公司事件点评报告：刻蚀设备持续突破，薄膜+光学检测设备未来可期

证 券 研2023年04月23日 究 报刻蚀设备持续突破，薄膜+光学检测设备未来可 告期 —中微公司（688012.SH）公司事件点评报告 买入(维持)事件 分析师：毛正 S1050521120001 maozheng@cfsc.com.cn 基本数据2023-04-21 当前股价（元） 总市值（亿元）总股本（百万股） 流通股本（百万股） 52周价格范围（元）日均成交额（百万元） 184 1135 617 617 80.15-193.01 1001.79 市场表现 (%)中微公司沪深300 100 80 60 40 20 0 -20 -40 资料来源：Wind，华鑫证券研究 1、《中微公司（688012）：新签订单持续高增，MOCVD设备进入收获期》2022-10-28 2、《华鑫证券*公司报告*中微公司(688012)：ICP刻蚀设备快速放量，多品线研发持续推进布局产业发展 *20220810*范益民》2022-08-11 3、《华鑫证券*公司报告*中微公司 （688012）：半年报业绩预告点评，扣非归母净利润增长亮眼，单季度盈利能力创新高*20220705*范益民》2022-07-05 相关研究 公司研究 中微公司发布2022年年度报告：2022年全年实现营业收入 47.40亿元，同比增长52.50%，实现归母净利润11.70亿元，同比增长15.66%，实现扣非后归母净利润9.19亿元，同比增长183.44%。 投资要点 ▌营收加速增长，刻蚀设备市占率不断提高 受益于半导体设备的国产化进程及公司产品的竞争优势，2022年实现营业收入47.40亿元，同比增长52.50%，十年来保持35%以上增长率；扣非后归母净利润9.19亿元，同比增长183.44%；新签订单达63.2亿元，同比增长53.0%。营收增长主要系公司等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，市场占有率不断提高，在国际最先进的5nm芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售，主打产品MOCVD设备在新一代Mini-LED产业化中，在蓝绿光LED生产线上取得了绝对领先的地位。盈利能力方面，2022年公司毛利率45.74%（同比+2.38pct），扣非净利率19.40% （同比+0.56pct），整体盈利水平持续提高。费用方面，2022年公司实现销售、管理、财务费用率分别为8.62%（同比-0.90pct）、17.75%（同比-1.56pct）、-3.19%（-0.91pct），费用率均有下降。研发费用方面，2022年全年研发费用7.75亿元，同比增长30.11%，费用率为19.59% （同比-3.82pct），研发费用率高于科创板均值。 ▌CCP&ICP&MOCVD核心设备不断突破，看好未来市场份额持续提升 公司出货的核心设备包括CCP、ICP、MOCVD设备，均取得较大进展。CCP刻蚀设备：2022年共生产付运475个CCP刻蚀反应腔，同比+59.40%。双反应台刻蚀机在国际最先进的5nm芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。刻蚀设备不仅在3DNAND的生产线被广泛应用，还成功的通过了多个动态存储器的工艺验证。逻辑器件的一体化大马士革刻蚀工艺和存储器件的极高深宽比刻蚀技术并取得良好进展，即将进入市场。ICP刻蚀设备：2022年推出高深宽比结构刻蚀和高均匀性刻蚀两种ICP设备，在全面满足55m，4n0nm和28nm逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺的基础上，拓展了在DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片 制造中的可刻蚀应用范围。在超过20个客户的逻辑、DRAM和3DNAND等器件的生产线上进行超过100多个ICP刻蚀工艺的量产。MOCVD设备：截至2022年累计MOCVD产品出货量超过500腔，在氮化镓基MOCVD设备和Mini-LED显示外延片生产设备处于国际领先，针对Micro-LED应用的专用MOCVD设备正开发中，启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发。公司在CCP、ICP、MOCVD设备中不断突破，看好未来市场份额进一步加大。 ▌薄膜设备&光学检测设备进展喜人，期待未来持续放量突破 公司布局的薄膜设备和光学检测设备进展喜人。薄膜设备：首台CVD钨设备付运到关键存储客户端验证评估，计划研发更多的先进CVD和ALD设备，锗硅EPI设备已进入样机的设计、制造和调试阶段，预计薄膜设备的覆盖率将进一步增加。光学检测设备：公司投资睿励仪器布局光学检测设备，2022年增资后持股34.75%，睿励仪器是国内少数几家进入国 际领先的12英寸生产线的企业，是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。根据Gartner数据，薄膜沉积、检测设备分别是市场规模排名第二和第四的半导体设备，2022年市场规模分别为1540亿元和825亿元。公司在薄膜设备和光学检测设备两方面的布局进展喜人，所处市场空间广阔，未来有望伴随国产替代加速化演进，实现持续放量突破。 ▌盈利预测 预测公司2023-2025年收入分别为61.69、79.68、98.20亿元，EPS分别为2.35、2.92、3.51元，当前股价对应PE分别为78.2、63.1、52.4倍，维持“买入”投资评级。 ▌风险提示 半导体市场需求不及预期；下游晶圆制造产能扩充不及预期风险；零部件短缺风险；新设备研发进度不及预期风险等。 预测指标 2022A 2023E 2024E 2025E 主营收入（百万元） 4,740 6,169 7,968 9,820 增长率（%） 52.5% 30.2% 29.2% 23.2% 归母净利润（百万元） 1,170 1,450 1,797 2,165 增长率（%） 15.7% 23.9% 24.0% 20.5% 摊薄每股收益（元） 1.90 2.35 2.92 3.51 ROE（%） 7.6% 8.7% 9.9% 10.9% 资料来源：Wind，华鑫证券研究 公司盈利预测（百万元） 资产负债表 2022A 2023E 2024E 2025E 利润表 2022A 2023E 2024E 2025E 流动资产: 营业收入 4,740 6,169 7,968 9,820 现金及现金等价物 7,326 8,808 10,166 11,813 营业成本 2,572 3,337 4,278 5,231 应收款 740 930 1,201 1,480 营业税金及附加 15 20 25 31 存货 3,402 3,678 4,716 5,767 销售费用 409 524 669 815 其他流动资产 3,188 3,260 3,354 3,450 管理费用 236 308 390 471 流动资产合计 14,655 16,676 19,436 22,510 财务费用 -151 -77 -92 -109 非流动资产: 研发费用 605 802 1,068 1,355 金融类资产 2,939 2,939 2,939 2,939 费用合计 1,099 1,557 2,036 2,532 固定资产 336 369 410 460 资产减值损失 -5 -5 -5 -5 在建工程 1,000 1,000 1,000 1,000 公允价值变动 63 150 150 150 无形资产 590 581 571 562 投资收益 74 80 80 80 长期股权投资 979 1,029 1,079 1,129 营业利润 1,263 1,565 1,939 2,334 其他非流动资产 2,474 2,474 2,474 2,474 加:营业外收入 0 0 0 0 非流动资产合计 5,380 5,453 5,535 5,626 减:营业外支出 5 5 5 5 资产总计 20,035 22,130 24,971 28,136 利润总额 1,259 1,560 1,934 2,329 流动负债: 所得税费用 91 112 139 168 短期借款 0 0 0 0 净利润 1,168 1,447 1,795 2,162 应付账款、票据 960 1,379 1,768 2,163 少数股东损益 -2 -2 -3 -4 其他流动负债 764 922 1,180 1,441 归母净利润 1,170 1,450 1,797 2,165 流动负债合计 3,919 4,836 6,223 7,639 主要财务指标 2022A 2023E 2024E 2025E 成长性营业收入增长率 52.5% 30.2% 29.2% 23.2% 归母净利润增长率 15.7% 23.9% 24.0% 20.5% 盈利能力毛利率 45.7% 45.9% 46.3% 46.7% 四项费用/营收 23.2% 25.2% 25.5% 25.8% 净利率 24.6% 23.5% 22.5% 22.0% ROE 7.6% 8.7% 9.9% 10.9% 偿债能力资产负债率 22.7% 24.8% 27.6% 29.6% 净利润 1168 1447 1795 2162 营运能力 少数股东权益 -2 -2 -3 -4 总资产周转率 0.2 0.3 0.3 0.3 折旧摊销 118 46 47 49 应收账款周转率 6.4 6.6 6.6 6.6 公允价值变动 63 150 150 150 存货周转率 0.8 0.9 0.9 0.9 营运资金变动 -730 378 -16 -11 每股数据(元/股) 经营活动现金净流量 618 2020 1974 2347 EPS 1.90 2.35 2.92 3.51 投资活动现金净流量 -2887 -83 -92 -99 P/E 96.9 78.2 63.1 52.4 筹资活动现金净流量 3752 -290 -359 -433 P/S 23.9 18.4 14.2 11.5 现金流量净额 1,482 1,647 1,523 1,814 P/B 7.3 6.8 6.3 5.7 非流动负债:长期借款 500 500 500 500 其他非流动负债 133 153 173 193 非流动负债合计 633 653 673 693 负债合计 4,552 5,490 6,896 8,332 所有者权益股本 616 616 616 616 股东权益 15,483 16,640 18,075 19,804 负债和所有者权益 20,035 22,130 24,971 28,136 现金流量表 2022A 2023E 2024E 2025E 资料来源：Wind、华鑫证券研究 ▌电子组介绍 毛正：复旦大学材料学硕士，三年美国半导体上市公司工作经验，曾参与全球领先半导体厂商先进制程项目，五年商品证券投研经验，2018-2020年就职于国元证券研究所担任电子行业分析师，内核组科技行业专家；2020-2021年就职于新时代证券研究所担任电子行业首席分析师，iFind2020行业最具人气分 析师，东方财富2021最佳分析师第二名；东方财富2022最佳新锐分析师； 2021年加入华鑫证券研究所担任电子行业首席分析师。 刘煜：新加坡南洋理工大学集成电路设计专业硕士，曾于中科寒武纪任芯片设计工程师，2021年加入华鑫证券研究所，从事电子行业研究。 赵心怡：香港中文大学电子工程学士，香港科技大学硕士，电子与金融复合背景，2022年加入华鑫证券研究所，从事电子行业研究。 ▌证券分析师承诺 本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度，独立、客观地出具本报告。本报告清晰准确地反映了本人的研究观点。本人不曾因，不因，也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿。 ▌证券投资评级说明 股票投资评级说明： 投资建议 预测个股相对同期证券市场代表性指数涨幅 1 买入 >20% 2 增持 10%—20% 3 中性 -10%—10% 4 卖出 <-10% 行业投资评级说明：