已有产品国产化空间大，新品有望逐步放量

芯源微公司Q3营收符合预期，利润水平超预期。前三季度实现营收近9亿元，同比增64%，实现归母净利润1.4亿元，同比增169%。其中第三季度公司实现营业收入3.9亿元，同比增100%，实现归母净利润0.74亿元，同比增309%。前道涂胶显影机I-line、KrF产品实现批量销售，ArFi产品有望逐步贡献成长新动能。前道清洗机物理清洗机达到国际先进水平，化学清洗机研发进展顺利。公司持续完善销售、技术服务网络，业务拓展有望继续加速。我们预测公司22-24年归母净利润分别为1.86、2.45、3.75亿元，给予325.82元目标价，维持买入评级。