ASML一台光刻机包含10万个零部件，其中核心模块包括测量台与曝光台、激光器、光束矫正器等11个，上万个零部件由上千家供应商协作完成。产业链不仅涉及整机集成，还包括光源、物镜、双工件台、浸没系统等关键部件，以及涂胶显影及量测检测配套设备，均处于快速成长期。
从光刻工艺设备及零部件厂商角度，建议关注芯源微、茂莱光学、奥普光电等。光刻机国产化虽取得突破，但实现“好用”仍需持续提升（ASML 1950i到1980Di耗时7年）。现阶段晶圆厂订单仍集中于刻蚀、薄膜沉积等配套设备，多重曝光技术和3D结构转型进一步利好设备供应链。
从不同角度出发，建议关注：
