国内半导体设备2月招投标数据（仅限于已公布的数据）：华虹半导体招标50台，至纯科技中标8台清洗设备，长川科技中标14台测试机和30台分选机，光力科技中标10台划片机。国内晶圆厂商招标数据：华虹半导体、上海积塔半导体、上海新硅聚合、福建晋华、燕东微电子等均有招标。国内设备厂商中标数据：北方华创、中微公司、盛美半导体、屹唐半导体、芯源微等均有中标。2021年2月中国台湾半导体设备进口额为22.31亿美元，同比减少-7.93%；2021年12月，北美半导体设备出货额为39.17亿美元，同比增长46.10%。建议关注北方华创、中微公司、至纯科技、长川科技、华兴源创、万业企业（凯世通）、光力科技、芯源微、盛美上海、华峰测控、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASM Pacific（H）等上市公司。建议关注雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、神工股份、立昂微、沪硅产业-U、华特气体、金宏气体等非上市公司。
