高温单片SPM&超临界CO2+炉管ALD，先进薄膜PECVD，KrF Track驱动新成长

买入|维持 盛美上海(688082) 证券研究报告：电子|公司点评报告 2024年6月10日 股票投资评级 高温单片SPM&超临界CO2+炉管ALD，先进薄膜PECVD，KrFTrack驱动新成长 2% -3% -8% -13% -18% -23% -28% -33% -38% -43% 盛美上海电子 个股表现 事件 5月22日，公司推出用于先进封装的带框晶圆清洗设备，该设备可在脱粘后的清洗过程中有效清洗半导体晶圆。 投资要点 带框晶圆清洗设备丰富先进封装布局，预计先进封装营收占比将在10%-15%左右。5月22日，公司推出用于先进封装的带框晶圆清洗设备，该设备可在脱粘后的清洗过程中有效清洗半导体晶圆。带框晶圆清洗设备的创新溶剂回收系统具有显著的环境与 2023-062023-082023-112024-012024-032024-06 公司基本情况 资料来源：聚源，中邮证券研究所 最新收盘价（元）79.54 总股本/流通股本（亿 股）4.36/0.76 总市值/流通市值（亿 元）347/60 52周内最高/最低价128.05/73.00 资产负债率(%)33.8% 市盈率38.06 研究所 第一大股东ACMRESEARCH,INC. 分析师:吴文吉 SAC登记编号:S1340523050004 Email:wuwenji@cnpsec.com 成本效益，该功能可实现近100%的溶剂回收和过滤效果，进而减少生产过程中化学品用量；公司携手一家中国集成电路制造商，已完成双方首台合作设备的安装和验证工作。目前，公司具备全面的先进封装设备布局，随着国内封装厂对于2.5D、3D封装需求的增长，公司相关设备产品的国内订单获取将存在较大提升空间。同时，公司也将开拓包括韩国、美国、中国台湾地区在内的市场，静待海外订单。结合国内及海外市场需求来看，先进封装市场具备极大成长空间，预计公司先进封装设备占整体销售收入的比例将在10%-15%左右。 高温单片SPM、超临界CO2等清洗新品推出不断开辟清洗板块增长点。1）公司SPM设备包括Tahoe、低温单片SPM设备及新增的高温单片SPM设备，预计未来Tahoe设备将进入快速增长阶段。目前，全球仅有一家高温单片SPM设备供应商，近期，公司高温单片SPM设备已取得重大技术突破，并具有独立的全球知识产权，成为第二家全球供应商。预计公司SPM设备潜在市场规模将占总前道清洗市场的25-30%，差异化竞争优势的产品将助力公司提升国内及国际市场份额。2）公司持续推进超临界CO2清洗干燥设备研发验证工作，公司SCCO2超临界CO2干燥设备将具体用于DRAM18nm及以下工艺节点STI/SNlayer的干燥。 立式炉管按照LPCVD—氧化炉&扩散炉—ALD线路发展，目前ALD进展顺利。公司研发的立式炉管设备可用于12英寸晶圆生产线，主要实现不同类型的薄膜在晶圆表面的沉积工艺，针对不同的应用和工艺需求进行设计制造，首先集中在LPCVD设备，再向氧化炉和扩散炉发展，最后逐步进入到ALD设备应用。23年报告期内，公司以UltraFn立式炉设备平台为基础结合之前推出的热原子层沉积炉管技术（UltraFnA），进一步研发了等离子原子层沉积立式炉UltraFnA，这款设备聚焦核心技术研发，力求满足高产能批式ALD工艺的高端要求，在能满足原子层沉积工艺的同时具备低累积膜厚气体清洗功能，保证颗粒的稳定性。下游应用角度，未来，HBM市场将是公司的极大增长点，今后公司的炉管ALD设备也将应用于HBM生产线。 先进薄膜PECVD，KrFTrack等差异化产品设计驱动新成 长。PECVD方面，公司的等离子体增强化学气相沉积UltraPmaxTMPECVD设备配置自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计，能够提供更好的薄膜均匀性、更优化的薄膜应力和更少的颗粒特性。今年PECVD将有2-3个客户，同时公司临港研究实验室也将在五至六月启动运营，将加快PECVD、清洗设备、炉管设备的研发进度，预计今年公司PECVD的工艺覆盖率大概在50%左右。前道Track方面，目前ArF涂胶显影预计在6月份左右会出第一批工艺结果。迭代产品或将在年底推出，具备更高产能架构设计，应用于KrF工艺，并配有背面清洗技术基础上，届时浸没式ArFi工艺涂胶显影也将同步推出。未来公司的差异化产品设计将在客户端产生更大的价值和效益。2025-2026年度，公司PECVD、Track开始实现销售收入，预计随着这两款设备市场的不断开拓，将再次推动公司业绩高增长。 投资建议 我们预计公司2024/2025/2026年分别实现收入57/78/107亿元，实现归母净利润分别为11/16/25亿元，当前股价对应2024-2026年PE分别为31倍、21倍、14倍，维持“买入”评级。 风险提示 外部环境不确定性风险；技术迭代风险；市场开拓不及预期风险；下游扩产不及预期风险。 盈利预测和财务指标 项目\年度 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入（百万元） 3888 5702 7811 10712 增长率(%) 35.34 46.63 37.00 37.14 EBITDA（百万元） 922.97 1314.16 2000.00 2907.38 归属母公司净利润（百万元） 910.52 1106.70 1648.10 2454.56 增长率(%) 36.21 21.55 48.92 48.93 EPS(元/股) 2.09 2.54 3.78 5.63 市盈率（P/E） 38.06 31.31 21.03 14.12 市净率（P/B） 5.37 4.53 3.73 2.95 EV/EBITDA 48.28 25.93 17.36 12.04 资料来源：公司公告，中邮证券研究所 财务报表和主要财务比率 财务报表(百万元) 2023A 2024E 2025E 2026E 主要财务比率 2023A 2024E 2025E 2026E 利润表 成长能力 营业收入 3888 5702 7811 10712 营业收入 35.3% 46.6% 37.0% 37.1% 营业成本 1867 2824 3903 5326 营业利润 34.5% 21.1% 48.9% 49.0% 税金及附加 5 7 9 13 归属于母公司净利润 36.2% 21.5% 48.9% 48.9% 销售费用 328 510 680 900 获利能力 管理费用 200 296 391 514 毛利率 52.0% 50.5% 50.0% 50.3% 研发费用 615 1046 1236 1521 净利率 23.4% 19.4% 21.1% 22.9% 财务费用 -25 -24 42 53 ROE 14.1% 14.5% 17.7% 20.9% 资产减值损失 -5 0 0 0 ROIC 11.2% 12.9% 15.9% 19.1% 营业利润 964 1167 1738 2589偿债能力 营业外收入 0 0 1 2 资产负债率 33.8% 38.0% 41.9% 42.6% 营业外支出 0 0 1 2 流动比率 2.64 2.31 2.25 2.18 利润总额 964 1167 1738 2590 营运能力 所得税 53 60 90 135 应收账款周转率 2.93 3.02 2.98 2.96 净利润 911 1107 1648 2455 存货周转率 1.18 1.22 1.19 1.18 归母净利润 911 1107 1648 2455 总资产周转率 0.43 0.52 0.55 0.59 每股收益（元） 2.09 2.54 3.78 5.63 每股指标（元） 资产负债表 每股收益 2.09 2.54 3.78 5.63 货币资金 1523 1322 1219 1002 每股净资产 14.82 17.56 21.34 26.98 交易性金融资产 141 141 141 141 估值比率 应收票据及应收账款 1591 2190 3048 4192 PE 38.06 31.31 21.03 14.12 预付款项 155 255 343 468 PB 5.37 4.53 3.73 2.95 存货 3925 5424 7675 10512 流动资产合计 7589 9652 12803 16771现金流量表 固定资产 662 807 938 1028 净利润 911 1107 1648 2455 在建工程 730 1044 1397 1758 折旧和摊销 85 171 220 265 无形资产 91 100 110 119 营运资本变动 -1307 -1010 -1789 -2240 非流动资产合计 2164 2699 3211 3692 其他 -116 -99 -97 -82 资产总计 9754 12350 16013 20463 经营活动现金流净额 -427 169 -17 397 短期借款 222 272 322 372 资本开支 -398 -694 -732 -746 应付票据及应付账款 1491 2115 2927 4035 其他 940 110 131 129 其他流动负债 1165 1790 2443 3280 投资活动现金流净额 542 -585 -601 -617 流动负债合计 2879 4177 5692 7687 股权融资 27 87 0 0 其他 417 522 1022 1022 债务融资 16 145 550 50 非流动负债合计 417 522 1022 1022 其他 -207 -18 -35 -47 负债合计 3296 4699 6714 8709 筹资活动现金流净额 -164 214 515 3 股本 436 436 436 436 现金及现金等价物净增加 -39 -202 -103 -217 资本公积金 4064 4150 4150 4150 未分配利润 1741 2682 4083 6169 少数股东权益 0 0 0 0 其他 218 383 631 999 所有者权益合计 6458 7651 9299 11754 负债和所有者权益总计 9754 12350 16013 20463 资料来源：公司公告，中邮证券研究所 中邮证券投资评级说明 投资评级标准 类型 评级 说明 报告中投资建议的评级标准：报告发布日后的6个月内的相对市场表现，即报告发布日后的6个月内的公司股价（或行业指数、可转债价格）的涨跌幅相对同期相关证券市场基准指数的涨跌幅。市场基准指数的选取：A股市场以沪深300指数为基准；新三板市场以三板成指为基准；可转债市场以中信标普可转债指数为基准；香港市场以恒生指数为基准；美国市场以标普500或纳斯达克综合指数为基准。 股票评级 买入 预期个股相对同期基准指数涨幅在20%以上 增持 预期个股相对同期基准指数涨幅在10%与20%之间 中性 预期个股相对同期基准指数涨幅在-10%与10%之间 回避 预期个股相对同期基准指数涨幅在-10%以下 行业评级 强于大市 预期行业相对同期基准指数涨幅在10%以上 中性 预期行业相对同期基准指数涨幅在-10%与10%之间 弱于大市 预期行业相对同期基准指数涨幅在-10%以下 可转债评级 推荐 预期可转债相对同期基准指数涨幅在10%以上 谨慎推荐 预期可转债相对同期基准指数涨幅在5%与10%之间 中性 预期可转债相对同期基准指数涨幅在-5%与5%之间 回避 预期可转债相对同期基准指数涨幅在-5%以下 分析师声明 撰写此报告的分析师（一人或多人）承诺本机构、本人以及财产利害关系人与所评价或推荐的证券无利害关系。 本报告所采用的数据均来自我们认为可靠的目前已公开的信息，并通过独立判断并得出结论，力求独立、客观、公平，报告结论不受本公司其他部门和人员以及证券发行人、上市公司、基金公司、证券资产管理公司、特定客户等利益相关方的干涉和影响，特此声明。 免责声明