核心观点
- 材料更替: 后摩尔时代,传统硅基板在先进封装中面临性能瓶颈,玻璃基板(TGV)凭借其高精度、高深宽比、优异的电学和热机械性能等优势,逐渐成为更优解,替代有机基板成为行业共识。
- TGV优势: 相比TSV,TGV在电学性能(低介电损耗、信号传输速率提升3.5倍)、热机械性能(CTE匹配、降低翘曲变形)和成本(工艺步骤简化、良率提升)方面具有明显优势,有效填补了现有技术方案的空白。
- 市场空间: 随着AI算力、HBM存储、光通信等领域的快速发展,TGV市场空间广阔,预计2028年全球先进封装TGV市场渗透率将达到30%,市场规模将接近80亿美元,2030年市场规模有望进一步扩大。
- 产业布局: 国内已形成TGV产业全链条布局,戈碧迦、沃格光电、京东方、云天半导体等企业积极布局,加速进口替代进程。
- 技术突破: TGV核心工艺流程包括晶圆清晰与热处理、盲孔制备、PVD种子成沉积、电镀填充、CMP平坦化和去种子层并退火,其中成孔和金属化是技术难点。近年来,国内企业在成孔工艺(如激光诱导刻蚀)和金属化工艺(如磁控溅射+电镀填充)方面取得突破,实现TGV玻璃基板的规模化量产。
- 成本下降: TGV基板成本有望随着晶圆级向面板级升级、良率提升和产业链国产化等因素而快速下降,形成“量产规模扩大→成本下降→应用场景扩容→需求进一步增长”的正向循环。
研究结论
TGV技术是先进封装领域的重要发展方向,具有广阔的市场空间和巨大的发展潜力。国内企业在TGV技术方面取得突破,加速国产替代进程,建议投资者关注全链条布局的行业龙头、核心工艺突破的设备厂商和下游应用落地的龙头厂商。