机械行业周报2023年第22周：广东省持续推进“广东强芯”工程，本土晶圆厂扩产持续

2023年6月4日 行业研究 广东省持续推进“广东强芯”工程，本土晶圆厂扩产持续 ——机械行业周报2023年第22周（5.28-6.3） 要点 重点子行业观点 半导体设备：本土晶圆厂扩产持续，设备需求旺盛。中芯集成拟投资42亿元， 用于建设一条集研发和月产1万片12寸集成电路特色工艺晶圆小规模工程化、 国产验证及生产验证的中试实验线。其次，计划在未来2-3年内合计形成投资 222亿元、10万片/月产能规模的中芯绍兴三期12英寸数模混合集成电路芯片制造项目。 上市公司层面，拓荆科技公告拟投资2000万元入股半导体核心零部件全氟密封件企业芯密科技1.5625%股权，盛美上海投资者关系活动内容表示，热反应ALD炉管验证、CO2超临界清洗设备、涂胶显影设备验证、PECVD等新产品近期进展顺利，预计Tahoe今年将会有大的订单量增加。 推荐晶盛机电，建议关注中微公司、拓荆科技、芯源微、盛美上海、微导纳米、华海清科、北方华创、精测电子、万业企业、长川科技、华峰测控、光力科技、联动科技、广立微、路维光电、江丰电子、正帆科技、富创精密、新莱应材、汉钟精机、神工股份、英杰电气、国力股份、晶升股份、金海通。 工程机械：开工仍有回升空间，产品需求有望逐步企稳反弹。工程机械产业链短期仍处于调整期，销量下滑与原材料成本相对高位的双重压力对工程机械企业的盈利能力提出挑战；但在新一年国内稳增长的大环境下，基建与地产投资有望边际改善，工程机械国内销量降幅有望逐步收窄，全面好转还有待于观察基建及地 产投资恢复程度，以及存量机器的消化程度。维持推荐三一重工、中联重科 （A/H）、徐工机械、恒立液压等龙头。 通用设备：行业需求处于恢复区间，机床产品持续升级。据中国机床工具工业协会统计，23Q1我国机床行业营收同比下降1.1%，反映了机床行业处于恢复过程中。23Q1我国金属加工机床出口量同比下降28%，但出口额同比增长22.7% 反映了机床产品的持续升级。机床行业建议关注科德数控、海天精工、拓斯达、纽威数控、国盛智科、浙海德曼；刀具建议关注欧科亿、华锐精密、中钨高新。 光伏设备：硅料硅片价格跌幅加大，电池片与组件缓跌。多家组件企业在SNEC上发布Topcon与HJT新品，N型替代P型全面开启。光伏镀铜降本增效终极技术的协同合作生态逐步优化，将加速推进无银化工艺技术发展。光伏铜电镀行情发展演绎至关注HJT行业大β与自身突破的阶段，24H1是HJT电池片大规模量产线跑通投产关键时点，产业化早期“锦上添花”式Cu-HJT迎来应用机遇。 隆基绿能钙钛矿叠层电池效率突破31.8%，效率再下一城。推荐迈为股份、晶盛机电，建议关注高测股份、捷佳伟创、微导纳米、奥特维、京山轻机、金晶科技、德沪涂膜、芯碁微装、苏大维格、东威科技、罗博特科、宝馨科技、德龙激光、石英股份、欧晶科技、天宜上佳。 锂电设备：复合集流体领先厂商扩产，或利于产业链成熟设备厂。截至2023/6/2，近一年锂电设备指数跌幅达31.82%。复合集流体领先厂商扩产，或利于产业链成熟设备厂。5月24日，金美新材料新型多功能复合集流体扩产基地项目正式 签约，主要用于建设生产新型多功能复合集流体MA和MC产线。可实现年产值超100亿元，年产约12亿平方米新型多功能复合集流体材料。 当前锂电设备看点在于出海、新技术驱动新设备与充电桩板块。推荐东威科技，建议关注杭可科技、利元亨、联赢激光、欧克科技、英杰电气、盛弘股份。 风电设备：海风深远海进程加速，浮式风机迎来发展契机。广东省海风装机有望大幅超预期，海水制氢技术有望成为深远海风电破局关键。建议关注亚星锚链、东方电缆、中天科技、长盛轴承、双飞股份、大金重工、明阳智能。 风险分析：宏观经济波动风险；基建投资不及预期的风险；国际贸易摩擦的风险；市场竞争加剧的风险。 机械行业 买入（维持） 作者分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001021-52523860 yangshaohui1@ebscn.com 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 chenjianing@ebscn.com 联系人：林映吟 linyingyin@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 30% 10% -10% -30% 22/0622/0922/1223/0323/06 机械行业沪深300 资料来源：Wind 相关研报日本半导体设备出口限制靴子落地，N型组件替代P型全面开启 ——机械行业周报2023年第21周（5.21-5.27国内光伏新增装机超预期，英国宣布半导体投资计划可见科技主权之争持续 ——机械行业周报2023年第20周（5.14-5.21国资委要求央企加大新兴产业布局，半导体设备国产替代加速推进 ——机械行业周报2023年第19周（5.7-5.13）国内半导体设备公司23Q1业绩逆势上行，科技仍是投资主旋律 ——机械行业周报2023年第18周（4.30-5.6）解决“卡脖子”问题，半导体设备首当其冲 ——机械行业周报2023年第15周（4.9-4.15）区域联合攻关与上中下游联动，半导体设备关键技术突破将持续推进 ——机械行业周报2023年第14周（4.2-4.8）日本出口限制升级倒逼半导体设备国产化，复合集流体材料安全性再获国内车企认可 ——机械行业周报2023年第13周（3.26-4.1） 目录 1、行业观点更新5 2、新股动态11 3、重点数据跟踪12 4、风险提示18 图目录 图1：PMI指数回落至荣枯线以下（%）7 图2：企（事）业单位中长期贷款金额及增速7 图3：基建投资有所反弹，地产投资景气仍处低位12 图4：2023年4月份房屋新开工面积累计同比下滑21.2%12 图5：挖掘机月度销量变化12 图6：挖掘机销量同比变化12 图7：挖掘机国内销量变化12 图8：挖掘机国内销量同比变化12 图9：挖掘机出口销量变化13 图10：挖掘机出口销量同比变化13 图11：挖掘机出口占比逐年提升13 图12：挖掘机开工小时仍处于相对低位13 图13：2023年4月份美国CPI同比+4.9%，2023年4月中国CPI同比+0.1%13 图14：2023年5月份PMI指数降至荣枯线以下（48.8%）14 图15：2023年4月份全部工业品PPI指数同比-3.6%14 图16：2023年1-4月制造业固定资产投资额累计同比+6.4%14 图17：2023年1-4月份金属切削机床产量累计同比-3.0%14 图18：2023年4月份工业机器人当月产量同比-7.4%14 图19：中国新能源车销售渗透率2023年4月为29.46%15 图20：2023年4月份新能源汽车销量当月值63.6万辆15 图21：2023年4月份新能源汽车产量当月同比+105%15 图22：2023年4月份新能源乘用车产量60.3万辆，同比+105.8%15 图23：2023年4月份新能源乘用车零售销量52.7万辆15 图24：2023年4月新能源乘用车批发销量60.7万辆，同比+116.8%16 图25：2023年4月份新能源乘用车零售销量同比+85.6%16 图26：2023年4月份动力电池装车量当月值25.14GW16 图27：2023年4月份动力电池装车量当月同比+89.4%16 图28：截至2023/5/31，多晶硅致密料均价118元/kg16 图29：截至2023/5/31，本周硅片价格较上周有所下降（元/片）16 图30：截至2023/5/31，光伏电池片价格较上周有所下降（元/W）17 图31：截至2023/5/31，光伏组件价格较上周有所下降（元/W）17 图32：截至2023/6/2，Myspic综合钢价指数较22年6月初下跌22%17 图33：2023年4月份风电新增并网容量3.80GW17 图34：2023年1-4月份风电新增并网容量14.20GW17 图35：2017-2023Q1国内各季度风电公开招标量18 表目录 表1：ALD的特征、对薄膜沉积的内在影响及其实际应用中的优势6 表2：挖掘机销售数据（单位：台）6 表3：一周IPO统计表11 表4：行业重点上市公司盈利预测、估值与评级18 1、行业观点更新 半导体：日本半导体设备出口限制靴子落地，涂胶显影、刻蚀、清洗等环节的设备国产化进度有望加速。 广东省提出持续推进“广东强芯”工程，抓紧组建省半导体及集成电路产业投资基金二期。根据财联社6月1日消息，今日中共广东省委、广东省人民政府发 布关于高质量建设制造强省的意见。意见提出，持续推进“广东强芯”工程，抓紧组建省半导体及集成电路产业投资基金二期，全面建设中国集成电路第三极。建立健全能源和原材料保供稳价长效机制，提升战略性能源资源供应保障能力。加强紧缺部件和物料战略储备，在广州、深圳、汕头、惠州、东莞、江门、湛江、茂名、揭阳等地布局建设全球大宗商品重要配置基地和电子元器件集散分拨基地。 日本半导体设备出口限制靴子落地。5月23日，日本公布《根据出口贸易管理令附表一和外汇令附表的规定确定货物或技术的省令》（以下简称“省令”）修正版，明确将23个具体品类的尖端半导体制造设备列入出口管理限制对象名单，包括6大类、23项设备，具体包括3项清洗设备、11项薄膜沉积设备、1项预处理设备、4项光刻/曝光设备、3项刻蚀设备以及1项测试设备，从类别上看，日本主要针对光刻、薄膜沉积、刻蚀、清洗设备进行出口限制管理。经过2个月 公告期后，《省令》预计于7月23日施行。此次日本半导体设备出口管理限制 的范围与3月31日的《省令》版本的限制范围一致，时间确定在2个月公示期 后的7月23日。对中国而言，如若要进口上述23项半导体设备则需要事先获得许可。另外，此次限制的23个品类主要针对先进制程，均属于在10~14nm以下的先进制程所需要的设备。 涂胶显影、刻蚀、清洗等日本企业市占率较高的细分类别的设备在中国大陆的国产化替代有望加速。21年收入口径下，日本在全球半导体设备市场中占比约28%，仅次于美国，其中在涂胶显影、介质刻蚀、清洗设备等多个设备环节处重 要地位，例如21年TEL在涂胶显影设备领域的销售额在全球的份额为89%，在刻蚀领域的销售份额为29%，在清洗设备领域的销售份额为25%。中国大陆市场是日本厂商的重要收入来源之一，此次出口限制或将影响日本设备厂的销售额。22年，日本厂商来自中国大陆的收入占比普遍在20%~30%上下，其中东京电子来自中国大陆的收入占比为22%，爱德万为33%，DISCO为2/3。预计随着《省令》实施，这些企业在中国大陆的设备销售预计会受到较大冲击。该项 限制时间落地后，中国的半导体设备国产化空间进一步打开，涂胶显影、刻蚀和清洗设备等日本企业市场份额较高的设备类别将迎来较好的国产化时间窗口，预计晶圆厂验证、国产设备导入的节奏有望加快。 北方华创半导体装备产业化台马基地将于23Q3投入使用。北方华创6月2日表示目前公司在手订单充足，经营状况良好，预计二季度业绩仍将保持增长。公司现有产能基本满足订单生产交付需求，同时通过增发募集资金扩建的半导体装备 产业化台马基地将于今年三季度投入使用，以匹配业务进一步增长的需要。未来北方华创将围绕半导体各应用领域持续加大研发投入，不断提升工艺覆盖度和市占率。 半导体制造工艺进步，原子层沉积（ALD）技术是关键。ALD技术具备沉积薄膜厚度的高度可控性、优异的均匀性和三维保形性三大优势，在半导体先进制程应用领域彰显优势，特别适合复杂形貌、高深宽比沟槽表面的薄膜沉积，被广泛应用于High-K栅介质层、金属栅、铜扩散阻挡层等半导体先进制程领域。SEMI预测，受益于半导体先进制程产线数量增加，2020年至2025年全球ALD设备市场规模（以销售额计）CAGR将达到26.3%，远高于PVD和PECVD设备的增 速，市场空间可观。目前，我国在ALD领域进展较大的有拓荆科技、北方华创和微导纳米。 表1：ALD的特征、对薄膜沉积的