刻蚀设备市占率稳步攀升，MOCVD订单迎来爆发

中微公司发布2021年年报，实现营收31.08亿元，同比增长36.72%，归母净利润10.11亿元，同比增长105.49%。刻蚀设备市占率稳步攀升，MOCVD订单迎来爆发。公司新签订单金额达41.3亿元，同比增长90.5%。公司在手订单饱满，业绩亮眼。刻蚀设备CCP和ICP均获得良好进展，CCP设备市占率持续提升，ICP刻蚀设备业绩爆发，工艺验证渐趋成熟。预计2022-2024年营收分别为4591/6104/7824百万元，净利润分别为1170/1400/1613百万元，对应EPS分别为1.90/2.27/2.62元。维持“推荐”评级。