关注：菲沃泰（DUV浸没式光刻机核心耗材防水镀膜的国内唯一供应商，已量产供货）、安孚科技（通过投资华昇迈切入光刻机核心子系统DUV光源的研发制造）、芯碁微装（直写光刻龙头，其技术在先进封装和高阶PCB领域可部分替代传统光刻，受益于光刻自主化大趋势）、苏大维格（具备激光直写与投影光刻技术，核心零部件已实现国产化）、茂莱光学（国产光刻机加速扩产的核心光学部件供应商）、汇成真空（国产光刻机加速扩产的核心真空系统供应商）
