公司明场检测设备产品线规划包括TB1000、TB1500、TB2000,覆盖高中低制程,验证周期约1年,对标KLA的2367、2835、2935产品。设备单价仅次于光刻机,技术难度高,对终端产品良率提升关键,可帮助工艺工程师发现缺陷。目前KLA和应材是主要供应商,占比分别为70%和30%,国内市场基本空白,公司是唯一在40nm以下设备进场并获得订单的国产厂商,处于领先地位。公司从2020年开始布局零部件供应链,目前国产化率达95%。半导体设备团队150人,均为研发人员,22-24年研发投入约1亿元。注入上市公司是矽行成立以来的计划,待公司对上市公司报表影响可控时实施,只要矽行有足够订单将尽快完成。人形机器人域控制器业务自去年年底至今订单超1000万元,客户包括头部机器人厂商,并持续有后续订单,多家头部厂商正在对接,近期可能有新头部厂商加入。预计公司2025-2026年营业收入18.56/20.73亿元,归母净利润1.79/2.37亿元。主业合理市值60亿元,机器人+智能驾驶业务对标可比公司50亿元(人形asp2万元已进入头部厂商),半导体明场检测设备对标精测、飞测市值溢价可达80-100亿元,目标市值提高到200亿元。近期人形机器人业务(子公司星智)斩获头部客户域控制器批量订单+半导体设备实现正式订单突破,印证新业务进入拐点,重申推荐。