半导体设备行业2022年中报总结：业绩兑现高速增长，继续看好设备这条投资主线

证券研究报告行业研究 半导体设备行业2022年中报总结： 业绩兑现高速增长，继续看好设备这条投资主线 证券分析师：周尔双 执业证书编号：S0600515110002 zhouersh@dwzq.com.cn 证券分析师：黄瑞连 执业证书编号：S0600520080001huangrl@dwzq.com.cn 2022年9月6日 风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。 2 收入端延续高速增长态势，扣非后盈利水平大幅提升。我们选取11家半导体设备重点标的【拓荆科技-U】【长川科技】【芯源微】【华海清科】【至纯科技】【北方华创】【中微公司】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】。1）收入端，2022H1十一家半导体设备企业合计实现营收144亿元，同比+42%，若剔除精测电子和万业企业，营收合计131亿元，同比+59%，延续高速增长。2）利润端，2022H1十一家半导体设备企业扣非归母净利润合计22.15亿元，同比+140%，若剔除精测电子和万业企业，扣非归母净利润合计21.8亿元 ，同比+270%，增速显著高于收入端。2022H1十一家半导体设备企业销售净利率和扣非归母净利率为17.9%和15.4%，同比+0.7和+6.3pct，真实盈利水平大幅提升。进一步分析：�毛利端，2022H1十一家半导体设备企业销售毛利率为47.3%，同比+3.1pct，延续持续上升态势；②费用端，2022H1十一家半导体设备企业期间费用率为29%，同比-2.8pct，规模效应持续体现。3）截至2022H1末，十一家半导体设备企业合同负债&存货合计达到120、248亿元，分别较2021年底增长27%、34%，继续创历史新高，充足订单将保障短期业绩继续高增长。 外部事件加速设备国产替代进程，半导体设备是景气度最好环节。智能手机、PC销量持续下滑，相关企业库存仍处在历史较高水平，我们认为全球半导体仍处在下行周期，拐点尚未出现。对于半导体设备，市场普遍担心半导体景气度下行会导致下游客户资本开支下降。1）相比IC设计、封测环节，晶圆制造仍是我国半导体产业 短板环节，中国大陆仍将是未来全球晶圆扩产中心，下游客户资本开支仍有保障。据我们不完全统计，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂未来合计扩产产能将过100万片/月。8月27号中芯国际公告，拟在天津新建12英寸晶圆代工生产线项目，规划产能10万片/月，可以进一步验证，本土半导体设备行业景气度有望延续。2）国产化率持续提升是当前半导体设备投资最大逻辑。据我们不完全统计，2022年1-7月份5家晶圆 厂半导体设备整体国产化率为36%，薄膜沉积、涂胶显影、量测/检测设备等环节仍处于国产化起步阶段，中长期来看，本土半导体设备企业的业绩驱动力更多来自于市场份额提升。尤其在《芯片与科学法案》等外部事件催化下，本土晶圆厂加速推进设备国产替代进程，使得设备环节具备更大业绩增长弹性。 投资建议：下游需求旺盛，叠加国产替代驱动，2022年本土半导体设备龙头业绩有望延续高速增长。重点推荐 【长川科技】、【北方华创】、【拓荆科技-U】、【芯源微】、【华海清科】、【至纯科技】、【中微公司】、 【华峰测控】、【盛美上海】。建议关注【万业企业】、【精测电子】。 3 表：部分半导体设备行业重点公司2022H1主要业绩情况 营业收入（百万元） 同比（%） 归母净利润（百万元） 同比（%） 销售净利率（%） 销售毛利率（%） 北方华创 5444 51% 755 143% 16% 46% 中微公司 1972 47% 468 18% 24% 45% 盛美上海 1096 75% 237 164% 22% 47% 拓荆科技-U 523 365% 108 - 20% 47% 华海清科 717 144% 186 163% 26% 47% 芯源微 504 44% 69 98% 14% 40% 长川科技 1188 77% 245 174% 21% 56% 华峰测控 541 67% 271 82% 50% 79% 至纯科技 1120 22% 81 -46% 8% 36% 万业企业 166 -73% 28 -90% 15% 61% 精测电子 1105 -14% 29 -80% 0% 44% 资料来源：Wind，东吴证券研究所 2022H1十一家半导体设备企业合计实现营业收入144亿元，同比+42%。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业营业收入合计131亿元，同比+59%。在疫情影响设备交付、客户验证的基础上，收入端仍实现高速增长，表现十分亮眼。 分环节来看，薄膜沉积设备、CMP设备、测试设备表现十分出色。1）2022H1拓荆科技、华海清科营收增速分别为365%和144%，主要系2021年在手订单充足，2022H1设备加速交付确认收入。2）2022H1长川科技、华峰测控营收增速分别为77%和67%，一方面受益于2021年封测行业景气度较高，另一方面系积极进行新品拓展，长川科技数字测试机、三温分选机快速放量，华峰测控STS8300快速放量、IC设计客户顺利拓展。3）2022H1盛美上海营收同比增速达到75%，主要受益于ECP&炉管设备快速放量。4）2022H1精测电子、万业企业营收同比下滑，主要系传统主业拖累，二者半导体设备收入占比较低。 图：2022H1半导体设备行业营业收入144亿元，同比+42%图：2022H1拓荆科技、华海清科营收同比增速领跑行业 300 250 200 150 100 50 0 2016 营业收入（亿元）同比（%） 246 161 129 144 110 66 75 201720182019202020212022H1 60% 2022H1营收同比（%） 400% 350% 300% 250% 200% 150% 100% 50% 0% -50% -100% 365% 144% 77%75% 67% 51%47%44% 22% -14% -73% 50% 40% 30% 20% 10% 0% 资料来源：Wind，东吴证券研究所 资料来源：Wind，东吴证券研究所 4 2022H1十一家半导体设备企业合计归母净利润24.8亿元，同比+46%，略高于收入增速，延续高速增长 。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业归母净利润合计24.2亿元，同比+90%。 分企业来看：1）2022H1长川科技、盛美上海、华海清科、北方华创归母净利润同比增速均超过100%，领跑半导体设备行业，利润端增速大幅领先收入端，盈利水平明显提升。此外，2022H1芯源微、华峰测控利润端表现同样出色，高于收入端增速。2）2022H1拓荆科技实现归母净利润1.08亿元，扭亏为盈 （2021H1为-0.2亿元），盈利水平大幅改善。3）2022H1至纯科技归母净利润同比-46%，出现大幅下滑 ，主要系2022H1政府补助、公允价值变动净收益同比大幅下降。 图：2022H1半导体设备行业归母净利润25亿元，同比+45% 归母净利润（亿元）同比（%） 图：2022H1长川科技、盛美上海、华海清科等利润端表现突出 2022H1归母净利润同比（%） 25 24.8 22 17 16 8 4542 40 35 30 25 20 15 10 5 0 2016201720182019202020212022H1 200% 150% 100% 50% 0% -50% 200% 150% 100% 50% 0% -50% -100% -150% 174%164%163% 143% 98% 82% 18% -46% -80% -90% 5 资料来源：Wind，东吴证券研究所资料来源：Wind，东吴证券研究所 2022H1十一家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润22.15亿元，同比+140%。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业扣非归母净利润合计21.8亿元，同比+270%。扣非利润端增速显著高于营业收入、归母净利润，侧面反映出行业真实盈利水平大幅提升。 分企业来看，2022H1大部分半导体设备企业扣非归母净利润增速均高于归母净利润增速，其中中微公司、盛美上海、华海清科扣非归母净利润同比增速分别达到615%、427%和316%，大幅超过归母净利润增速（18%、164%、163%），真实盈利水平大幅提升，主要在于非经常性损益、公允价值变动净收益等普遍出现明显下降，压制了利润端表现。特别地，2022H1拓荆科技扣非归母净利润为0.49亿元，同比 扭亏为盈（2021H1为-0.68亿元），扣非后利润端首次实现盈利。 图：2022H1半导体设备行业扣非归母净利润同比+133%图：2022H1中微公司、盛美上海等扣非归母净利润同比大幅增长 扣非归母净利润（亿元）同比（%） 25.61 22.15 13.93 11.0910.74 7.98 2.54 30 25 20 15 10 5 0 2016201720182019202020212022H1 250% 200% 150% 100% 50% 0% -50% 700% 600% 500% 400% 300% 200% 100% 0% -100% -200% 615% 427% 2022H1扣非归母净利润同比（%） 316% 203%187% 128%122% 84% -88%-94% 资料来源：Wind，东吴证券研究所 资料来源：Wind，东吴证券研究所 6 2022H1十一家半导体设备企业销售净利率为17.9%，同比+0.7pct，略有增长。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业销售净利率为19.4%，同比+3.2pct，明显提升。 分企业来看，1）2022H1华峰测控销售净利率达到50%，同比+4pct，领跑本土半导体设备企业；2） 2022H1华海清科、长川科技、盛美上海、拓荆科技、北方华创、芯源微销售净利率分别同比+2、+7 、+7、+39、+6和+4pct，均同时受益于产品结构优化、毛利率提升，以及规模效应下期间费用率下降。3）2022H1中微公司和至纯科技销售净利率有所下降，分别同比-6、-8pct，主要受非经常性损益 （政府补助减少）和公允价值变动收益（持有股票价格波动）影响。 图：2022H1半导体设备行业销售净利率为18%，同比+0.7pct图：2022H1华峰测控销售净利率继续领跑半导体设备行业 35% 30% 25% 20% 15% 10% 5% 0% 20162017 销售净利率（%） 29.8% 16.3% 15.6% 17.4% 17.9% 12.8% 12.5% 20182019202020212022H1 60% 50% 40% 30% 20% 10% 0% -10% -20% -30% 50% 2021H1 26%24%22%21% 20% 2022H1 16%15%14% 8% 0% 资料来源：Wind，东吴证券研究所 资料来源：Wind，东吴证券研究所 7 2022H1十一家半导体设备企业扣非归母净利率为15.4%，同比+6.3pct。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业扣非归母净利率为16.7%，同比+9.5pct，明显提升。 分企业来看，1）2022H1华峰测控扣非归母净利率为49%，同比+5pct，表现优异，远超其他半导体设备同行；2）2022H1拓荆科技、盛美上海、中微公司扣非归母净利率分别同比+70、+16、+18pct，增幅领跑半导体设备行业。3）2022H1华海清科、长川科技、芯源微、北方华创、至纯科技扣非归母净利率同样明显改善，分别同比+8、+8、+5、+6、+4pct。4）2022H1万业企业、精测电子扣非归母净利 率分别为15%、1%，分别同比-18、-10pct，