2023年中国光刻机行业技术趋势及科技竞争格局调研报告

技术创新 20230731 2023年中国光刻机行业技术趋势及科技竞争格局调研报告 中投产业研究院版权所有www.ocn.com.cn1 中国光刻机行业技术趋势 及科技竞争格局调研报告 （2023年） 中投产业研究院2023年7月 目录 第一章2023年光刻机行业专利申请概况1 第二章2023年光刻机行业专利技术构成7 第三章2023年光刻机行业专利申请人分析10 第四章2023年光刻机行业技术创新热点15 图表12014-2023年光刻机行业专利申请量、授权量及对应授权 率数据表1 图表22014-2023年光刻机行业专利申请量、授权量及对应授权 率走势图2 图表32014-2023年光刻机行业专利类型占比2 图表4截至2023年光刻机行业专利审查时长3 图表5截至2023年光刻机行业有效专利总量3 图表6截至2023年光刻机行业审中专利总量3 图表7截至2023年光刻机行业失效专利总量3 图表8截至2023年光刻机行业领域的专利在不同法律事件上的分布4 图表9光刻机行业生命周期4 图表102014-2023年光刻机行业专利申请量与专利申请人数量.5 图表11截至2023年光刻机行业专利申请中国省市分布5 图表12截至2023年光刻机行业专利申请在中国各省市申请量.5 图表13截至2023年光刻机行业主要技术分支的专利分布7 图表142014-2023年光刻机行业领域在主要技术分支的专利申请 变化情况7 图表152014-2023年光刻机行业领域各技术分支内领先申请人的 分布情况8 图表16截至2023年光刻机行业功效矩阵9 图表17截至2023年光刻机行业领域申请人的专利量排名情况10 图表18光刻机行业专利集中度10 图表19光刻机行业领域在主要技术方向上的新入局者11 图表20截至2023年光刻机行业领域合作申请分析11 图表21截至2023年光刻机行业领域主要申请人技术分析13 图表222014-2023年光刻机行业领域主要申请人逐年专利申请量 ........................................................................................................13 图表23截至2023年光刻机行业创新热点15 图表24截至2023年光刻机行业领域热门技术专利量15 第一章2023年光刻机行业专利申请概况 注：本章数据截至2023年7月18日。一、专利趋势 展示该技术领域逐年公开的专利申请量、授权量及对应授权率（当年申请的专利授权量/当年申请量）。申请量较多的年份为该技术领域热度较高的年份，申请趋势上升可以反映该技术领域研发投入呈上升趋势。由于发明授权的周期长，专利公开具有延后性，因此近2-3年的申请量和授权率可能偏低。 截至2023年7月18日，光刻机行业共15686件专利。 图表12014-2023年光刻机行业专利申请量、授权量及对应授权率数据表 申请年 类型 申请 授权 授权占比 2014 全部 763 568 74.44% 2015 全部 740 536 72.43% 2016 全部 736 505 68.61% 2017 全部 776 483 62.24% 2018 全部 1017 627 61.65% 2019 全部 1191 686 57.60% 2020 全部 1578 784 49.68% 2021 全部 1755 674 38.40% 2022 全部 1591 455 28.60% 2023 全部 360 49 13.61% 数据来源：国家知识产权局 图表22014-2023年光刻机行业专利申请量、授权量及对应授权率走势图 数据来源：国家知识产权局 二、专利类型 展示该技术领域的专利类型分布，发明和实用新型是功能、结构上的创新，外观设计是对产品外观的创新。一般发明占比越高，则创新程度越高；实用新型侧重产品的小改进；产品种类多、更新换代快的行业外观设计偏多。 图表32014-2023年光刻机行业专利类型占比 申请年 发明 实用新型 外观设计 发明占比 实用新型占比 外观设计占比 2014 651 85 27 85.32% 11.14% 3.54% 2015 670 70 0 90.54% 9.46% 0% 2016 598 137 1 81.25% 18.61% 0.14% 2017 673 102 1 86.73% 13.14% 0.13% 2018 836 178 3 82.20% 17.50% 0.29% 2019 983 206 2 82.54% 17.30% 0.17% 2020 1243 330 5 78.77% 20.91% 0.32% 2021 1384 370 1 78.86% 21.08% 0.06% 2022 1286 297 8 80.83% 18.67% 0.50% 2023 340 19 1 94.44% 5.28% 0.28% 数据来源：国家知识产权局 三、发明专利审查时长 审查时长指发明专利从申请到审结或者当前月（审中专利）的时长，审结中 12个月以内授权的发明专利一般都进行了加急处理，通常为重点技术。审查时 长在37个月以上一般有特殊情况，如技术复杂导致审查周期长，缴费时间晚等。 图表4截至2023年光刻机行业专利审查时长 审查时长 审中专利量 审结专利量 12个月以下 998 493 13-24个月 1040 1721 25-36个月 690 2653 37-60个月 482 2760 60个月以上 126 445 数据来源：国家知识产权局 四、法律状态 专利有效性为有效的专利可以用于维权，失效专利技术不再受法律保护，审中专利可以受临时保护，授权后再维权。失效原因反映主体的技术水平、管理水平等。 图表5截至2023年光刻机行业有效专利总量 专利有效性 当前法律状态 专利数量 占比 有效 授权 6579 100.00% 数据来源：国家知识产权局 图表6截至2023年光刻机行业审中专利总量 专利有效性 当前法律状态 专利数量 占比 审中 实质审查 3159 94.58% 公开 181 5.42% 数据来源：国家知识产权局 图表7截至2023年光刻机行业失效专利总量 专利有效性 当前法律状态 专利数量 占比 失效 未缴年费 1502 37.68% 驳回 1113 27.92% 撤回 1055 26.47% 期限届满 166 4.16% 放弃 92 2.31% 全部撤销 37 0.93% 权利终止 20 0.50% 申请终止 1 0.03% 数据来源：国家知识产权局 五、法律事件 展示该技术领域的专利在不同法律事件上的分布。如无效程序、诉讼、海关备案、口头审理数量较多，可以反映出该技术领域专利在专利维权诉讼方面运用较多。权利转移、许可、质押数量较多，可以反映出相关权利人在运营上较为积极。 图表8截至2023年光刻机行业领域的专利在不同法律事件上的分布 法律事件 申请量 申请占比 权利转移 465 49.51% 一案双申 351 37.38% 复审 46 4.90% 质押 44 4.69% 许可 29 3.09% 保全 2 0.21% 无效程序 1 0.11% 诉讼 1 0.11% 信托 0 0% 数据来源：国家知识产权局 六、技术生命周期 展示专利申请量与专利申请人数量随时间的推移而变化的情况。分析当前技术领域生命周期所处阶段，推测未来技术发展方向。如随时间增长，申请量和申请人数量都大幅提升，表明该专利技术处于增长期。由于专利公开的延后性，近两年的申请量和申请人数量可能偏低。 图表9光刻机行业生命周期 数据来源：国家知识产权局 图表102014-2023年光刻机行业专利申请量与专利申请人数量 申请年 申请量 申请人数量 2014 763 246 2015 740 274 2016 736 280 2017 776 334 2018 1017 381 2019 1191 479 2020 1578 637 2021 1755 787 2022 1591 773 2023 360 242 数据来源：国家知识产权局 七、专利申请中国省市分布 展示该技术领域在中国各省市的专利申请量分布。申请量较大的区域，该地区通常有相关技术集群，相关技术的研究较为先进。颜色越深表明申请量越多。 图表11截至2023年光刻机行业专利申请中国省市分布 数据来源：国家知识产权局 图表12截至2023年光刻机行业专利申请在中国各省市申请量 地域 申请量 上海市 3476 江苏省 1624 北京市 1395 广东省 1224 浙江省 621 安徽省 608 四川省 530 湖北省 486 陕西省 374 黑龙江省 370 吉林省 269 山东省 247 福建省 203 天津市 183 湖南省 169 辽宁省 142 重庆市 116 台湾省 89 河北省 87 江西省 79 河南省 69 广西壮族自治区 56 山西省 51 云南省 36 甘肃省 34 贵州省 10 香港特别行政区 9 海南省 7 内蒙古自治区 6 宁夏回族自治区 6 新疆维吾尔自治 区 4 青海省 1 数据来源：国家知识产权局 第二章2023年光刻机行业专利技术构成 注：本章数据截至2023年7月18日。一、技术构成 展示该技术领域主要技术分支的专利分布。专利量较多的技术分支，创新热度相对较高，当前技术领域的空白点可能是潜在机会。 图表13截至2023年光刻机行业主要技术分支的专利分布 数据来源：国家知识产权局 二、技术分支申请趋势 展示该技术领域在主要技术分支的专利申请变化情况，申请趋势上升通常为该技术领域在当前技术分支上的技术研发热度较高。由于专利公开的延后性，因此近两年的申请量可能偏低。 图表142014-2023年光刻机行业领域在主要技术分支的专利申请变化情况 分类号 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023 G03F7 286 284 289 243 390 389 561 595 480 101 H01L21 140 108 115 153 196 173 263 298 260 74 G03F9 45 51 50 42 40 44 89 82 57 11 G03F1 24 37 24 27 41 50 86 79 90 24 H01L29 23 22 36 56 63 75 93 101 80 32 G01B11 33 25 31 19 35 38 46 32 35 5 H01L27 11 9 14 25 44 49 38 59 52 9 H01L23 15 7 11 23 21 32 51 52 37 15 H01L31 17 19 18 24 18 43 28 45 57 11 B81C1 12 19 14 10 20 34 34 28 36 12 数据来源：国家知识产权局 三、重要技术分支主要申请人分布 展示该技术领域各技术分支内领先申请人的分布情况。通常在某一技术分支申请量较多的申请人，在该技术分支上具有较强的技术竞争力，可以作为潜在合作伙伴。图中圆形面积越大表明专利量越大。 图表152014-2023年光刻机行业领域各技术分支内领先申请人的分布情况 数据来源：国家知识产权局 四、技术功效矩阵 展示该技术领域的公开专利在主要技术分支和对应技术功效上的分布情况。技术分支对应的技术功效专利量越多，反映该技术领域在该方向的研发成果越多，反之，专利量越少的技术分支和技术功效为该技术领域的技术研发薄弱方向。图中圆形面积越大表明专利量越大。 图表16截至2023年光刻机行业功效矩阵 数据来源：国家知识产权局 第三章2023年光刻机行业专利申请人分析 注：本章数据截至2023年7月18日。一、申请人排名 展示该技术领域申请