【国金电子】中科飞测深度报告:国内半导体量/检测设备领先企业,打造中国KLA半导体量/检测设备国产化率3%,公司有望深度受益于国产替代。 量/检测设备是集成电路制造中保证良品率的关键,全球2021年市场规模约100亿美元,竞争格局集中,美国KLA(市占率54%)一家独大。国内主要有中科飞测、上海精测、上海睿励(中微公司持股)及东方晶源等公司,在图形/无图形晶圆检测、膜厚/关键尺寸/套刻量测等 【国金电子】中科飞测深度报告:国内半导体量/检测设备领先企业,打造中国KLA半导体量/检测设备国产化率3%,公司有望深度受益于国产替代。 量/检测设备是集成电路制造中保证良品率的关键,全球2021年市场规模约100亿美元,竞争格局集中,美国KLA(市占率54%)一家独大。 国内主要有中科飞测、上海精测、上海睿励(中微公司持股)及东方晶源等公司,在图形/无图形晶圆检测、膜厚/关键尺寸/套刻量测等多个细分领域持续发力突破。 中科飞测成立于2014年,公司检测类无图形检测和微米图形检测量产,纳米图形产品积极验证中,量测产品中三维形貌量测量产,膜厚、套刻等陆续验证导入,应用于国内28nm及以上制程。 22年营收5亿元(yoy+41%,无图形检测2.55亿元,图形检测1.3亿元,量测1.2亿元)国内体量最大,研发费用率高达40%。 2022年末公司合同负债4.8亿,存货中发出商品4.3亿,在手订单充足。 我们预计公司2023-2025年分别实现营收7.9/11.6/15.6亿元,同比增长55%/47%/35%,归母净利润为0.4/1/1.8亿元,同比增长 270%/120%/93%,EPS分别为0.14/0.3/0.57元。 目前国内半导体量/检测设备国产替代空间巨大,叠加创新驱动及自主可控下国内晶圆厂资本开支持续提升,公司具备长期持续且较高的成长性。首次覆盖,给予“买入”评级。