长光系公司梳理之一：光华微电子

证券研究报告|行业动态报告 2023年04月25日 长光系公司梳理之一：光华微电子 评级及分析师信息 行业评级：推荐行业走势图 40%30%21%11% 2% -8% 2022/042022/072022/102023/01 国防军工沪深300 分析师：陆洲邮箱：luzhou@hx168.com.cnSACNO：S1120520110001研究助理：林熹邮箱：linxi2@hx168.com.cn 国防军工 【写在前面】： 中科院长春光机所是我国光学领域龙头单位，技术实力雄厚，产品高端稀缺。据长光所官网，2022年长光所科研合同额高达43亿元，到款额高达38.89亿元，创历史新高。“疫情”三年期间，所人均对外争取的科研合同额、到款额持续大幅上涨，发展势头良好。长光所现有投资企业70余家，其中上市公司1家（奥普光电002338），控股及实际控制企业30余家， 持有总权益超50亿元。2018年以来，新设立高新技术企业30余家，与青岛、佛山、滁州、杭州等地方政府合作建立了多个产业化基地。2022年所属核心企业销售收入总量高达35.74亿元，创历史新高。 中央深改组提出，要强化企业科技创新的主体地位，加强和改进国有经济管理，有力支持中国式现代化建设。华西证券研究所军工组推出系列报告，梳理长光所投资的重要企业，挖掘其中科技创新和产业发展亮点。本篇报告主要分析光华微电子公司。 ►微电子设备领域单项冠军，晶片电阻生产设备市占率达70% 光华微电子由长光所机电工程研究部转制而成，在晶片电阻生产设备、半导体生产设备、激光精细加工设备、精密机械产品等4个领域推出十余款产品，下游客户包括国巨公司、风华高科等知名电子元件厂商。主力产品晶片电阻生产设备（如激光调阻机、电阻划片机）市场占有率达70%以上，打破国际垄断，满足主流客户最新一代工艺需求及定制特殊工艺需求。公司激光调阻机最宽测阻范围为1mΩ-1000MΩ，最高测量精度为0.005%，测量响应时间为17μs，最快调阻速度为85万只/小时；激光划片机双面刻划重合精度为1.5μm，其高精度划线控制平台的绝对定位精度为0.8μm、重复定位精度为0.3μm，旋转机构精度为1″，陶瓷基板划片断线率为 0.1‰，产品性能、技术优势突出。 2019年，长光所控股上市公司奥普光电（002338）曾计划收购光华微电子100%股权，由于未获得证监会核准，奥普光电决定终止该次重组事项。 ►推出国内首台商用12英寸探针台，性能指标达国际水平 2020年6月，光华微电子宣布研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台，打破国外的垄断，目前已实现亚微米级平台定位精度，其性能指标已经达到或者接近国际水平，在中芯国际等7家客户中试并交付27台设备量产使用，实现国 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 产设备“零”的突破。 全自动晶圆探针测试台用于半导体集成电路制程的晶圆针测工序，是集成电路技术测试环节所需关键设备。目前市场处于双强垄断态势，东京电子(TEL)和东京精密(TSK)两家日本公司占据了绝大部分市场份额。公司所生产的全自动晶圆探针测试台可以测试8寸和12寸的晶圆，于2019年起先后在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的骨干企业进行样机测试，其安全性和可靠性得到充分验证，测试结果表明产品已经能够满足产线生产要求，已具备替代国外进口设备的能力。 ►布局半导体制造领域多个方向，为解决我国芯片“卡脖子”问题贡献长光力量 公司积极寻求产学研协同创新，建立所企、校企合作，加 快技术攻关进程。2021年，公司积极布局了半导体制造领域的多个方向，在AOI（晶圆表面缺陷自动光学检测系统）方面，与长春光机所团队已完成了方案论证，正在进行核心技术攻关，拟打破美国鲁道夫、以色列CamTech等公司在晶圆缺陷光学检测设备的垄断；布局半导体3D先进封装设备，与中科院长春光机所精密仪器与装备研发中心及国有晶圆企业一道，尝试通过晶圆多层封装技术解决无EVU光刻机条件下的高性能芯片制造问题；此外，在晶圆切割设备等方面也做了系统布局，为解决我国芯片制造领域“卡脖子”问题贡献长光力量。 ►半导体需求旺盛+国产替代提速，设备商持续受益 根据SEMI数据，2022年中国大陆半导体设备销售额达到283亿美元，连续第三年成为全球最大的半导体设备市场。同时，国内半导体生产厂商目前所使用的半导体设备仍主要依赖进口，国产化率较低。在全球供应链紧张和国际贸易摩擦增加的大背景之下，随着日美系厂商逐步退出国内市场竞争，国内半导体设备自主可控要求不断提升，为国内厂家提供发展良机。光华微电子开发出的设备已经基本能够实现对相关进口设备的替代，部分机型实现了100%的国产化率，有望尽享国产替代市场爆发。 风险提示 1）下游需求不及预期的风险；2）研发进度不及预期的风险； 3）市场竞争加剧导致价格、利润率下降的风险等。 正文目录 1.国内微电子设备领域单项冠军，打破垄断助力自主可控4 1.1.长光所机电部转制而来，晶片电阻生产设备市占率70%4 1.2.奥普光电曾计划收购公司100%股权7 2.激光加工设备核心供应商，深度受益国产替代7 2.1.激光调阻机、划片机是片式电阻核心生产设备7 2.2.半导体需求旺盛+国产替代提速，设备商持续受益9 2.3.技术、产品、客户多重优势，深度受益国产替代需求爆发11 3.推出国内首台商用12英寸探针台，性能指标达国际水平12 4.风险提示15 图表目录 图1公司发展历程5 图2公司股权结构图6 图3公司营收利润情况（单位：亿元）6 图4公司利润率情况6 图5片式电阻的生产工艺8 图6公司生产的激光调阻机8 图7激光调阻示意图8 图8公司生产的激光划片机9 图9晶粒外观无法确保严格一致性，对激光划片机精度要求极高9 图102019-2021年全球主要地区被动元件需求规模9 图11被动元件下游增长情况（单位：亿美元）9 图122017-2022年全球&中国大陆半导体设备销售额10 图132022年全球半导体设备市场份额10 图14中国大陆主要半导体设备进口额情况10 图15公司主要合作伙伴12 图16公司12寸全自动晶圆探针台在Fab测试12 图17公司探针台内部结构12 图18探针需在微米量级Pad盘上完成测试14 图19全球半导体检测和量测设备市场情况15 图20中国大陆地区半导体检测和量测设备市场情况15 表1光华微电子典型产品4 表22019年奥普光电曾计划收购光华微电子100%股权7 表3光华微电子产品价格、毛利率、产销量情况11 表4半导体集成电路制造过程13 表52019年底披露在研项目14 1.国内微电子设备领域单项冠军，打破垄断助力自主可控 1.1.长光所机电部转制而来，晶片电阻生产设备市占率70% 微电子设备领域单项冠军，晶片电阻生产设备市占率达70%。长春光华微电子设备工程中心有限公司于2002年由中科院长春光机所机电工程研究部转制而成，专注于被动电子元件和微电子设备的研发、生产，其主要产品分布在晶片电阻生产设备、半导体生产设备、激光精细加工设备、精密机械产品等4个领域，技术与品质处于国内领先、国际先进水平，为国际主要被动元件生产企业配套，产品出口日本、韩国、泰国、菲律宾、马来西亚等国家，以及中国台湾、香港等地区，在国内有大量中资、台资、港资、美资和韩资企业用户，其中晶片电阻生产设备（如激光调阻机、电阻划片机）市场占有率达70%以上，助力我国打破国外技术垄断，实现了电阻生产的自主可控。 表1光华微电子典型产品 分类 典型产品 介绍 示意图 被动元件生产设备 激光调阻机 先进的现代化片式电阻阻值修调设备，采用无机械接触式的激光加工工艺，具备生产速度快 （80万只/小时），调阻精度高（1%、0.1%）等 优点。 红外激光划片机 0201片式电阻制程中的专用设备，适合小尺寸陶瓷基板的划线制程需求，通过高精密直线定位平台配合高功率激光器，实现高效、稳定的全自动划线。 AS101激光划线机 01005片式电阻制程中的专用设备，适合小尺寸陶瓷基板的划电阻膜层制程需求，通过高精密直线定位平台配合激光器，实现高效、稳定的全自动在油墨上划线。 全自动测阻仪ART-101 用于普通贴片电阻、超低阻贴片电的测量，是和全自动/半自动测量环境。 半导体封装测试设备 RFID电子标签封装设备 生产射频电子标签的关键设备，RFID射频识别技术是一种非接触自动识别技术，该设备能对各种高频天线、超高频天线进行封装，实现芯片与天线间的互连。 芯片前道制程设备 GPS1200晶圆测试探针台 晶圆探针检测的专用设备，满足12英寸、8英寸晶圆的测试需求。 资料来源：奥普光电公告，华西证券研究所 图1公司发展历程 从公司发展历程来看，1998年，为实现片式电阻生产的关键设备的国产替代，长光所受风华高科委托，研制出国内第一台全自动激光调阻机，打破国际垄断，并于2002年共同成立光华微电子。在美国、日本等企业陆续退出国内市场背景下公司产品在中高端市场占有率超过70%，激光调阻机累计发货超过1000台，公司在部分机型实现了100%的国产化率，目前已达到80万粒/小时精密调阻（国际领先水平）。随后，公司进入半导体封装领域，半自动铝丝焊机占据国内80%以上市场。2020年，公司成功研制国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台，能够同时满足12英寸和8英寸Wafer的测试需求，性能指标已经达到或者接近国际水平，打破国外对该设备的垄断情况，实现了我国对于该设备技术的自主可控。目前该设备已实现亚微米级平台定位精度，在中芯国际等7家客户中试并交付27台设备量产使用。 资料来源：光华微电子官网，华西证券研究所 背靠长光所、风华高科，产业资源充沛。股权结构上，长光集团、长光财兴、风光高科分别持有光华微电子28.32%、16.45%、16.45%股份。 1）长光集团是中科院长春光机所专业从事经营性资产运营管理的全资子公司，管理长春光机所参控股企业73家。长春光机所作为科技国家队，在基础研究、工程技术研究等方面具备雄厚的技术底蕴，被誉为中国光学事业的摇篮，多年来，一直对公司各项产品形成持续的技术支撑，极大的加快了攻关效率。 2）长光财兴由吉林省中小企业和民营经济发展基金管理中心(吉林省财政厅政府和社会资本合作中心)（持股83.33%）和长光集团（持股16.67%）共同设立，主要从事长光所科技专利成果转化投资业务。其作为省政府引导基金，在公司的合规化管理等方面给予深入指导和帮助，为公司登陆资本市场打下良好基础 3）风华高科是国内知名被动元件制造商，亦是公司主要客户之一，长期在资金和市场两端对公司的支持，助力公司洞察市场方向，布局新产品，打开新局面； 4）华盈科技、华聚科技、光盈科技、光聚科技为光华微电子持股平台，全员持股的管理模式，有效提升公司凝聚力及核心竞争力。 合资成立新公司，逐步完善技术短板及产业布局。子公司方面，公司近几年通过货币入股、技术入股等方式先后投资了佛山中科灿光微电子设备有限公司、滁州长光高端智能装备有限公司、中科长光精拓智能装备（苏州）有限公司、长春长光辰星软件科技有限公司、至臻精测半导体科技（上海）有限公司，在市场开拓、软件开发、成果转化、售后快速响应等方面提升公司的综合能力。 图2公司股权结构图 资料来源：Wind，华西证券研究所 公司进入高速发展期，新订单充裕。财务数据上，从可获得数据来看，2018年光华微电子营收1.30亿元（同比+64.78%），净利润2372.73万元（同比+21.18%），毛利率为41.3%，净利率为18.3%。据光华微电子官网，“十三五”期间公司实现销售收入 4.8亿元，平均年增幅达28%。据工信部数据，公司不断加大研发投入，2020年研发费投入792.79万元（历史第二位），占销售收入比重为10.55%，创近年来新高。公司现有员工104人，研发人员占比60%以上。据长春日报2022年2月新闻，光华微电子新订单接到“手软”，2021年公司产值超