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本篇研报主要关注射频电源行业,它是等离子体加工设备的核心零部件,对等离子体加工设备的加工能力和加工效果影响很大。射频电源主要被美商MKS、AE垄断,国产化率几乎为零。但是,中美贸易摩擦催化射频电源国产替代,英杰电气、恒运昌研发进度领先。预计2025年设备国产化率有望超过50%,对应国产射频电源空间将超过30亿元,验证进度领先的射频电源企业有望率先受益。相关公司包括英杰电气、恒运昌(未上市)、武汉凡谷、神舟半导体(未上市)等。