营收业绩高速增长，国产替代加速

营收业绩高速增长，维持“买入”评级 公司发布2022年年报及2023年一季报，2022年实现营收146.88亿元，同比+51.68%；归母净利润23.53亿元，同比+118.37%；扣非净利润21.06亿元，同比+161.07%；毛利率43.83%，同比+4.42pcts。计算得2022Q4单季度实现营收46.76亿元，同比+33.21%，环比+2.35%；归母净利润6.67亿元，同比+59.06%； 扣非净利润6.30亿元，同比+123.72%；毛利率43.53%，同比+6.80pcts，环比+2.41pcts。2023Q1实现营收38.71亿元，同比+81.26%；归母净利润5.92亿元，同比+186.58%；扣非净利润5.34亿元，同比+243.59%，毛利率41.18%，同比-3.46pcts，环比-2.35pcts。国产替代持续推进，我们上调2023-2024年业绩预测并新增2025年业绩预测，预计2023-2025年归母净利润为32.40（+10.23）/43.08（+13.89）/56.45亿元，对应EPS为6.12（+1.92）/8.14（+2.60）/10.66元，当前股价对应PE为54.7/41.1/31.4倍，维持“买入”评级。 在手订单饱满，凸显半导体设备龙头效应 合同负债方面2022年末71.98亿元，较2022Q3末+6.86亿元；2023Q1末78.22亿元，较2022年末+6.24亿元，显示在手订单饱满。分产品看，2022年公司电子工艺设备收入120.84亿元，同比+52.03%，毛利率为37.70%，同比+4.7pcts。 刻蚀装备方面，面向12寸逻辑、存储、功率、先进封装等客户，已完成数百道工艺的量产验证，ICP出货累计超过2000腔；采用高密度、低损伤设计的12寸等离子去胶机已在多家客户完成工艺验证并量产；金属刻蚀设备凭借稳定的量产性能成为国内主流客户的优选机台；高深宽比TSV刻蚀设备以其优异性能通过客户工艺验证，支撑Chiplet应用；发布了双频耦合CCP介质刻蚀机，实现了在硅刻蚀、金属刻蚀、介质刻蚀工艺的全覆盖。电子元器件方面，2022年收入25.74亿元，同比+50.10%，毛利率为72.53%，同比+3.63pcts。公司先进封装、第三代半导体、高效晶硅电池等新兴领域产业化能力稳步提升；真空热处理设备、磁性材料设备等应用实现新的突破；电子元器件业务多项新产品市场地位日益巩固。 风险提示：下游景气度不及预期；技术研发不及预期；行业竞争加剧。 财务摘要和估值指标 附：财务预测摘要