半导体设备月报（2022-07）：万业企业旗下公司取得多类设备突破

7月半导体设备中标量环比提升。我们选择部分晶圆厂以跟踪半导体设备招标和中标情况，样本主要包括华虹半导体、上海华力、燕东微、晶合集成、积塔半导体、长江存储、晋华集成等（详细样本列表见首节末），数据来源为机电产品招标投标电子交易平台。2022年7月，我们统计的样本晶圆厂共招标57台半导体设备，披露中标91台半导体设备，较6月的招标和中标量有所上升。 积塔半导体继续扩产带动其公布较多设备中标数。从中标数据来看，7月积塔半导体和华虹无锡是主要贡献设备招标的晶圆厂，其中积塔半导体在其特色工艺生产线项目的扩产带动下，各类设备均有公布中标，而华虹无锡释放了大量扩散炉设备的中标。除此之外，燕东微电子、上海华虹宏力和晋华集成也有释放少量设备中标。 万业旗下设备公司取得多类设备中标突破。7月部分晶圆厂公布的薄膜沉积和刻蚀设备中标中，嘉芯迦能、嘉芯闳扬取得较好表现，其中嘉芯迦能中标7台薄膜沉积设备、5台刻蚀设备，而嘉芯闳扬中标5台刻蚀设备。除此之外，嘉芯闳扬还中标4台快速热处理设备。嘉芯迦能、嘉芯闳扬均是万业企业旗下的设备公司，而7月中标情况标志着万业企业的半导体设备平台化布局逐步成形。清洗设备领域，中电科四十五所中标燕东微电子的3台清洗设备。涂胶显影领域，芯源微和TEL各中标1台设备。 ASML营收稳健增长，在手订单近两年新高。ASML在2022年Q2季度实现营收54.3亿欧元（高于Q1时预期的51~53亿欧元），同比增长35%，重拾较快增速。 Q2，ASML实现毛利率49.1%，处于此前预期的范围之内（49%~50%）。Q2 EUV出货量达到12台，环比明显恢复，带动整体收入较好增长。 投资建议：建议关注设备平台型公司北方华创、中微公司等，以及细分赛道领先公司，包括拓荆科技、华海清科、芯源微、盛美上海等。 风险提示：下游需求不及预期、行业竞争加剧、贸易摩擦风险。 1.半导体设备招标跟踪：万业企业旗下公司中标多类设备 7月半导体设备中标量环比提升。我们选择部分晶圆厂以跟踪半导体设备招标和中标情况，样本主要包括华虹半导体、上海华力、燕东微、晶合集成、积塔半导体、长江存储、晋华集成等（详细样本列表见首节末），数据来源为机电产品招标投标电子交易平台。2022年7月，我们统计的样本晶圆厂共招标57台半导体设备，披露中标91台半导体设备，较6月的招标和中标量有所上升。 图1：半导体设备招标和中标数量跟踪（单位：台） 积塔半导体继续扩产带动其公布较多设备中标数。从中标数据来看，7月积塔半导体和华虹无锡是主要贡献设备招标的晶圆厂，其中积塔半导体在其特色工艺生产线项目的扩产带动下，各类设备均有公布中标，而华虹无锡释放了大量扩散炉设备的中标。除此之外，燕东微电子、上海华虹宏力和晋华集成也有释放少量设备中标。 万业旗下设备公司取得多类设备中标突破。7月部分晶圆厂公布的薄膜沉积和刻蚀设备中标中，嘉芯迦能、嘉芯闳扬取得较好表现，其中嘉芯迦能中标7台薄膜沉积设备、5台刻蚀设备，而嘉芯闳扬中标5台刻蚀设备。除此之外，嘉芯闳扬还中标4台快速热处理设备。嘉芯迦能、嘉芯闳扬均是万业企业旗下的设备公司，而7月中标情况标志着万业企业的半导体设备平台化布局逐步成形。清洗设备领域，中电科四十五所中标燕东微电子的3台清洗设备。涂胶显影领域，芯源微和TEL各中标1台设备。 图2：7月部分晶圆厂的主要设备中标厂商统计（台） 图3：嘉芯迦能、嘉芯闳扬股权结构 上半年部分成熟制程产线扩产带动设备国产化率提升。从目前的半导体设备国产化率情况来看，2022年上半年中标设备国产化率为31%，较2021年的21%有较大提升。由于考虑到今年上半年主要招标厂商为积塔半导体、华虹无锡等偏成熟制程的晶圆厂，且国产设备主要应用于成熟制程，所以设备国产化率较去年有明显提升。从细分设备来看，今年上半年中国产化率高于30%的有去胶、清洗、刻蚀、CMP，国产化率在10%~30%的有涂胶显影、薄膜沉积、热处理、量测，国产化率低于10%的有离子注入、光刻设备。 图4：半导体设备中标厂商的国产化率 图5：不同设备的国产化率 图6：2022年1-7月各类半导体设备的国产化率情况（括号内为各类设备的国产厂商份额） 样本选择范围： 我们选取了涵盖逻辑、功率、存储等共20座晶圆厂披露的招标和中标数据。 数据时间范围为2020年至今，统计的设备类型包括：薄膜沉积、刻蚀、光刻、涂胶显影、清洗、量测、测试、热处理、离子注入、化学机械研磨、去胶等主要的半导体设备种类。 图7：统计晶圆厂样本范围 2.半导体销售跟踪 从全球半导体销售情况来看，受到去年同期基数抬升的影响，全球及中国半导体销售额增速有所放慢。根据美国半导体产业协会（SIA）数据，2022年5月，全球半导体市场销售额为518.2亿美元，同比增长17%，而中国半导体市场销售额为170.2亿美元，同比增长7%。中国占全球半导体市场规模比例维持在33%。 今年以来以手机、电视为代表的消费电子需求疲软，一定程度上影响相关上游半导体产品的销售，但我们预计以新能源汽车、新能源发电为下游的半导体细分领域仍有较好增长。 图8：全球半导体销售额及同比（单位：十亿美元） 图9：中国半导体销售额及同比（单位：十亿美元） 3.海外设备厂商业绩跟踪：ASML营收稳健增长 ASML在2022年Q2季度实现营收54.3亿欧元（高于Q1时预期的51~53亿欧元），同比增长35%，重拾较快增速。Q2，ASML实现毛利率49.1%，处于此前预期的范围之内（49%~50%）。Q2EUV出货量达到12台，环比明显恢复，带动整体收入较好增长。 ASML在手订单创近两年新高。ASML预期Q3季度营收落在51~54亿欧元区间，其中有11亿欧元因为快速出货而将递延到后续季度确认收入；Q3毛利率预期保持在49%~50%。ASML的快速出货指将出货前的测试环节放在客户处进行，这样会加快交货时间，但由于客户要等测试完做收入确认，所以会产生收入递延。Q2季度，ASML在手订单环比提升到84.6亿欧元，预计将给今明年提供较好增长基础。 图10：ASML季度营收（十亿欧元）及同比 图11：ASML销售毛利率与净利率 图12：ASML光刻机订单（十亿欧元） 图13：ASML季度各类光刻机出货数量（台） 4.风险提示 下游需求不及预期、行业竞争加剧、贸易摩擦风险。