核心观点与关键数据
公司概况
恒运昌作为等离子体射频电源系统供应商，协办“沪市ETF财富管理基地行”活动，展示公司研发、生产及市场拓展成果。公司持有2025年年度报告披露的1.57亿元在手订单，积极拓展拓荆科技、中微公司等行业头部客户需求，并拓展光伏、显示面板等新领域。
研发进展
公司历经十年推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt三代产品，支持工业级至先进制程。第四代Cedar系列处于验证阶段，整合射频电源与匹配器，实现快速数据采集。MFC MEMS传感器研发完成初样流片及测试，未来采取内生研发与外部并购双轮驱动策略，成为等离子体工艺核心零部件整体解决方案平台。
竞争优势
中国大陆市场仍由海外巨头垄断，国产化率不足12%，恒运昌市场份额位列第一。主要优势包括：
- 技术优势：建立“基石技术+产品化支撑技术”体系，掌握信号采样、相位同步锁定等关键技术，累计授权专利296项，申请490项。
- 产品优势：具备成熟量产能力，成为薄膜沉积、刻蚀环节头部设备商战略级供应商。
- 团队优势：研发团队158人，本科及以上学历占比84.81%，拥有二十年以上行业经验。
引进产品种类
公司引进真空泵、质量流量计、等离子体直流电源等核心零部件，与自研产品协同提供等离子体工艺解决方案。真空泵用于维持反应腔真空环境，质量流量计精确计量工艺气体，等离子体直流电源用于真空镀膜靶材溅射。
技术服务业务
为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务，承接进口设备备件及维修需求，填补国内市场空白。
产能与未来规划
2025年产能利用率达98.51%，通过推进子公司建设、深圳产能扩建及智能化生产基地项目，持续提升产能。未来规划包括：
- 研发创新：保持技术先进性，丰富产品储备，推动更先进制程产品产业化。
- 产能建设：在沈阳建设产业化中心，深圳扩建智能化生产基地，实现智能优化。
- 市场拓展：以客户为中心，强化技术服务，加大技术精英培养，提升多元化市场竞争力。
