华创机械机器人铲子股龙头华辰装备调研更新进一步理解光刻机和丝杠磨床的

光刻机镜片磨床价值量及华辰装备分析

光刻机镜片磨床价值量

• 高端物镜需求：2025年长光所光刻机高端物镜需求约百片，对应价值量亿元，其中合资公司价值量占比20%。
• 普通镜面需求：需求数千片，价值量相对较低。

技术壁垒

• 前道加工工艺：光刻机镜头前道加工（高精度磨床）壁垒极高，全国仅一台蔡司（ASML供应商，不对外销售）设备，华辰与蔡司精度相仿，正在攻关中。
• 后道加工工艺：壁垒较低。

华辰装备效率

• 磨床联动效率：华辰解决中频震纹，五台磨床联动（1台粗磨、1台半精磨、3台精磨）效率可达12小时/片，1天/两片。

机器人丝杠、导轨磨床

• 丝杠磨床：
  • 外螺纹效率：2.5分钟加工一个80厘米C2到C3的丝杠。
  • 内螺纹：研发中，两三个月后推出。
  • 成本价：南理工180万元。
• 数控系统、砂轮、滚轮：自制或自采。
• 导轨磨床：
  • 德国ELB售价：约3000万元，加工效率18分钟/根。
  • 华辰双层导轨磨床：1500万元，效率12分钟（6分钟/根），精度均为SP级。
• 市场需求：南工艺、凯特精机、汇川均有导轨磨床需求。

主业在手订单及收款条件

• 在手订单：同比增长。
• 收款条件：大幅改善。