电子特气行业深度报告：小荷才露尖尖角，电子特气国产化迎历史性机遇
敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2020年2月28日 石油化工 小荷才露尖尖角，电子特气国产化迎历史性机遇 ——电子特气行业深度报告 —— 行业专题 ◆电子特气被称为半导体材料的 “粮食”和 “源”。在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%，虽然看似占比不大，但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。 ◆电子特气行业的技术壁垒。一是深度提纯技术难度较大。以硅烷为例，将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路，除了要解决普通气态杂质的纯化问题，还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。二是包装和储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，以避免二次污染的发生。三是分析检验观念落后。国内对电子气体生产应用领域分析检测技术研究开发尚不够重视。 ◆目前部分产品国产化已获突破。目前国内在高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气、高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等均获得突破。截至2019年，半导体制程过程中用到的83种电子气体，其中有35%已经实现本土化，还有35%正在本土化，30%还未进行本土化。但大部分本土电子气体的生产和供应商规模较小，不能够为用户提供全方位的服务，目前大多通过低价竞争的方式占领较小的市场份额，利润很薄，甚至亏损。另外，知识产权的保护也形同虚设。 ◆投资建议：电子特气行业从业者较多，主要的参与者有中船重工第七一八研究所、南大光电、巨化股份、华特气体、中昊光明化工、洛阳黎明化工、佛山华特气体、绿菱电子和大连科利德等。我们看好电子特气行业未来的发展空间，相关上市公司有望充分受益，对电子特气子行业予以“增持”评级。重点推荐标的：和远气体、华特气体、雅克科技、昊华科技和南大光电。其中和远气体和华特气体在近期已完成招股上市，其募投项目都将大幅提升公司的工业气体产能；半导体材料龙头雅克科技因下游半导体制造企业的技术突破和半导体国产化进程有望营收持续走高；昊华科技主要得益于未来5G建设和军工业务发展，公司未来发展可期；专注于电子特气研发的南大光电现已形成了35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力，并在今年开始扩产，未来发展可期。 ◆风险分析：电子产品需求增长低于预期，进口替代进程低于预期。 证券 代码 公司 名称 股价 （元） EPS（元） PE（X） 投资 评级 18A 19E 20E 18A 19E 20E 002971 和远气体 26.89 0.47 0.54 0.71 57 50 38 增持 688268 华特气体 65.00 0.57 0.65 0.96 115 101 67 增持 002409 雅克科技 41.50 0.29 0.55 0.75 145 76 56 增持 600378 昊华科技 21.70 0.59 0.60 0.69 37 36 31 增持 300346 南大光电 29.41 0.13 0.13 0.26 234 225 112 增持 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价为2020年2月27日收盘价 电子特气：增持（首次） 分析师 赵乃迪 010-56513000 zhaond@ebscn.com 执业证书编号：S0930517050005 裘孝锋 021-52523535 qiuxf@ebscn.com 执业证书编号：S0930517050001 石油化工行业与上证指数对比图 资料来源：Wind 2020-02-28 石油化工 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 投资聚焦 报告背景 在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占 IC 材料总成本的 5%-6%，虽然看似占比不大，但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。 电子特气行业的技术壁垒：一是深度提纯技术难度较大。以硅烷为例，将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路，除了要解决普通气态杂质的纯化问题，还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。二是包装和储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，以避免二次污染的发生。三是分析检验观念落后。国内对电子气体生产应用领域分析检测技术的研究开发工作不够重视。 我们区别于市场的观点 国内电子特气的市场规模在2010年至2018年期间一直维持着高速的增长，在2018年已达 121.56亿元。目前全球主要的跨国气体公司均在中国设有生产基地，国内近85%的电子气体市场被外资企业垄断，电子特气的国产化需求迫在眉睫。目前国内在高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气、高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等已实现突破。本土化进程在不断推进，但因本土电子气体的生产和供应商规模较小、利润薄，且知识产权的保护不足等潜在问题，市场对其发展力度信心不足，大多持保守态度。 我们认为，国内电子气体企业现已顺利国产化多种核心气体，并借此进一步抢占了一定份额的国内外市场，随着国家政策利好的推动和技术革新的促进，国产化进程有望得到进一步提升。 投资建议 电子特气行业从业者较多，近期我们主要推荐和远气体、华特气体、雅克科技、昊华科技和南大光电。其中和远气体和华特气体在近期刚完成招股上市，其募投项目都将大幅提升公司的工业气体产能。而半导体材料龙头雅克科技也因下游半导体制造企业的技术突破和半导体国产化进程有望营收持续走高；氟系龙头昊华科技主要得益于未来5G建设和军工业务发展，公司未来发展可期；另外，专注于电子特气研发的南大光电现已形成了35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力，并在今年开始扩产，预计其磷烷砷烷产能将在现有基础上翻倍。万得资讯 mNuMoMnRsPmQpRpPnQnNmP6M9RbRmOpPnPrRfQmMnOkPoOpNaQrQrRuOsRyRuOmPtQ2020-02-28 石油化工 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 目 录 1、 电子气体的概述 ........................................................................................................................ 5 1.1、 电子气体的定义 ..................................................................................................................................... 5 1.2、 气体发展历史 ......................................................................................................................................... 5 1.3、 电子气体分类 ......................................................................................................................................... 6 1.4、 气体纯度标准 ......................................................................................................................................... 7 1.5、 气体制造主要技术 .................................................................................................................................. 7 2、 重要电子气体介绍 ..................................................................................................................... 9 2.1、 硅烷（SiH4）：最好的硅源材料，用于外延晶体生长 ............................................................................. 9 2.2、 砷烷（AsH3）：独一无二的砷源化合物，因剧毒国内目前难以生产 .................................................... 10 2.3、 一氧化二氮（N2O）：介质膜工艺气体，目前国内产能即将爆发 ......................................................... 11 2.4、 氨气（NH3）：电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积重要的“氮”源 ................................ 11 2.5、 三氟化氮（NF3）：气体清洗剂，目前国内已打破技术垄断 ................................................................. 12 3、 中国电子气体现状 ................................................................................................................... 13 3.1、 行业集中度高，本土企业逐步崛起 ...................................................................................................... 13 3.2、 短期技术难以攻克 ................................................................................................................................ 14 3.3、 国产电子气体难以进入集成电路等领域 ............................................................................................... 15 3.4、 行业壁垒明显 ....................................................................................................................................... 15 3.5、 国家政策积极推进 ...............................................................................................................................
