯、锌钯、镁靶、铌靶、锡靶、铝靶、铟靶、铁靶、硅靶、铜靶、钽靶、银靶、金靶、镧靶、钼靶、钇钯、铈靶等。半导体领域，当制程进入到180纳米后，国际先进的半导体制造商普遍采用铜互连取代铝互连，扩散阻挡层材料由钽取代钛，传统铝靶、钛钯需求减少 ✓ 陶瓷靶材，包括ITO钯、氧化镁钯、氮化硅钯、碳化硅钯、氧化铬钯、硫化锌钯、二氧化硅钯、氧化铝钯、二氧化钛钯、二氧化锆钯等 ✓ 合金靶材，包括铁钴钯、铝硅钯、铁硅钯、铬硅钯、锌铝钯、钛锌钯、钛铝钯、钛锆钯、钛硅钯、钛镍钯、镍铬钯、镍铝钯、镍铁钯等 沉积薄膜基板靶材旋转磁场暗区屏蔽-+高电压靶材原子金属等离子体高真空惰性气体环境轰击版权所有ⱓ톐ž其他⡎ݟ霺牥灯牴䁷楮搮捯洮据⤀ 证券研究报告|有色金属 研究所 www.wlzq.cn 第 5 页 共 20 页  按形状可分为：平面靶材、旋转靶材。平面靶材正常溅射消耗量为35%~40%，旋转靶材正常溅射消耗量可达70%以上。  按用途可分为：半导体领域用靶材、平板显示用靶材、太阳能电池用靶材、信息存储用靶材、光学靶材、其它用途靶材。 图表2：相关应用领域所用靶材及性能要求 应用领域 使用材料 性能要求 纯度 半导体芯片 超高纯铝、钛、铜、钽等 技术要求最高，超高纯度金属、高精度尺寸、高集成度 99.9995%（5N5）以上 平面显示器 高纯铝、铜、钼、ITO等 技术要求高，高纯度材料、材料面积大、均匀性程度高 99.999%（5N）以上 信息存储 高纯铝、铜、钼、铬、IT