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半导体设备行业跟踪:盛美上海进军PECVD,助力薄膜沉积设备国产化并打开成长空间

机械设备2022-12-13杨绍辉光大证券石***
半导体设备行业跟踪:盛美上海进军PECVD,助力薄膜沉积设备国产化并打开成长空间

——半导体设备行业跟踪 继涂胶显影设备后,盛美上海进军PECVD市场。根据盛美上海官方微信公众号,盛美上海宣布推出拥有自主知识产权的Ultra Pmax等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,拓展了一个重要的全新产品分类。盛美上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。 PECVD是薄膜沉积工艺中运用最广泛的设备种类。薄膜沉积技术包括CVD、 PVD、化学电镀等,而CVD包括APCVD、HDPCVD、PECVD、LPCVD、SACVD、FCVD、PEALD、TALD等。相比传统的CVD设备,PECVD设备在相对较低的反应温度下形成高致密度、高性能薄膜,不破坏已有薄膜和已形成的底层电路,实现更快的薄膜沉积速度,是芯片制造薄膜沉积工艺中运用最广泛的设备种类。 PECVD占薄膜沉积设备市场的1/3,占WFE市场的7.5%。根据微导纳米招股说明书,2020年全球薄膜沉积设备市场中,各类设备的市场规模(销售额口径)占比分别为:PECVD占34%、PVD占21%、ALD占13%,参考中微业绩说明会资料,2021年薄膜沉积设备市场规模占WFE的22%,由此推算PECVD约占WFE的7.5%。2021年全球薄膜沉积设备市场规模207亿美元,对应PECVD全球市场规模约为70亿美元。参考2021年中国大陆半导体设备市场占全球半导体设备的29%,中国大陆PECVD设备市场规模约20亿美元。 PECVD设备主要被Applied Materials、LamResearch、拓荆科技所垄断。根据中国国际招标网,本土产线上的PECVD供应商主要包括Applied Materials、LamResearch、拓荆科技,其中LamResearch占比更高,其次是Applied Materials,拓荆科技实现12英寸PECVD的国产化。LamResearch的VECTOR系列、Applied Materials的PRODUCER系列是PECVD的主流型号。 拓荆科技主导PECVD国产化,盛美上海、陛通半导体紧随其后。拓荆科技开发12英寸PECVD设备PF-300T、PF-300T eX、PF-300T pX、NF-300H等型号,2022年前三季度收入9.92亿元,同比增长165%,主要客户包括长江存储、中芯国际、华虹、芯恩、上海积塔等。根据陛通官方信公众号,2021年10月15日由陛通半导体研发制造的首台12英寸(300mm)高性能PECVD化学气相薄膜沉积设备,顺利出机正式交付国内某大型集成电路知名企业。根据盛美上海官方微信公众号,2022年12月12日盛美上海推出Ultra Pmax等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备。 盛美上海的PECVD拥有技术差异化。Ultra PmaxPECVD设备配置自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计,能够提供更好的薄膜均匀性,更小的薄膜应力和更少的颗粒特性。该设备采用单腔体模块化设计,有两种配置:一种可以配置1-3腔体模块,适合极薄膜层或快速工艺步骤;另一种可以配置4-5腔体模块,在优化产能的同时,支持厚膜沉积及更长的工艺时间。 盛美上海已构建PECVD+涂胶显影+炉管(ALD、LPCVD等)+铜电镀+清洗等五大类产品平台。根据控股股东(ACM Research)公司资料,新产品PECVD、Track推出后,盛美可覆盖目标市场规模从原有的80亿美元,增加至160亿美元。盛美持续的新产品研发打开公司长期成长空间。 风险分析:外部环境不确定性风险,技术迭代风险,美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。