【盛美上海】湿法设备出货量再创新高,突破3000腔大关 玫瑰2022年11月16日,盛美上海湿法设备3000腔顺利交付,目前公司清洗设备工艺应用覆盖率已超过80%,未来有望超过90%,全部产品覆盖市场空间达到近85亿美元。 玫瑰2021年10月18日,盛美上海半导体湿法设备2000腔顺利交付,仅用一年时间,就达成湿法设备3000腔顺利交付的成就。