新股系列之六：中巨芯-国产高端湿电子化学品行业领先者

1 华安研究•拓展投资价值 华安证券研究所 证券研究报告 新股系列之六：中巨芯 国产高端湿电子化学品行业领先者 首席分析师：王强峰S0010522110002 联系人：刘天文S0010122070031 2022年12月29日 华安证券研究所 核心观点 华安研究•拓展投资价值 湿电子化学品是微电子行业核心材料，超净高纯和复配工艺是核心。湿电子化学品细分种类众多，按照组成成分不同可分 为通用型和功能型，通用型一般指超净高纯试剂，其用量较大，核心是超净高纯。功能型一般指通过复配方法制备的各种 配方类化学品，其单位价值更高，核心是复配工艺及参数。SEMI将湿电子化学品分为5个等级，G5级技术壁垒最高。湿 电子化学品主要用于半导体、面板和光伏行业，其中半导体级技术壁垒最高，盈利能力最强，对应SEMI分类中G4-G5级。 G5级湿电子化学品需求旺盛，国内企业细分领域逐渐实现突破，国产替代趋势形成。2021年我国集成电路市场规模超万亿人民币，湿电子化学品在国产化进程加速的背景下市场空间广阔。根据ITTBANK的统计数据，截止至2022年一季度，我国已经投产的12英寸晶圆生产线合计月装机量116.70万片，8英寸晶圆生产线合计月装机量约97.85万片。从在建及规 划的产能来看，12英寸晶圆月产能达343.33万片，8英寸晶圆产线月产能仅107.25万片，未来12英寸大晶圆将成为行业主流。结合上述数据。我们测算出12英寸晶圆湿电子化学品消耗量在2026年左右将达到132万吨，是现有产能消耗量的3.9倍。而12英寸晶圆加工使用的湿电子化学品基本为G5级，因此未来G5级高端湿电子化学品的需求将显著放量。从供给端来看，虽然目前我国高端湿电子化学品国产化率较低，但国内企业奋起直追，近年来各企业在相应的细分领域逐渐实现突破，如江化微的硫酸、氨水、盐酸等产品已经突破至G5级，中巨芯的氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸等也已经达到G5级。未来随着我国企业不断实现技术突破，我国高端湿电子化学品有望真正完成国产替代，实现从技术到产业化的转移。 中巨芯：国产高端湿电子化学品细分领域领先者。公司深耕湿电子化学品行业，其中电子级氢氟酸/硫酸/硝酸均达到G5级，电子级盐酸/氨水/氟化铵以及缓冲氧化物刻蚀液可达到G4级，产品种类丰富且品质在行业领先，目前已与SK海力士、台积电、中芯等多家知名的半导体企业建立合作关系。同时，公司拟上市募集资金投资建设19.6万吨超纯电子化学品项目 （一期），届时公司产能规模将进一步扩大，技术优势+规模优势助力公司快速抢占高端湿电子化学品行业市场份额。 建议关注湿电子化学品及电子特气行业细分领域领先者：中巨芯。 敬请参阅末页重要声明及评级说明华安证券研究所 风险提示：公司尚未盈利的风险；客户认证风险；公司主营业务整体毛利率尚低于同行业可比公司的风险；原材料价格波动风险；功能电子湿化学品开发与市场拓展风险。 CONTENTS 01 湿电子化学品：微电子行业核心材料，技术壁垒高铸 02 需求：半导体级需求旺盛，国产替代空间大 03 供给：国内高端产能不足，细分领域逐渐实现突破 04 中巨芯：国产高端湿电子化学品细分领域领先者 湿电子化学品 一、微电子行业核心材料，技术壁垒高铸 湿电子化学品细分种类众多。按照组成成分不同可以将其分为通用湿电子化学品和功能性湿电子化学品。通用湿电子化学品一般特指超净高纯试剂，包括酸类如硫酸、盐酸，碱类如氨水、氢氧化钾，醇类如甲醇、异丁醇等，功能湿电子化学品一般特指通过复配方法制备的各种配方类化学品，如光刻胶配套试剂中的显影液、蚀刻液、剥离液、清洗液等。 通用型使用量大，功能型单位价值高。从使用量来看，通用湿电子化学品远超功能湿电子化学品，主要是由于超净高纯试 剂主要是用于清洗过程，使用范围覆盖整个晶圆且需要多次使用，因此用量较大。从单位试剂价值来看，功能湿电子化学 品在超净和高纯的基础上要注重试剂的功能性，研发难度更高，因此其单位价值远高于通用湿电子化学品。 1.1湿电子化学品种类丰富，通用型需求占比大 图表1湿电子化学品按组分分类图表2通用湿电子化学品需求占比大 细分品种 需求量：万吨 需求占比：% 需求合计：万吨 合计占比：% 通用湿电子化学品 过氧化氢 19.76 16.70% 104.35 88.20% 氢氟酸 18.93 16.00% 硫酸 18.1 15.30% 硝酸 16.92 14.30% 磷酸 10.29 8.70% 盐酸 5.68 4.80% 氢氧化钾 4.5 3.80% 氨水 4.38 3.70% 异丙酮 3.31 2.80% 醋酸 2.25 1.90% 其他 0.24 0.20% 功能湿电子化学品 显影液（半导体用） 3.79 3.20% 13.96 11.80% 蚀刻液（半导体用） 3.19 2.70% 显影液（液晶面板用） 2.6 2.20% 剥离液（半导体用） 1.89 1.60% 缓冲蚀刻液（BOE） 1.42 1.20% 其他 1.06 0.90% 资料来源：中国电子材料行业协会，前瞻产业研究院，华安证券研究所资料来源：中国电子材料行业协会，前瞻产业研究院，华安证券研究所 超净高纯是通用湿电子化学品核心要素。通用湿电子化学品主要作用为清洗剂被广泛应用于微电子、光电子湿法工艺中，其核心要素为超高洁净度和超低杂质含量，因而它对原料、纯化方法、配方工艺、容器、生产设备、环境控制、测试和运输设备等都有极为严格的要求，控制湿电子化学品中各种杂质的浓度成为考量湿电子化学品性能一项非常重要的指标。 复配工艺是功能湿电子化学品核心要素。功能性湿电子化学品一般是建立在通用性湿电子化学品超净高纯的基础上，通过 各类不同的复配工艺来达到如蚀刻、显影等不同的效果，因此不同的原料和配方是功能性湿电子化学品的核心要素，其更 高的技术壁垒也赋予其更高的单位价值和毛利率。 1.2超净高纯和复配工艺是湿电子化学品核心 图表3杂质含量对湿电子化学品性能影响大图表4湿电子化学制备工艺复杂 杂质种类 杂质的危害 Au、Pt、Fe、Ni、Cu 硅片中的快扩散物质、也是俘获中心，影响元器件的可靠性和阈值电压，导致低击穿和缺陷 碱金属,尤其Na、K 可造成元器件漏电，造成低击穿 非金属离子F-、Cl- 影响化学气相淀积（CVD）工艺和钝化工艺，导致外延片层错增加 P，As，Sb，B，Al等Ⅱ-Ⅵ组元素 属于硅片中的浅能级杂质，有扩散作用，可影响电子和空穴的数量。P、As、Sb是N型杂质，当过量时能使P型硅片反型；B、Al是P型杂质，若过量也会反型 固体颗粒 造成光刻缺陷，氧化层不平整，影响制版质量，影响等离子刻蚀工艺 细菌 水和化学试剂中的细菌能造成颗粒型缺陷和污染，细菌分解的有机酸会使水的电阻率降低 硅酸根 水和化学试剂中的硅酸根会使磷硅玻璃起雾，阈值电压变化。在等离子刻蚀工艺中SiO2会造成颗粒污染形成缺陷 总有机碳(TOC) 水和试剂中的TOC影响栅氧化的击穿电压，造成水雾，使氧化层厚度不均 细分技术种类 使用材料或方法 制备工艺技术 / 蒸馏、亚沸蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏、低温蒸馏、升华、气体吸收、树脂交换、膜处理等技术 分析测试技术 颗粒分析测试技术 激光光散射法 金属杂质分析测试技术 发射光谱法、原子吸收分光光度法、等离子发射光谱法等 非金属杂质分析测试技术 离子色谱法 包装技术 / 高密度聚乙烯(HDPE)、聚四氟乙烯(PTFE)、专业运输槽车等 资料来源：江化微招股说明书，华安证券研究所资料来源：赛瑞研究，新材料在线，华安证券研究所 SEMI指标 G1 G2 G3 G4 G5 金属杂质/(µg/L) ≤100 ≤10 ≤1 ≤0.1 ≤0.01 控制粒径/µm ≥1.0 ≥0.5 ≥0.5 ≥0.02 * 颗粒个数/(个/mL) ≤25 ≤25 ≤5 供需双方协定 * 适应IC线宽范围/µm >1.2 0.8-1.2 0.2-0.6 0.09-0.2 <0.09 应用领域 分立器件 平板显示、分立器件 平板显示、集成电路 集成电路 高端集成电路 应用环节 行业特点 盈利能力 半导体行业 主要用于半导体集成电路前段的晶圆制造（提纯、清洗、图层、显影、时刻）及后端的封装测试（清洗、溅射、黄光、蚀刻）等环节 湿电子化学品用量大，技术水平要求高，且随着晶圆尺寸的增大湿电子化学品用量增大 最强 平板显示行业 主要用于平板显示制造工艺环节的薄膜制程清洗、光刻、显影、蚀刻等工艺环节 湿电子化学品用量较大，技术水平要求较高，尤其是高世代线产品 较强 太阳能电池板行业 主要用于太阳能电池板制造工艺的清洗制绒、扩散制P-N结、清洗、蚀刻、去磷硅玻璃等环节 湿电子化学用量适中，技术水平要求相对较低，行业竞争激烈 一般 湿电子化学品分为5个等级，G5级技术壁垒最高。为了区分不同等级的湿电子化学品，国际半导体设备和材料组织 （SEMI）通过湿电子化学品中金属杂质含量、控制粒径范围和颗粒个数等各项指标将湿电子化学品划分为G1-G5五个等 级，其中G5等级的湿电子化学品要求最高，G1等级的湿电子化学品要求最低。 湿电子化学品用途广泛，下游需求旺盛。按照下游应用领域的不同，湿电子化学品可分为半导体、面板和太阳能光伏用湿 电子化学品，其中半导体级技术壁垒最高，盈利能力最强，对应SEMI分类中的G4-G5级。尤其是随着晶圆厂新增产能不 断落地叠加晶圆尺寸扩大到12英寸，未来G5级湿电子化学品需求将快速增长。 1.3湿电子化学品下游需求广泛，半导体级技术壁垒高铸 图表5湿电子化学品技术指标及分类标准图表6湿电子化学品按下游需求分类 资料来源：SEMI，中巨芯招股说明书，华安证券研究所资料来源：CNKI，新材料在线，华安证券研究所 图表7全球湿电子化学品市场规模（亿美元）图表8我国湿电子化学品市场规模（亿元） 全球湿电子化学品市场规模（亿美元） 60 50 40 30 20 10 0 2018201920202021 140 120 100 80 60 40 20 0 我国湿电子化学品市场规模（亿元） 2018201920202021 1.4湿电子化学品市场规模持续增长，未来发展空间广阔 2021年全球湿电子化学品市场规模达54.28亿美元。根据安集科技公告，2021年全球湿电子化学品市场规模达到了54.28 亿美元，相对于2018年50.83亿美元增长6.79%，2018-2021年均复合增速为2.21%。 2021年我国湿电子化学品市场规模达130.94亿元，3年均复合增速远超全球。根据智研咨询的统计数据，2021年我国湿电子化学品市场规模达到了130.94亿元，相比于2018年86.8亿元增长50.85%，2018-2021年均复合增速为14.69%，远超同 期全球湿电子化学品市场增速2.21%。随着我国集成电路、显示面板和光伏行业的快速扩张和持续的产能转移，我国湿电 子化学品需求量将维持快速增长态势，未来发展空间广阔。 资料来源：华经产业研究院，安集科技公告，华安证券研究所 资料来源：智研咨询，华安证券研究所 需求 二、半导体级需求旺盛，国产替代空间大 从需求量来看，集成电路/面板/光伏三分天下。根据中国电子材料行业协会的数据，2021年我国湿电子化学品总需求为213万吨，其中集成电路/面板/光伏行业的需求分别为70万吨、78万吨和65万吨，占比分别为33%、37%和30%，呈现出三分天下的格局。 从市场规模来看，集成电路和面板行业远超光伏。根据中国电子材料行业协会的数据，2021年我国湿电子化学品市场规 模为131亿元，其中集成电路/面板/光伏行业的市场规模分别为52亿元、62亿元和17亿元，占比分别为40%、47%和13%。 集成电路和面板行业市场规模远超光伏，体现出集成电路和面板用湿电子化学品更高的附加值。 2.1集成电路/面板/光伏是拉动湿电