年报点评：刻蚀设备持续提升市占率，薄膜沉积设备快速扩大产品覆盖度

分析师：邹臣 登记编码：S0730523100001 zouchen@ccnew.com021-50581991 刻蚀设备持续提升市占率，薄膜沉积设备 快速扩大产品覆盖度 ——中微公司(688012)年报点评 证券研究报告-年报点评买入(首次) 市场数据(2024-03-28) 收盘价(元)149.26 一年内最高/最低(元)193.01/111.50 沪深300指数3,520.96 市净率(倍)5.19 流通市值(亿元)924.34 基础数据(2023-12-31) 每股净资产(元)28.79 每股经营现金流(元)-1.58 毛利率(%)45.83 净资产收益率_摊薄(%)10.02 资产负债率(%)17.20 总股本/流通股(万股)61,927.94/61,927.94B股/H股(万股)0.00/0.00个股相对沪深300指数表现 中微公司沪深300 51% 40% 30% 20% 10% 0% -10% -20% 2023.032023.072023.112024.03 资料来源：中原证券，聚源 相关报告 《中微公司(688012)中报点评：刻蚀设备市场需求旺盛，扣非后净利持续高增》2021-11-10 联系人：马嶔琦 电话：021-50586973 地址：上海浦东新区世纪大道1788号16楼 邮编：200122 发布日期：2024年03月29日 事件：近日公司发布2023年年度报告，2023年公司实现营收62.64亿元，同比+32.15%；归母净利润17.86亿元，同比+52.67%；扣非归母净利润11.91亿元，同比+29.58%。2023年第四季度单季度实现营收22.22亿元，同比+30.97%，环比+46.71%；归母净利润6.26亿 元，同比+66.14%，环比+299.11%；扣非归母净利润4.58亿元，同比 +66.13%，环比+113.18%。 投资要点： 刻蚀设备推动公司营收保持高速增长，MOCVD设备短期有所承压。受益于公司刻蚀设备市占率的持续提升，2023年公司刻蚀设备营收为47.03亿元，同比增长49.43%，刻蚀设备营收占比达75%，为推动公司2023年营收高速增长的主要动力；受终端市场波动影响，2023年公司MOCVD设备营收为4.62亿元，同比下降33.95%。公司2023年毛利率为45.83%，同比增长0.09%；由于公司2023年出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益 4.06亿元，非经常性损益的大幅增加使得公司2023年实现净利率为28.48%，同比提升3.84%。 公司刻蚀设备竞争优势突出，有望继续提升市占率，新增订单高速成长为后续业绩做好保障。在CCP刻蚀设备方面，公司已有的刻蚀设备产品已经对28纳米以上的绝大部分CCP刻蚀应用和28纳米及以下的大部分CCP刻蚀应用形成较为全面的覆盖；针对28纳米及以下的逻辑器件生产中广泛采用的一体化大马士革刻蚀工艺，公司开发的可调节电极间距的CCP刻蚀机PrimoSD-RIE已进入国内领先的逻辑芯片制造客户开展现场验证，目前进展顺利。在ICP刻蚀设备方面，公司的ICP刻蚀设备在50多个客户的生产线上量产，并持续进行更多刻蚀应用的验证；2023年公司推出了适用于更高深宽比结构刻蚀的NanovaVEHP和兼顾深宽比和均匀性的NanovaLUX两种ICP设备，极大地扩展了ICP刻蚀设备的验证工艺范围；NanovaVEHP在DRAM中的高深款比的多晶硅掩膜应用在客户的产线上认证成功，已获得批量重复订单；NanovaLUX也已付运至多个客户的产线上开始认证。公司具有完整的单台和双台刻蚀设备布局、核心技术持续突破、产品升级快速迭代、刻蚀应用覆盖丰富等竞争优势，刻蚀设备有望继续提升市占率。公司2023年新增订单83.6亿元，同比增长32.3%，其中刻蚀设备新增订单69.5亿元，同比增长约60.1%，新增订单高速成长为后续业绩做好了保障。 薄膜沉积设备快速扩大产品覆盖度，有望成为公司未来新的业绩增长点。根据SEMI的数据，2023年全球集成电路前段设备市场规模约为950亿美元；根据Gartner的数据，薄膜沉积设备占晶圆制造设备价值量约23%，全球薄膜沉积设备市场空间广阔。公司近两年新开发的LPCVD设备和ALD设备，目前已有四款设备产品进入市场，其中三款设备已获得客户认证，并开始得到重复性订单，公司计划在2024年推出超过10款新型薄膜沉积设备；公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等多个新产品，也计划在2024年投入市场验证。公司在现有的金属CVD和ALD设备研发基础上，已规划多款CVD和ALD设备，公司在薄膜沉积设备领域快速扩大产品覆盖度，有望成为公司未来新的业绩增长点。 盈利预测与投资建议。公司具有完整的单台和双台刻蚀设备布局、核心技术持续突破、产品升级快速迭代、刻蚀应用覆盖丰富等竞争优势，刻蚀设备有望继续提升市占率；公司在薄膜沉积设备领域快速扩大产品覆盖度，有望成为公司未来营收重要的增长点；公司在集成电路设备、泛半导体设备、非半导体设备领域三维布局，新增订单高速成长为后续业绩做好了保障；我们预计公司23-25年营收为83.39/108.06/136.51亿元，23-25年归母净利润为20.66/26.61/33.57亿元，对应的EPS为3.34/4.30/5.42元，对应PE为44.75/34.74/27.53倍。考虑公司在刻蚀设备领域的竞争优势以及未来几年的成长性，首次覆盖给予“买入”投资评级。 风险提示：晶圆厂扩产进度不及预期风险，行业竞争加剧风险，新产品研发进展不及预期风险，国际贸易冲突加剧风险。 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入（百万元） 4,740 6,264 8,339 10,806 13,651 增长比率（%） 52.50 32.15 33.14 29.58 26.33 净利润（百万元） 1,170 1,786 2,066 2,661 3,357 增长比率（%） 15.66 52.67 15.66 28.81 26.18 每股收益(元) 1.89 2.88 3.34 4.30 5.42 市盈率(倍) 79.02 51.76 44.75 34.74 27.53 资料来源：中原证券，聚源 图1：公司单季度营收及增速情况图2：公司单季度净利润及增速情况 资料来源：Wind，中原证券资料来源：Wind，中原证券 图3：公司单季度毛利率和净利率情况图4：公司23年产品结构情况 资料来源：Wind，中原证券资料来源：公司公告，中原证券 财务报表预测和估值数据汇总 资产负债表（百万元） 利润表（百万元） 会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 流动资产 14,655 15,087 19,036 22,800 27,535 营业收入 4,740 6,264 8,339 10,806 13,651 现金 7,326 7,090 9,633 11,472 14,033 营业成本 2,572 3,393 4,472 5,777 7,282 应收票据及应收账款 713 1,213 1,567 1,984 2,549 营业税金及附加 15 12 17 23 28 其他应收款 27 10 30 36 43 营业费用 409 492 625 810 1,024 预付账款 35 112 134 163 216 管理费用 236 344 417 557 704 存货 3,402 4,260 5,513 7,233 9,055 研发费用 605 817 1,084 1,405 1,775 其他流动资产 3,153 2,401 2,159 1,912 1,639 财务费用 -151 -87 -106 -144 -172 非流动资产 5,380 6,438 7,022 7,541 8,071 资产减值损失 -20 -11 -12 -15 -16 长期投资 979 1,020 1,203 1,379 1,535 其他收益 102 124 167 195 246 固定资产 336 1,988 2,083 2,183 2,340 公允价值变动收益 63 -203 0 0 0 无形资产 590 687 788 874 967 投资净收益 74 787 334 411 519 其他非流动资产 3,474 2,744 2,947 3,105 3,229 资产处置收益 -5 0 0 0 0 资产总计 20,035 21,526 26,058 30,341 35,607 营业利润 1,263 1,980 2,318 2,968 3,758 流动负债 3,919 3,624 6,120 7,740 9,645 营业外收入 0 33 0 0 0 短期借款 0 0 0 0 0 营业外支出 5 3 0 0 0 应付票据及应付账款 960 1,305 1,727 2,216 2,801 利润总额 1,259 2,010 2,318 2,968 3,758 其他流动负债 2,959 2,319 4,393 5,524 6,844 所得税 91 226 255 310 405 非流动负债 633 79 85 91 98 净利润 1,168 1,784 2,063 2,658 3,353 长期借款 500 0 0 0 0 少数股东损益 -2 -2 -2 -3 -4 其他非流动负债 133 79 85 91 98 归属母公司净利润 1,170 1,786 2,066 2,661 3,357 负债合计 4,552 3,702 6,205 7,831 9,743 EBITDA 1,123 1,485 2,415 3,044 3,822 少数股东权益 -1 -3 -5 -8 -12 EPS（元） 1.89 2.88 3.34 4.30 5.42 股本 616 619 619 619 619 资本公积 12,647 13,317 13,317 13,317 13,317 主要财务比率 留存收益 2,218 3,880 5,958 8,619 11,976 会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 归属母公司股东权益15,484 17,826 19,858 22,519 25,876成长能力 负债和股东权益 20,035 21,526 26,058 30,341 35,607 营业收入（%） 52.50 32.15 33.14 29.58 26.33 营业利润（%） 11.44 56.81 17.07 28.02 26.63 归属母公司净利润（%） 15.66 52.67 15.66 28.81 26.18 获利能力毛利率（%） 45.74 45.83 46.37 46.54 46.66 现金流量表（百万元） 净利率（%） 24.68 28.51 24.77 24.62 24.59 会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E ROE（%） 7.55 10.02 10.40 11.82 12.97 经营活动现金流 618 -977 2,698 1,805 2,412 ROIC（%） 5.69 6.33 9.66 10.97 12.12 净利润 1,168 1,784 2,063 2,658 3,353 偿债能力 折旧摊销 142 176 204 221 236 资产负债率（%） 22.72 17.20 23.81 25.81 27.36 财务费用 -119 -71 0 0 0 净负债比率（%） 29.40 20.77 31.26 34.79 37.67 投资损失 -74 -787 -334 -411 -519 流动比率 3.74 4.16 3.11 2.95 2.85 营运资金变动 -409 -2,238 752 -677 -6