半导体行业智能制造：从精益制造向智能制造演进

SIEMENSDIGITALINDUSTRIESSOFTWARE 半导体智能制造 从精益制造向智能制造演进 siemens.com/semiconductors 精益制造正在向更智能的半导体制造流程演进 与许多半导体公司一样，几十年来，贵公司一直依赖精益制造技术。精益制造关乎企业生存。利用精益生产方式，贵公司已经能够裁汰各项非增值流程，以减少浪费并充分提高生产效率。 芯片制造商们深知精益制造的优势至关重要，但其中大多数公司也明白，在当今要求苛刻的市场中，光靠精益制造是不够的。如今，如果仅保持精益而不向智能制造演进，会限制敏捷性、制造优化、风险管理和竞争力，而这些方面对每家半导体制造商的发展壮大都至关重要。 通过智能制造将精益制造优势提升到一个新的高度 单独的精益制造可能已接近其能力极限，但如果通过智能制造对其加以强化，精益制造的优势似乎几近于无穷无尽。 原因何在？智能制造最初作为工业4.01的一个组成部分出现，它增加了将仿真、执行控制和分析相结合所需的数字化，从而在不影响精益制造收益的情况下，持续优化无返工的高良率制造流程。智能制造为企业提供需要的端到端连接，以便企业做出数据驱动型决策，从而加快新产品推出(NPI)和上市，并在零缺陷制造环境中实现更高产出。 根据西门子和德勤的预测，智能制造提高绩效的潜力令人印象深刻： •产量提高20% •成本降低15% •营收增加10% •降低网络攻击以及不遵守监管要求和可持续发展目标的风险 以精益技术为基础，半导体制造商向智能解决方案拓展的时机已经到来。连接制造的各个方面并收集实时数据将使制造商能够就市场周期、规划、生产、资本投资等做出明智的决策。这将是在全球几乎所有产业都将采用芯片的新半导体世界中取得成功的必要条件。” 为了对精益制造和智能制造进行公平的比较，让我们先从精益制造的优势谈起： •减少浪费 •显著提高生产效率 •节约资源 •及时交货 •实现质量改进 •应用吸取的经验教训 •提高客户满意度 •增强可持续发展能力 FramAkiki，JounTechnologies总裁 复杂性障碍 高达30% 制 造 4 . 0 优 化 曲 线 潜在优势 高达50% 尽管这些优势令人印象深刻，但我们还必须考虑只坚持精益技术而不补充智能制造的局限性，具体如下： •最多只能达到上次制造的水平而无法超越 •无法对紧迫的业务和质量问题做出主动或预测性响应 •由于依赖于过往的数据，无法实时提供高水平的初始质量 •在当今业务速度下竞争所需的制造敏捷性不足 优化程度 曲 线 完全集成的数字化方案释放出工业4.0的全部潜力 高达20% 10% 20% 10% 传 统 精 益 优 化 优化行动 资产效率质量 生产成本 资料来源：德勤数字化工厂2 是什么让智能制造脱颖而出？ 实时数据采集、规划、仿真和生产优化让半导体制造更智能 精益制造注重历史数据。精益制造使用过去的生产数据来确定和消除非增值活动。 智能制造注重实时数据。智能制造使用实时生产数据来不断优化当前生产，以实现高水平的初始质量。 精益制造是一种反应性制造。精益制造使用过去的生产数据来评估过去的绩效，同时识别浪费和低效流程，从而吸取经验教训，改善运营。精益制造过程中有许多手动步骤。进展往往很缓慢。 智能制造是一种主动性制造。精益制造注重过去的数据，而智能制造则不同，它使用先进的软件解决方案和分析方法将实时生产数据转化为可操作的洞察，以提高当前和未来的绩效。 智能制造极大地增强了数据的力量 通过系统之间的端到端连接，可以直接从半导体制造执行系统(MES)收集实时数据，为半导体专用仪表板（包括独特的半导体特定制造流程清单/信息清单模块）提供信息。用于半导体制造的MES可以利用生产的数字孪生来实时捕获性能数据，包括统计过程控制(SPC)以及与制造执行、维护、测试和调度的偏差。数字孪生利用MES数据不断进行更新，可以随时提供高度准确的仿真，帮助企业确定生产改进机会。 生产与质量执行 闭环制造 生产线调试 和运行 生产优化 生产线自动化规划 制造流程规划和验证 3无缝协同 虚拟规划 1 实时数据 2 优化型半导体制造执行系统(MES) 借助智能制造，管理人员可以更深入地了解生产步骤，而这将使企业能够在问题发生之前就发现它们，并在设计和工程流程的早期（从前端制造和晶圆制造到后端制造、组装、封 装和测试）采取“左移”策略，解决潜在错误。智能制造实现了更加全面的数字化，支持更庞大和更可靠的信息流。”3 JulieFraser，IynoAdvisorsInc.负责人 加快NPI 实现成本节约 提高质量 提高生产效率 半导体制造执行系统 印制电路板(PCB)/多芯片模块(MCM) 组装、封装和最终测试 晶圆 设计、晶圆厂、探头 原材料 后端 前端 感知 连接 预测 数据仓库数字孪生仿真闭环智能制造 在不影响任何精益制造流程的情况下，智能制造还能使企业实现以下几点： •实现整个工艺节点和制造线的虚拟呈现，以便深入洞察生产情况 •通过实时报告和分析收集当前的制造数据，以便作出数据驱动型决策 •实现更快的NPI并缩短上市时间 •消除返工，提高良率，实现零缺陷 •通过数字方式连接生产流程和系统，以便清楚地了解流程，防止出错 •将虚拟世界与现实世界无缝连接 •防止不良制造事件 •利用无返工设计始终如一地达到高水平的初始质量 •在不影响精益制造流程的情况下实施改进 •运行闭环数据，实现持续学习和改进 向智能制造演进有望带来哪些业务成果？ •提高产量：半导体制造商可以通过实现任务自动化、缩短设置时间和优化生产流程来提高产量。 •提高质量：通过预测性维护和闭环反馈，半导体制造商可以提高产品质量并降低废品率。 •提高良率：预测良率管理和实时良率跟踪等技术可帮助半导体制造商提高良率并减少浪费。 •降低成本：半导体制造商可以通过实现任务自动化、减少浪费和提高能源效率来降低成本。 •增加收入：以更低的成本更高效地生产产品，更快地开发和推出新产品，并更有效地满足客户需求。 •新产品和服务：开发和推出以前无法实现的新产品和服务，并为特定应用开发定制半导体。 乘数效应 Optimizedmanufacturingprocesses FasterNewProcessIntroduction Virtualtoactual Virtualrepresentationofthemanufacturingprocess Seamlesscollaborationacrossdisciplines Real-timereportingandanalytics ContinuousImprovementandCollaborationLoop Predictiveanalytics&traceability Zerodefectsandhigheryields 从精益制造发展到智能制造需要哪些步骤？ I.虚拟呈现制造流程。 首先，需要模拟实际制造流程，包括工艺节点和制造线，对其进行虚拟再现，以获得对规划和生产必要的洞察，从而消除缺陷和产品返工，提高NPI良率。 II.实时报告和分析。 其次，需要利用来自MES的实时生产数据实现闭环，以便更新仿真模型，将数据智能提升到一个新的高度，从而提高生产绩效，实现无返工、可追溯、安全和高良率的半导体制造运营。 III.跨学科无缝协同。 第三，需要“乘数效应”，即将智能制造与每个设计和生产学科联系起来的丰富数据连接，它将在正确的环境下，于正确的地点和正确的时间提供正确的信息，从而推动所有领域的无缝协同，实现完全集成的制造系统。通过推动持续学习和改进的闭环反馈，可以对MES做出调整、采用AI，并采取全面预防措施，以降低风险，提高NPI良率，并以当今的业务速度参与竞争。 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 X 价格 生产时间能源 成本 第一步：虚拟再现制造流程 首先，需要模拟当前的半导体制造流程，包括工艺节点、制造线和实时生产数据，对其进行虚拟再现，以获得所需的洞察，从而改进工艺、消除缺陷和返工，实现更高的NPI良率。 仿真 创建模型 1 生产仪表板 1 1 1 11 1 1 1 0 1 真实生产 产量 1 2 3 4 A5E2345A5E2345A5E2345 ... 订单序列 KPI 1 1 2 验证模型 产品组合 实时反馈 优化后流程 企业需要由数字孪生提供支持的工厂仿真和流程仿真来创建实际制造流程的虚拟模型，并使用实时数据和新工艺节点的虚拟认证来不断更新模型。通过仿真，企业可以根据当前的模型更新，持续执行“假设”分析。 仿真助力生产优化 利用数字孪生，企业可以及早预测生产问题，从而通过关于如何以及在何处对MES进行运营调整、采用人工智能、采取全面预防措施降低风险以及无返工产品的绩效洞察，找到解决方法。 数字孪生是产品（产品数字孪生）或其制造流程（生产数字孪生）的高精度虚拟模型。在构建半导体产品或设计实际制造操作之前，这些模型在虚拟模型中模拟真实世界的条件。仿真可用于模拟多个能够通过更低成本进行虚拟评估的假设场景，以优化产品和流程。 数字孪生会通过企业的半导体MES不断更新，以确保出色的精度。通过不断从现实制造流程中收集数据，制造仿真可以持续改进，从而使制造流程更加高效。虚拟模型将动态地提供生产环境相关信息并优化生产环境，以实现侦测（监控）和预测（人工智能）功能。 人为因素 为了获得真正的整体解决方案，企业的数字孪生方法还应模拟人与流程和技术的交互，从而优化人才使用、员工分配、人体工程学环境、生产效率和可持续发展能力，从而确保业务持续增长。 制造智能 产品数字孪生 生产数字孪生 生产绩效数字孪生 产品设计优化流程优化 确认验证 规范调试 资产绩效数字孪生 理想交付 实 实 拟 拟 真 真 虚 虚 品 产 产 品 产 生 生 产 自动化、可追溯性和绩效洞察 虚拟呈现制造流程 找出浪费和效率低下之处，例如瓶颈、不必要的步骤和过多的库存。一旦发现浪费，制造商就可以采取措施消除它。 在制造流程实际建立之前对其进行设计和仿真，尽量降低风险，并确保流程高效且有效，同时尽量减少返工。 借助数字孪生，可以开始捕获实时制造数据，并将该数据重新引入虚拟模型中进行仿真，以便： •评估预测方案，以确保满足近期和长期订单的产能 •准确模拟人与流程和技术的交互 •评估制造流程中的必要变更 •记录并复现企业的良好实践，以便设定比以往更高的质量水平 模拟不同工艺参数对产品质量的影响。这有助于制造商确定每个过程的适当设置，从而提高产品质量并降低报废率。 创建并优化生产计划和时间表。这有助于缩短设置时间，充分减少在制品库存，并充分提高机器利用率。 •优化人才使用、员工分配、人体工程学环境、生产效率和可持续发展能力 •利用历史数据和预测数据做出更明智的资本支出决策 西门子通过数字化服务专家，为智能敏捷生产和自动化解决方案的规划、设计和实施提供支持，以此来帮助企业实施数字化转型，同时依托于安全稳健的云资源，提升企业的竞争力，并加快产品上市速度。 计划 执行 优化 模拟、实施和监控智能、高度自动化的制造设施，提高制造效率 userid:139428,docid:169604,date:2024-07-29,sgpjbg.com 第二步：通过实时报告和分析实现闭环 其次，使用实时制造报告和分析，企业可以获得持续学习和质量改进优势，从而以下一代效率执行先进的半导体制造运行。 借助提供更高级别的数据智能和自动化的智能制造环境，企业可以改善从设计到生产的协同，从而实现无返工、可追溯、安全且高良率的半导体制造操作。 通过智能制造，企业可以使用当前的MES运行数据实时更新仿真模型。企业可以利用半导体专用制造流程清单和信息清单解决方案来简化制造配方和作业指导说明，并实现它们的自动化。此外，企业