芯源微公司Q3营收符合预期,利润水平超预期。前三季度实现营收近9亿元,同比增64%,实现归母净利润1.4亿元,同比增169%。其中第三季度公司实现营业收入3.9亿元,同比增100%,实现归母净利润0.74亿元,同比增309%。前道涂胶显影机I-line、KrF产品实现批量销售,ArFi产品有望逐步贡献成长新动能。前道清洗机物理清洗机达到国际先进水平,化学清洗机研发进展顺利。公司持续完善销售、技术服务网络,业务拓展有望继续加速。我们预测公司22-24年归母净利润分别为1.86、2.45、3.75亿元,给予325.82元目标价,维持买入评级。