湿法设备四千腔顺利交付，同步推进平台化建设

2024年03月13日 公司研究●证券研究报告 盛美上海（688082.SH） 公司快报 湿法设备四千腔顺利交付，同步推进平台化建设投资要点2024年3月12日，盛美上海宣布湿法设备4000腔顺利交付。 湿法设备四千腔顺利交付，设备可涵盖95%清洗步骤 2024年3月12日，盛美上海宣布公司于3月6日实现湿法设备4000腔顺利交付，新里程碑的达成彰显了市场对公司产品的高度认可。公司深耕半导体清洗设备，2023年清洗设备营收占比为67.24%。公司成功研发出全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和单片槽式组合清洗技术，已达到国际领先或国际先进的水平。Gartner数据显示，2022年公司在全球单片清洗设备的市场份额已升至7.2%。根据公司2024年3月投资者调研纪要，公司清洗设备包括背面清洗、边缘刻蚀清洗、单片高温SPM设备、超临界CO2清洗以及单片槽式组合清洗等清洗设备，可覆盖95%清洗步骤，是全球覆盖范围最广的厂商；随着清洗设备的持续精进和市场的不断开拓，公司有望快速实现中国市场55%-60%的市占率目标。公司预计2024年清洗设备仍将是第一大营收来源，延续稳定增长趋势，其中槽式设备有望实现可观增长。 同步推进平台化建设，新项目串联五大产品加快验证进程 公司同步推进平台型设备厂商的建设，积极扩大产品组合，在半导体电镀设备、立式炉管设备、前道涂胶显影（Track）设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备等领域扩大布局。电镀设备：电镀设备将是公司2024年的核心增长点，有效提升公司营收规模和整体毛利率水平。目前公司在国内电镀市场的市占率约30%，前道电镀设备已有海外demo订单，并已获得多家客户的TSV电镀设备重复订单。炉管设备：2023年底公司新增多家炉管客户，有望于2024年放量贡献营收。ALD已研发完成，正在客户端进行生产验证。公司预计炉管设备综合毛利率将维持在40%-45%。PECVD和Track设备：两类设备预计2025年开始放量贡献营收，并支撑公司未来5-8年的高速成长。PECVD方面，公司采用“一个腔体三个卡盘”的差异化设计，可在同一平台上实现多种PECVD工艺，预计2024年将新增3-5家战略核心客户。Track方面，公司从300WPHKrF-line设备切入，逐步进行400WPH设备的研发，同时2024年公司也将开发出浸润式ArFTrack设备。2024年1月，公司发布公告拟投资9.40亿元实施研发和工艺测试平台建设项目。该项目可串联公司五大产品线（清洗设备、镀铜设备、炉管设备、PECVD、Track），进行模拟生产线inline的测试，加快公司对各类设备的开发验证，缩短在客户端的测试验证时间。 电子|半导体设备Ⅲ 投资评级增持-A(维持)股价(2024-03-13)94.32元交易数据总市值（百万元）41,095.92流通市值（百万元）7,155.57总股本（百万股）435.71流通股本（百万股）75.8612个月价格区间125.30/74.74一年股价表现 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益1.98-19.0115.22绝对收益8.14-14.775.27 分析师孙远峰 SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn 分析师王海维 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn 相关报告盛美上海：2024年营收有望延续增长，多产品线布局成效显现-华金证券+电子+盛美上海+公司快报2024.1.15盛美上海：新推负压清洗平台，紧抓先进封装机遇-华金证券+电子+盛美上海+公司快报2023.9.17盛美上海：前道/后道/衬底制造平台化布局，先进封装促“中道设备”需求-盛美上海业绩点评2023.8.8盛美上海：国产清洗龙头技术助力海外拓展，股权激励彰显长远信心-【盛美上海】2023.4.28 2023年业绩稳定向好，2024年营收/出货量有望迈上新台阶 2023年公司实现营收38.88亿元，同比增长35.34%；归母净利润9.11亿元，同比增长36.21%；扣非归母净利润8.68亿元，同比增长25.77%；毛利率51.99%，同比提升3.09pcts。全年研发费用6.15亿元，同比增长62.04%；营收占比为15.82%，同比提升2.61pcts。公司预计后续研发投入占比将维持在15-16%。 公司预计2024年营收为50~58亿元，同比增长28.59%~49.16%。根据公司2024年3月投资者调研纪要，由于部分客户2023年交货延期至2024年，2024年公司出货量增长率预计大于营收增长率，全年出货量有望迈上新台阶。 投资建议：我们预计2024年至2026年，公司营收分别为54.00/65.01/78.54亿元，增速分别为38.9%/20.4%/20.8%；归母净利润分别为11.22/14.22/18.00亿元，增速分别为23.2%/26.7%/26.6%；对应PE分别为36.6/28.9/22.8倍。公司显著受益于半导体设备国产化及先进封装发展带动“中道设备”需求增加，清洗设备贡献稳定营收，电镀、炉管等多品类设备相继放量助推业绩迈上新台阶。持续推荐，维持“增持”评级。 风险提示：新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，晶圆厂产能扩充进度不及预期的风险，系统性风险等。 财务数据与估值会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入(百万元) 2,873 3,888 5,400 6,501 7,854 YoY(%) 77.3 35.3 38.9 20.4 20.8 归母净利润(百万元) 668 911 1,122 1,422 1,800 YoY(%) 151.1 36.2 23.2 26.7 26.6 毛利率(%) 48.9 52.0 51.2 50.5 50.3 EPS(摊薄/元) 1.53 2.09 2.58 3.26 4.13 ROE(%) 12.1 14.1 14.8 15.8 16.7 P/E(倍) 61.5 45.1 36.6 28.9 22.8 P/B(倍) 7.4 6.4 5.4 4.6 3.8 净利率(%) 23.3 23.4 20.8 21.9 22.9 数据来源：聚源、华金证券研究所 财务报表预测和估值数据汇总 资产负债表(百万元)利润表(百万元) 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 流动资产 6300 7589 8615 10161 12546 营业收入 2873 3888 5400 6501 7854 现金 1562 1523 1731 2266 3044 营业成本 1468 1867 2635 3218 3903 应收票据及应收账款 1066 1591 1702 2013 2475 营业税金及附加 3 5 5 7 8 预付账款 133 155 173 199 238 营业费用 259 328 454 520 589 存货 2690 3925 4548 5203 6278 管理费用 106 200 270 299 330 其他流动资产 848 395 461 481 511 研发费用 380 615 864 1027 1225 非流动资产 1875 2164 2693 2916 3095 财务费用 -80 -25 -35 -52 -73 长期投资 68 57 65 68 63 资产减值损失 -38 -51 -65 -39 -16 固定资产 300 662 1095 1270 1402 公允价值变动收益 -30 8 6 4 3 无形资产 117 164 203 220 242 投资净收益 26 92 59 45 24 其他非流动资产 1390 1281 1330 1358 1388 营业利润 717 964 1207 1529 1927 资产总计 8176 9754 11308 13077 15642 营业外收入 0 0 0 0 0 流动负债 2397 2879 3366 3771 4592 营业外支出 0 0 0 0 0 短期借款 390 222 244 160 122 利润总额 717 964 1207 1529 1927 应付票据及应付账款 961 1491 1684 1891 2261 所得税 48 53 84 107 127 其他流动负债 1045 1165 1439 1719 2209 税后利润 668 911 1122 1422 1800 非流动负债 255 417 361 305 248 少数股东损益 0 0 0 0 0 长期借款 130 282 226 169 113 归属母公司净利润 668 911 1122 1422 1800 其他非流动负债 125 135 135 135 135 EBITDA 736 1008 1270 1615 2008 负债合计 2652 3296 3727 4075 4840 少数股东权益 0 0 0 0 0 主要财务比率 股本 434 436 436 436 436 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 资本公积 3882 4064 4064 4064 4064 成长能力 留存收益 1205 1954 3076 4497 6297 营业收入(%) 77.3 35.3 38.9 20.4 20.8 归属母公司股东权益 5524 6458 7580 9002 10801 营业利润(%) 167.5 34.5 25.2 26.7 26.1 负债和股东权益 8176 9754 11308 13077 15642 归属于母公司净利润(%) 151.1 36.2 23.2 26.7 26.6 获利能力 现金流量表(百万元) 毛利率(%) 48.9 52.0 51.2 50.5 50.3 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 净利率(%) 23.3 23.4 20.8 21.9 22.9 经营活动现金流 -269 -427 773 926 1097 ROE(%) 12.1 14.1 14.8 15.8 16.7 净利润 668 911 1122 1422 1800 ROIC(%) 10.6 12.6 13.4 14.6 15.6 折旧摊销 39 63 92 128 144 偿债能力 财务费用 -80 -25 -35 -52 -73 资产负债率(%) 32.4 33.8 33.0 31.2 30.9 投资损失 -26 -92 -59 -45 -24 流动比率 2.6 2.6 2.6 2.7 2.7 营运资金变动 -1034 -1449 -342 -523 -747 速动比率 1.2 1.2 1.1 1.2 1.3 其他经营现金流 164 167 -6 -4 -3 营运能力 投资活动现金流 -1884 542 -556 -302 -297 总资产周转率 0.4 0.4 0.5 0.5 0.5 筹资活动现金流 273 -164 -10 -88 -22 应收账款周转率 3.6 2.9 3.3 3.5 3.5 应付账款周转率 1.7 1.5 1.7 1.8 1.9 每股指标（元） 估值比率 每股收益(最新摊薄) 1.53 2.09 2.58 3.26 4.13 P/E 61.5 45.1 36.6 28.9 22.8 每股经营现金流(最新摊薄) -0.62 -0.98 1.77 2.12 2.52 P/B 7.4 6.4 5.4 4.6 3.8 每股净资产(最新摊薄) 12.68 14.82 17.40 20.66 24.79 EV/EBITDA 54.4 39.8 31.3 24.2 19.1 资料来源：聚源、华金证券研究所 公司评级体系 收益评级： 买入—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数15%以上；增