基于垂直沉积和激光图案化的parylene C薄膜利用简单实用方法

这篇科学报告介绍了一种简单实用的方法，可以更有效地利用基于垂直沉积和激光图案化的聚对二甲苯 C 薄膜。研究人员首先展示了一种能够在样品两侧沉积相同厚度的聚对二甲苯 C 薄膜的垂直沉积方法，通过这种方法，他们能够在样品的两面形成厚度为 4 μm 的 Parylene C 薄膜，厚度偏差小于 2.5%。其次，他们提出了一种耐碎片激光图案化方法，作为制造自支撑超薄聚对二甲苯 C 薄膜的无掩模方法。该方法不涉及任何光刻，并且需要一个简单而快速的过程，只需使用少数具有优异生物相容性的材料即可完成。结果表明，图案化的聚对二甲苯 C 薄膜表现出高度的表面均匀性并具有各种几何形状，因此它们可用于高柔性和/或可拉伸设备的基材。最后，他们使用这两种方法来制造柔性、可拉伸和防水封装的双面蓝色 LED 模块，以展示它们在受益于这种多功能外形的新兴应用中的潜力。