首次覆盖报告：内生外延促成长，中国版泛林初具雏形

中微公司是一家专注于半导体介质刻蚀设备研发及产业化的公司，成立于2004年。公司主要产品包括半导体刻蚀设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备（CVD）以及环保设备，产品型号接近20余款，下游客户覆盖包括台积电、三星、华虹等在内的国内外一线逻辑、存储和功率晶圆厂商。公司2021年营业收入同比增长36.7%达31.08亿元，2017~2021年营业收入年均复合增速达34.0%。公司刻蚀设备是核心产品，覆盖80%以上前道晶圆制程工艺。薄膜设备是公司主力产品，新产品持续放量。公司自主研发钨填充CVD设备和EPI设备进展顺利，有望在未来一到两年形成收入。预计公司2022~2024年归母净利润分别为10.72/13.06/17.09亿元，同比+6.0%/+21.8%/+30.9%。给予公司2022年18倍PS，对应目标价132.8元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。